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氧化镓薄膜的氧敏特性研究 被引量：1
1
作者 马英仁 徐晓峰 +1 位作者 孟娟 雷鸣亮 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 1997年第3期59-61,共3页
使用射频溅射法制作了Ｇａ２Ｏ３薄膜并对其氧敏特性和温度特性进进了测试和研究，结果表明薄膜电阻与环境气氛中的氧分压的１／４次方成比例而与温度呈指数律关系。使用单电离氧空位模型成功地解决了实验结果。
关键词 氧化物薄膜 氧敏特性 气体传感器 射频溅射法
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