高功率脉冲磁控溅射技术的发展与研究 被引量：27

1

作者 吴忠振 朱宗涛 +3 位作者 巩春志 田修波 杨士勤 李希平 《真空》 CAS 北大核心 2009年第3期18-22,共5页

高功率脉冲磁控溅射技术(HPPMS)作为一种溅射粒子离化率高、可以沉积致密、高性能薄膜的新技术已经在国外广泛研究,但在国内尚未见研究报道。本文介绍了近十年来HPPMS技术在电源、脉冲形式、放电行为和薄膜沉积等方面的研究进展。在HPPM... 高功率脉冲磁控溅射技术(HPPMS)作为一种溅射粒子离化率高、可以沉积致密、高性能薄膜的新技术已经在国外广泛研究,但在国内尚未见研究报道。本文介绍了近十年来HPPMS技术在电源、脉冲形式、放电行为和薄膜沉积等方面的研究进展。在HPPMS过程中,粒子随脉冲开关通过电子冲击和电荷交换电离,并按照双极扩散理论向基体附近传输,离子能量分布随工作气压的不同而呈现不同的分布特征。这些放电特征有利于获得更宽的工艺范围和优异的膜层性能,最后介绍了我们实验室在HPPMS方面的研究工作。 展开更多

关键词 高功率脉冲磁控溅射 离化率 离子能量分布函数 薄膜性能

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GCr15轴承钢表面PIIID处理膜层膜基结合力的研究 被引量：4

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作者 王宇航 汤宝寅 +5 位作者 王浪平 王晓峰 甘孔银 于永澔 刘洪喜 王松雁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期233-237,共5页

采用等离子体浸没离子注入沉积 (PIIID)技术在GCr1 5轴承钢表面形成TiN薄膜 ,并采用划痕法对不同参数条件下膜层的膜基结合力进行了测量。结果发现 :适当的氩离子溅射清洗和加入合适的过渡层可以提高膜基结合力 。

关键词 GCR15 轴承钢 表面处理 等离子体浸没离子注入沉积 PIIID TIN薄膜 结合力 划痕法

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激光源原子氧对Kapton薄膜和Kapton/Al薄膜二次表面镜性能的影响 被引量：7

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作者 李胜刚 李春东 +3 位作者 田修波 杨士勤 何世禹 何松 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期590-595,共6页

在模拟空间环境原子氧暴露条件下,采用激光源原子氧对热控涂层材料Kapton薄膜、Kapton/Al薄膜二次表面镜进行了不同剂量的暴露试验。研究了这两种材料的质量损失、表面形貌随原子氧暴露剂量的变化关系,以及Kapton薄膜的光谱透过率、Kapt... 在模拟空间环境原子氧暴露条件下,采用激光源原子氧对热控涂层材料Kapton薄膜、Kapton/Al薄膜二次表面镜进行了不同剂量的暴露试验。研究了这两种材料的质量损失、表面形貌随原子氧暴露剂量的变化关系,以及Kapton薄膜的光谱透过率、Kapton/Al薄膜二次表面镜的光谱反射率和太阳吸收比Δαs随原子氧暴露剂量的演化规律。结果表明:两种材料的质量损失随原子氧暴露剂量的增加呈线性增大;原子氧暴露后,试样表面呈"地毯"状形貌,且随暴露剂量的增加粗糙度变大;Kapton薄膜的光谱透过率、Kapton/Al薄膜二次表面镜的光谱反射率随原子氧暴露剂量的增加而降低,Kapton/Al薄膜二次表面镜的太阳吸收比Δαs随暴露剂量的增加而增大。最后对Kapton薄膜的存在寿命和Kapton/Al薄膜二次表面镜绝热平面的平衡温度进行了预测。 展开更多

关键词 激光源原子氧 热控涂层 Kapton薄膜 Kapton/Al薄膜二次表面镜 太阳吸收比

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脉冲偏压对矩形平面大弧源离子镀TiN膜层性能的影响 被引量：5

4

作者 林永清 巩春志 +4 位作者 魏永强 田修波 杨士勤 关秉羽 于传跃 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期399-404,共6页

采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜,研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响.结果表明,随着脉冲偏压的增大,薄膜中大颗粒的数目先增加后减少,这是大颗粒受到离子拖曳力... 采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜,研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响.结果表明,随着脉冲偏压的增大,薄膜中大颗粒的数目先增加后减少,这是大颗粒受到离子拖曳力和电场力双重作用的结果.存在一个最佳的脉冲偏压,使得制备出的TiN膜层具有较高的I_(111)/I_(200)比例和较高的耐磨性.脉冲偏压为-300 V时制备的TiN膜层具有最好的综合性能. 展开更多

关键词 无机非金属材料 离子镀 矩形靶 脉冲偏压 氮化钛 耐磨性

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射频功率对筒状聚酯内壁类金刚石薄膜结构与性能的影响研究 被引量：4

5

作者 李景 田雷 +2 位作者 田修波 巩春志 杨士勤 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期311-315,共5页

利用偏压/射频耦合等离子体增强化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(简称聚酯,PET)筒内壁制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、三维表面轮廓仪、紫外/可见光分光光度计和气体渗透率测试仪考察了射频功... 利用偏压/射频耦合等离子体增强化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(简称聚酯,PET)筒内壁制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、三维表面轮廓仪、紫外/可见光分光光度计和气体渗透率测试仪考察了射频功率对类金刚石薄膜的结构、沉积速率、表面形貌、光学透过率和气体阻隔性能的影响。结果表明,膜层沉积可有效阻挡近紫外区域的光线,同时对O2,CO2的阻隔能力明显提高,这是由于DLC膜层的致密性质以及PET表面原有缺陷的覆盖。与未镀膜PET相比,150 W时制备的DLC膜的气体透过率分别从58.5,61.7cm3m-2atm-1d-1降低至0.7,1.5 cm3m-2.atm-1d-1,相应的对O2,CO2的阻隔率分别可以提高80倍和40倍。 展开更多

关键词 等离子体增强化学气相沉积 类金刚石薄膜 射频功率 气体透过率

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磁场对聚酯圆筒内表面C_2H_2等离子体处理的影响研究 被引量：2

6

作者 李景 田修波 杨士勤 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期584-589,共6页

研究了不同磁场约束条件下C2H2射频放电对PET圆筒内表面性能的影响规律。利用傅里叶变换红外光谱(FTIR)对不同等离子体条件下处理的聚酯样品表面进行了分析。并且通过接触角测试仪对沿聚酯圆筒轴线方向上不同区域的含氢碳薄膜表面的润... 研究了不同磁场约束条件下C2H2射频放电对PET圆筒内表面性能的影响规律。利用傅里叶变换红外光谱(FTIR)对不同等离子体条件下处理的聚酯样品表面进行了分析。并且通过接触角测试仪对沿聚酯圆筒轴线方向上不同区域的含氢碳薄膜表面的润湿行为进行了分析。结果表明,有外部磁场约束时乙炔等离子体处理后样品表面膜层中氢含量较高,且碳原子主要以sp3组态互相键合。反应气压较高时,改性后的表面润湿性分布均匀。在反应气压较低时,改性后内表面的润湿性在轴向方向上分布不均匀,磁场的加入可以有效提高表面处理的均匀性。同时外部磁场的引入也增加了改性后膜层性能的稳定性。 展开更多

关键词 含氢碳薄膜 水接触角 等离子体增强化学气相沉积 环形磁铁磁场 聚酯筒

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原子氧与紫外综合辐照对Kapton/Al性能的影响 被引量：2

7

作者 姜海富 柴丽华 +2 位作者 田修波 李胜刚 牟永强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期779-783,共5页

Kapton/Al薄膜二次表面镜是一种广泛应用的热控涂层,用于维持航天器表面正常的工作温度。本文利用激光源原子氧设备对Kapton/Al薄膜二次表面镜进行了原子氧与紫外综合辐照试验,试验前后通过高精度微量天平、扫描电镜、紫外-可见-近红外... Kapton/Al薄膜二次表面镜是一种广泛应用的热控涂层,用于维持航天器表面正常的工作温度。本文利用激光源原子氧设备对Kapton/Al薄膜二次表面镜进行了原子氧与紫外综合辐照试验,试验前后通过高精度微量天平、扫描电镜、紫外-可见-近红外分光光度计及X射线光电子能谱仪等测试分析手段观察了材料质量损失、表面形貌、光学性能随辐照时间的演化规律,分析了试验前后Kapton/Al薄膜二次表面镜表面成份的变化。结果表明:Kapton/Al薄膜二次表面镜的质量损失随辐照时间的增加呈线性增大,原子氧与紫外综合辐照造成的质量损失明显高于单独原子氧作用产生的质量损失;试验后试样表面呈"地毯"状形貌,且随辐照时间的增加表面粗糙度变大;Kapton/Al薄膜二次表面镜的光谱反射系数随综合辐照时间的增加而降低,致使太阳吸收比的变化不断增大;试验后试样表面成份变化明显,说明原子氧和紫外环境与Kapton/Al薄膜二次表面镜表面发生了复杂的物理化学作用。 展开更多

关键词 Kapton/Al薄膜二次表面镜 原子氧 紫外 光谱反射系数 太阳吸收比

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GCr15轴承钢的PIIID表面改性工艺研究 被引量：2

8

作者 孙韬 汤宝寅 +2 位作者 王浪平 王晓峰 于永皓 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2005年第1期39-41,46,共4页

采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)技术在 GCr15 轴承钢表面制备了 TiN、TiC 薄膜,并对其进行了显微硬度和摩擦磨损测量。结果发现:注入时间、注入脉宽和工作气体对 GCr15 轴承钢表面改性效果具有显著的影响。通过对比分析,获取了... 采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)技术在 GCr15 轴承钢表面制备了 TiN、TiC 薄膜,并对其进行了显微硬度和摩擦磨损测量。结果发现:注入时间、注入脉宽和工作气体对 GCr15 轴承钢表面改性效果具有显著的影响。通过对比分析,获取了最佳处理工艺参数。 展开更多

关键词 表面改性 等离子体浸没离子注入与沉积 显微硬度 摩擦磨损性能

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脉冲阴极弧金属等离子体源的调试及其应用 被引量：1

9

作者 孙韬 王小峰 +1 位作者 王浪平 汤宝寅 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期467-470,共4页

对脉冲阴极弧金属等离子体源的工作参数进行了测量,研究了离子流与磁导管偏压以及磁场电流与离子流之间的关系,确定了其最佳工作参数。并应用该脉冲阴极弧金属等离子体源和等离子体浸没离子注入与沉积技术制备了TiC薄膜。对改性层的显... 对脉冲阴极弧金属等离子体源的工作参数进行了测量,研究了离子流与磁导管偏压以及磁场电流与离子流之间的关系,确定了其最佳工作参数。并应用该脉冲阴极弧金属等离子体源和等离子体浸没离子注入与沉积技术制备了TiC薄膜。对改性层的显微硬度、摩擦磨损性能和膜基结合力进行了测试分析。结果表明:合成TiC薄膜后,试样的显微硬度、摩擦磨损性能得到了明显的改善,并且膜层与基体之间的临界载荷为36.03 N。 展开更多

关键词 等离子体浸没离子注入与沉积 碳化钛薄膜 脉冲阴极弧金属等离子体源

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金属铜原子氧效应研究 被引量：1

10

作者 姜海富 李胜刚 +3 位作者 田修波 柴丽华 秦玮 张永泰 《装备环境工程》 CAS 2015年第3期70-74,共5页

目的获取金属铜空间原子氧环境适应性数据,提升材料空间环境适应性设计水平。方法将金属铜样品置于射频源原子氧辐照面积内开展原子氧辐照试验,束流密度为2.5×1016/(cm2·s),最长辐照时间为300 min。研究随辐照时间增加样品表... 目的获取金属铜空间原子氧环境适应性数据,提升材料空间环境适应性设计水平。方法将金属铜样品置于射频源原子氧辐照面积内开展原子氧辐照试验,束流密度为2.5×1016/(cm2·s),最长辐照时间为300 min。研究随辐照时间增加样品表面成分、形貌以及性能的变化。结果原子氧辐照后,金属铜表面变得粗糙,300 min辐照样品出现了氧化层脱落现象;随辐照时间增加,样品质量呈增加趋势,300 min辐照样品质量增加0.035 mg;试验后样品太阳吸收比升高最大值达0.07,光谱反射系数下降;原子氧作用导致金属铜表面疏水性能提高,摩擦磨损性能下降。结论得到了金属铜原子氧环境效应数据,可为航天器空间环境效应防护设计提供技术支撑。 展开更多

关键词 金属铜 原子氧 表面成分 太阳吸收比

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轴承滚珠等离子体浸没离子注入过程的数值模拟 被引量：1

11

作者 于永澔 王浪平 +5 位作者 王小峰 汤宝寅 甘孔银 刘洪喜 王宇航 王松雁 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1598-1602,共5页

　利用轴对称PIC模型对轴承滚珠等离子体浸没离子注入(PIII)过程进行了数值模拟,对归一化电势的扩展情况进行了研究。在滚珠批量处理过程中,为了避免相邻滚珠周围鞘层的相互重叠对注入均匀性造成不良影响,对滚珠在靶台上摆放的最小距离... 　利用轴对称PIC模型对轴承滚珠等离子体浸没离子注入(PIII)过程进行了数值模拟,对归一化电势的扩展情况进行了研究。在滚珠批量处理过程中,为了避免相邻滚珠周围鞘层的相互重叠对注入均匀性造成不良影响,对滚珠在靶台上摆放的最小距离进行了数值计算,计算结果表明:在电压为-40kV,氮等离子体密度为4.8×109cm-3,脉冲宽度为10μs时,滚珠摆放的最小距离应大于34.18cm。分析了滚珠圆周方向注入剂量的分布情况,针对静止滚珠改性处理后剂量分布很不均匀的问题,通过旋转靶台使滚珠注入均匀性明显得到改善。利用朗谬尔探针测量了滚珠周围鞘层扩展的情况测量,模拟结果和实验测量结果相吻合,最大相对误差小于8.4%。 展开更多

关键词 等离子体浸没离子注入 鞘层动力学数值模拟 注入剂量均匀性

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利用射频与高压直接耦合等离子体注入进行不锈钢表面改性 被引量：1

12

作者 巩春志 田修波 杨士勤 《微细加工技术》 EI 2008年第4期14-18,共5页

介绍了一种新的等离子体离子注入在不锈钢表面改性上的应用。将高压脉冲和射频脉冲直接耦合到工件上,不需外部等离子体源,利用工件自身加射频产生等离子体,随后施加高压对不锈钢表面进行了注氮处理。XPS分析显示,在基体表面有氮元素存在... 介绍了一种新的等离子体离子注入在不锈钢表面改性上的应用。将高压脉冲和射频脉冲直接耦合到工件上,不需外部等离子体源,利用工件自身加射频产生等离子体,随后施加高压对不锈钢表面进行了注氮处理。XPS分析显示,在基体表面有氮元素存在,说明实现了射频与高压直接耦合的离子注入效果。进一步研究表明,等离子体离子注入后,在不锈钢基体表层形成了Cr2O3以及CrN,FeN等硬质相,因此处理后的试件耐摩擦、磨损和耐腐蚀性能得到了较大提高。同时研究显示,射频脉冲宽度或射频与高压相位的改变对摩擦系数影响不大。 展开更多

关键词 射频 高压 耦合 等离子体离子注入 不锈钢

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原子氧对不锈钢的作用

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作者 姜海富 李胜刚 +3 位作者 田修波 柴丽华 秦玮 于强 《装备环境工程》 CAS 2016年第2期8-12,共5页

目的研究空间原子氧辐照对不锈钢性能的影响。方法将不锈钢试样置于束流密度为2.5×10^(16)atoms/(cm^2·s)的原子氧束中进行辐照试验,最长辐照时间为300 min。研究随辐照时间增加,试样质量、光学性能、接触角、耐磨性能、耐腐... 目的研究空间原子氧辐照对不锈钢性能的影响。方法将不锈钢试样置于束流密度为2.5×10^(16)atoms/(cm^2·s)的原子氧束中进行辐照试验,最长辐照时间为300 min。研究随辐照时间增加,试样质量、光学性能、接触角、耐磨性能、耐腐蚀性能的变化。结果原子氧辐照后,不锈钢表面生成氧化物质量增加;随辐照时间增加,试样光谱反射系数呈下降趋势,太阳吸收比增加;原子氧作用导致不锈钢接触角增大,耐磨性能提高,耐腐蚀性能下降。结论得到的不锈钢原子氧环境效应数据,可为其在低轨航天器上的应用提供理论基础。 展开更多

关键词 不锈钢 原子氧 太阳吸收比 耐腐蚀性能

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