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基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器 被引量：2
1
作者 施云波 张洪泉 +1 位作者 董新平 郭建英 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第9期43-45,共3页
阐述了声表面波(SAW)传感器的结构与工作原理;介绍了采用MEMS技术加工传感器芯片和敏感膜固定化的关键工艺;给出并分析了传感器的主要特性。试验和测试结果表明:传感器具有灵敏度高、响应速度快、抗汽油干扰等特点。
关键词 化学毒剂 声表面波 传感器芯片 敏感膜固定化
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磁控技术成膜的工艺研究与微观表征分析 被引量：3
2
作者 冯侨华 施云波 +1 位作者 殷景华 郭建英 《科技信息》 2007年第2期15-16,共2页
在氩气的气氛中采用直流磁控溅射方法,在玻璃基片上制备铂薄膜热敏电阻,并对铂薄膜的微观组织进行分析,同时研究了磁控溅射镀膜工艺参数对制备铂薄膜的影响,分析了参数中溅射功率、溅射时间与膜厚的关系。并利用Matlab软件建立了溅射时... 在氩气的气氛中采用直流磁控溅射方法,在玻璃基片上制备铂薄膜热敏电阻,并对铂薄膜的微观组织进行分析,同时研究了磁控溅射镀膜工艺参数对制备铂薄膜的影响,分析了参数中溅射功率、溅射时间与膜厚的关系。并利用Matlab软件建立了溅射时间、溅射功率与膜厚的三维关系模型图。 展开更多
关键词 磁控溅射 薄膜 铂 微观表征
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PANI修饰PdPc有机半导体膜制作及其气敏特性分析
3
作者 项金娟 殷景华 施云波 《科技信息》 2007年第2期56-57,共2页
利用涂膜工艺在平面电极上制作了酞菁钯(PdPc)掺杂聚苯胺(PANI)薄膜元件,用静态配气法对0.01﹪浓度Cl2进行气敏特性测试。结果表明,掺杂比为5:1的复合膜具有很好的敏感性。SEM显示其具有良好的吸附和脱附性能,并对其敏感机理进行了初步... 利用涂膜工艺在平面电极上制作了酞菁钯(PdPc)掺杂聚苯胺(PANI)薄膜元件,用静态配气法对0.01﹪浓度Cl2进行气敏特性测试。结果表明,掺杂比为5:1的复合膜具有很好的敏感性。SEM显示其具有良好的吸附和脱附性能,并对其敏感机理进行了初步讨论。 展开更多
关键词 涂膜 PdPc 气敏特性
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