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SOI传感器的现状和发展趋势
被引量：
5
1
作者
海涛
刘光辉
+1 位作者
周真
卢为
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第5期61-64,共4页
SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点。目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品。介绍了SOI晶片的种类,SOI晶片在传感器和MEMS中应用的特点、SOI传感器的典型产品以及发展趋势。
关键词
SOI传感器
发展趋势
发展现状
SOI晶片
力学传感器
化学传感器
光传感器
磁传感器
硅氧化物绝缘体
下载PDF
职称材料
检测神经性毒剂生物传感器的研究
2
作者
施云波
彭忠明
+2 位作者
张洪泉
董新平
郭建英
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005年第5期22-24,共3页
阐述了通过微结构设计实现电化学技术与生物酶技术的有机结合,制造出对神经性毒剂敏感的生物传感器,分析了传感器的工艺制造过程,解决了酶的选择、酶的提纯、酶的固定化、底液、电极制作等关键技术。讨论了传感器的性能特点,稳定工作时...
阐述了通过微结构设计实现电化学技术与生物酶技术的有机结合,制造出对神经性毒剂敏感的生物传感器,分析了传感器的工艺制造过程,解决了酶的选择、酶的提纯、酶的固定化、底液、电极制作等关键技术。讨论了传感器的性能特点,稳定工作时间大于8h,传感器响应时间小于10min,零点漂移小于±2VDC。
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关键词
神经毒剂
生物传感器
酶
电化学
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职称材料
题名
SOI传感器的现状和发展趋势
被引量：
5
1
作者
海涛
刘光辉
周真
卢为
机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
哈尔滨理工大学
测量技术
与
通讯
工程学院
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第5期61-64,共4页
文摘
SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点。目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品。介绍了SOI晶片的种类,SOI晶片在传感器和MEMS中应用的特点、SOI传感器的典型产品以及发展趋势。
关键词
SOI传感器
发展趋势
发展现状
SOI晶片
力学传感器
化学传感器
光传感器
磁传感器
硅氧化物绝缘体
Keywords
silicon on insulator (SOI)
sensor
MEMS
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
检测神经性毒剂生物传感器的研究
2
作者
施云波
彭忠明
张洪泉
董新平
郭建英
机构
哈尔滨理工大学
测量技术
与
通讯
工程学院
中国
工程
物理研究
院
结构力
学
研究所
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005年第5期22-24,共3页
基金
黑龙江省科技攻关项目(GC03A121)
国家自然科学基金资助项目(60272002)
文摘
阐述了通过微结构设计实现电化学技术与生物酶技术的有机结合,制造出对神经性毒剂敏感的生物传感器,分析了传感器的工艺制造过程,解决了酶的选择、酶的提纯、酶的固定化、底液、电极制作等关键技术。讨论了传感器的性能特点,稳定工作时间大于8h,传感器响应时间小于10min,零点漂移小于±2VDC。
关键词
神经毒剂
生物传感器
酶
电化学
Keywords
nerve agents
biosensor
enzyme
electrochemistry
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
SOI传感器的现状和发展趋势
海涛
刘光辉
周真
卢为
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003
5
下载PDF
职称材料
2
检测神经性毒剂生物传感器的研究
施云波
彭忠明
张洪泉
董新平
郭建英
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005
0
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职称材料
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