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振动环境下微小间隙的光栅测量法 被引量：1
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作者 李春枝 陈颖 +1 位作者 农绍宁 刘斌 《太赫兹科学与电子信息学报》 2014年第5期779-782,共4页
为测量振动环境下层间结构内部微小间隙的相对变化,设计了一种用于狭小空间内的平直光栅传感器。根据指定应用条件研究设计光栅传感基片的封装方案及其主要技术指标,并制作出平直光栅传感器。该传感器测量范围0.5 mm^0.8 mm,标定指标良... 为测量振动环境下层间结构内部微小间隙的相对变化,设计了一种用于狭小空间内的平直光栅传感器。根据指定应用条件研究设计光栅传感基片的封装方案及其主要技术指标,并制作出平直光栅传感器。该传感器测量范围0.5 mm^0.8 mm,标定指标良好。通过试验应用证明,采用光栅传感器可实现振动环境下微小间隙的直接测量,且不用破坏原结构,与传统方法相比,数据真实可信,满足测量精确度μm量级要求。 展开更多
关键词 光栅测量 微小间隙 振动 传感器
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