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改善多步法谐波抑制的新方法——鉴相法 被引量：4
1
作者 谭久彬 赵维谦 杨文国 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z1期161-162,共3页
分析了回转基准中存在的问题和多步法误差分离技术的原理误差 ,提出鉴相法误差分离技术。该技术较显著地扩展了无谐波抑制范围 ,且使测量过程和测量系统大为简化 ,是建立纳米精度回转基准的一种较理想方法。
关键词 误差分离技术 鉴相法 圆轮廓 纳米级测量
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球体轮廓及半径非接触超精密测量方法研究
2
作者 赵维谦 谭久彬 +1 位作者 张杰 杨文国 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期140-143,共4页
提出一种基于斐索干涉原理及子孔径拼接技术基础上的获取球体表面完整轮廓测量信息的非接触超精密测量的新方法，即利用激光球面干涉系统拾取球形工件在不同转位上的部分轮廓子孔径相关干涉测量信息，后经多孔径拼接及图像处理来获得球... 提出一种基于斐索干涉原理及子孔径拼接技术基础上的获取球体表面完整轮廓测量信息的非接触超精密测量的新方法，即利用激光球面干涉系统拾取球形工件在不同转位上的部分轮廓子孔径相关干涉测量信息，后经多孔径拼接及图像处理来获得球形工件完整轮廓的测量信息．该方法除可用于球形工件完整轮廓测量信息外，还可用于球形工件曲率半径的超精密非接触测量．还给出了测量系统中采用的消除阿贝误差和闲区误差的光路布局，并就受环境影响引起的状态差异误差进行了补偿抑制．实验表明：对状态差异误差、闲区误差和阿贝误差获得了较明显的抑制效果． 展开更多
关键词 三维面形测量 条纹拼接法 多孔径拼接原理 曲率半戏测量 误差补偿 陀螺仪 球形工件
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