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题名面向IC光刻的超精密运动台控制技术
被引量：7
- 1
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作者
刘杨
李理
陈思文
谭久彬
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机构
哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工信部重点实验室
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022年第9期223-243,共21页
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文摘
对于步进扫描投影光刻机,掩模台和工件台的同步伺服性能将直接影响整机技术指标。掩模台和工件台是典型的六自由度超精密运动台,在耦合动力学、复杂内外部干扰条件下兼顾高动态和超精密运动是其核心控制难题,研究和发展面向集成电路光刻的超精密运动台控制技术对于实现高端光刻机国产化具有重要意义。本文首先阐述高端光刻机对超精密运动台的伺服性能需求以及实现这些需求所面临的技术挑战,然后从解耦控制、反馈控制、前馈控制、协同控制和轨迹生成五个方面回顾光刻机超精密运动台控制相关研究成果与最新进展,并对其现存的问题和发展方向进行评述。
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关键词
光刻机
多自由度运动台
超精密运动控制
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Keywords
lithographic machine
multi-degree-of-freedom motion stage
ultra-precision motion control
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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题名约束膜式空气弹簧的刚度建模与分析
被引量：6
- 2
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作者
赵亚敏
崔俊宁
邹丽敏
边星元
程钟义
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机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工信部重点实验室
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出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2022年第1期60-67,115,共9页
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基金
国家自然科学基金(51675139,L1924059)
中央高校基础研究基金。
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文摘
针对空气弹簧实际刚度与理论值相差较大的问题,建立了约束膜式空气弹簧的改进刚度模型。改进模型兼顾弹性膜弧长变化及其变形引起的腔室体积变化,理论与实验刚度的偏差为9.67%,相比传统模型计算精度提高7.63%。基于改进刚度模型的分析结果表明:大腔室体积、小有效面积、大弹性膜圆弧半径的结构设计,高弧长变化率的材料及高充气压强的工作方式有利于实现低刚度隔振特性。该研究为大承载、低频/超低频约束膜式空气弹簧的结构优化设计与精密加工提供了有效的理论依据。
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关键词
空气弹簧
改进刚度模型
弧长变化
腔室体积变化
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Keywords
air spring
improved stiffness model
arc length variation
chamber volume change
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分类号
TH212
[机械工程—机械制造及自动化]
TH213.3
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题名基于安装相位寻优的航空发动机多级转子振动抑制方法
被引量：1
- 3
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作者
陈越
崔继文
孙逊
谭久彬
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机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工信部重点实验室
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出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2022年第15期138-145,208,共9页
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基金
国家自然科学基金面上项目(52075131)
黑龙江省自然科学基金杰出青年项目(JQ2019E002)。
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文摘
为了通过最优匹配航空发动机多级转子的安装相位来实现对转子系统的振动抑制,首先建立了不平衡质量点与装配止口形心在装配过程中的坐标传递模型,然后推导了质量偏心和止口偏心对转子的激励形式,进而将坐标传递模型和激励力引入多级转子系统动力学方程,建立了各级转子安装相位与转子振动响应的数学关系。最后构建了转子振动位移归一化评价函数,并采用遗传算法实现了转子振动位移的极小化和最优安装相位序列的求解。计算结果表明,以振动位移归一化评价函数为优化目标所求得的最优安装相位,相比于默认相位,可使转子系统在临界转速下的振动位移大幅降低,且优于以几何偏心距和不平衡量为优化目标对转子振动的抑制效果。
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关键词
航空发动机
多级转子
安装相位寻优
转子动力学
振动响应
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Keywords
aero-engine
multistage rotor
installation phase optimization
rotor dynamics
vibration response
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分类号
TH113
[机械工程—机械设计及理论]
V263.2
[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
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题名面向精密气磁隔振的磁斥力负刚度装置的优化设计
被引量：1
- 4
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作者
赵亚敏
崔俊宁
邹丽敏
边星元
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机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工信部重点实验室
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出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2021年第20期9-15,24,共8页
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基金
国家自然科学基金(51675139,L1924059)
中央高校基础研究基金。
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文摘
为进一步提升气浮隔振器的性能、降低环境中的低频微幅振动干扰对超精密加工、测量设备的影响,提出了一种面向精密气磁隔微振的磁斥力负刚度装置。磁斥力负刚度装置由三块沿垂向同向磁化的立方永磁体水平布置构成,其刚度通过磁铁间距改变,且磁铁间距不受隔振负载振动幅值的影响。基于等效磁荷模型建立磁斥力负刚度装置的磁力、刚度及刚度非线性解析模型,采用有限元仿真验证了理论模型的正确性,并采用遗传算法优化几何结构参数。优化分析结果表明:将静平衡点刚度与±1 mm处的刚度非线性度作为目标函数的多目标优化可将负刚度幅值提升146.09%,刚度非线性度降低64.73%。该研究对精密仪器及系统、超精密制造、尖端科学实验系统中精密低频气磁隔振器的设计具有重要的应用价值。
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关键词
气磁隔振
低频微幅振动
磁斥力负刚度装置
刚度非线性
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Keywords
air magnetic vibration isolation
low frequency micro-amplitude vibration
negative stiffness device with magnetic repulsion
stiffness nonlinearity
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分类号
TH212
[机械工程—机械制造及自动化]
TH213.3
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题名1种高精度大型阶梯轴圆柱轮廓测量模型
- 5
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作者
孙汕民
孙传智
冯硕
王宏业
李佳毫
刘永猛
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机构
中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司
哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工信部重点实验室
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出处
《航空发动机》
北大核心
2020年第2期61-65,共5页
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基金
航空动力基础研究项目资助。
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文摘
为了提高大型阶梯轴回转部件圆柱轮廓的测量精度,提出1种考虑偏心量、工件倾斜及传感器测头偏移的3偏置测量模型。分析了综合偏置误差对阶梯轴截面圆柱轮廓残余误差的影响及偏置误差在不同工件半径下对圆柱轮廓测量结果的影响,实现了阶梯轴圆柱轮廓精度的准确评定。为了验证3偏置圆柱轮廓测量模型的有效性,采用超精密航空发动机测量仪对大直径阶梯轴的圆柱轮廓进行了测量与评定。结果表明:与传统双偏置测量模型相比,3偏置圆柱轮廓测量模型所评定的大半径阶梯轴同轴度的准确性提高了9.39μm;阶梯轴半径越大,测量精度越高。
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关键词
超精密测量
大型阶梯轴
圆柱轮廓精度
测量模型
残余误差
航空发动机
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Keywords
ultra-precision measurement
large stepped shaft
accuracy of cylinder profile
measurement model
residual error
aeroengine
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分类号
V263.2
[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
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