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一种用于复杂环境下的高精度微型谐振式压力传感器
被引量：
8
1
作者
许高斌
陈诚
+3 位作者
陈兴
马渊明
于永强
张倩
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期980-988,共9页
微谐振式压力传感器因其体积小、精度高等特点而被广泛研究,本文基于谐振器在不同压力载荷下侧向振动时其等效刚度随轴向应力的改变而变化的原理,设计了一种静电激励/电容检测的谐振式压力传感器。本设计采用的谐振器结构与现有研究不同...
微谐振式压力传感器因其体积小、精度高等特点而被广泛研究,本文基于谐振器在不同压力载荷下侧向振动时其等效刚度随轴向应力的改变而变化的原理,设计了一种静电激励/电容检测的谐振式压力传感器。本设计采用的谐振器结构与现有研究不同,通过在谐振梁的两边设计了两根侧梁用于抑制谐振器的Z向位移,提高了传感器的稳定性,并且双面梳齿结构和复合温敏梁可进一步优化传感器检测灵敏度等性能。在ANSYS WORKBENCH仿真平台下对其进行分析与验证,结果表明:侧梁可有效地抑制谐振器的Z向位移,在0~100 MPa范围内谐振器具有良好的正向应力特性;传感器基础谐振频率为29.834 kHz,在0~120 kPa范围内灵敏度可达29.6Hz/kPa,且最大过压1.5×FS时仍具备频率稳定性,这表明该传感器可应用于对灵敏度、抗过压等性能有更高要求的复杂环境中。
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关键词
谐振式压力传感器
静电激励
电容检测
侧梁
复合温敏梁
下载PDF
职称材料
题名
一种用于复杂环境下的高精度微型谐振式压力传感器
被引量：
8
1
作者
许高斌
陈诚
陈兴
马渊明
于永强
张倩
机构
合肥工业大学
电子
科学
与
应用
物
理学院
微电子
机械系
安徽省
工程技术
研究
中心
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第11期980-988,共9页
基金
装备预研/教育部联合基金项目(6141A02022422)
安徽省重点研发计划资助项目(1804a09020018)
文摘
微谐振式压力传感器因其体积小、精度高等特点而被广泛研究,本文基于谐振器在不同压力载荷下侧向振动时其等效刚度随轴向应力的改变而变化的原理,设计了一种静电激励/电容检测的谐振式压力传感器。本设计采用的谐振器结构与现有研究不同,通过在谐振梁的两边设计了两根侧梁用于抑制谐振器的Z向位移,提高了传感器的稳定性,并且双面梳齿结构和复合温敏梁可进一步优化传感器检测灵敏度等性能。在ANSYS WORKBENCH仿真平台下对其进行分析与验证,结果表明:侧梁可有效地抑制谐振器的Z向位移,在0~100 MPa范围内谐振器具有良好的正向应力特性;传感器基础谐振频率为29.834 kHz,在0~120 kPa范围内灵敏度可达29.6Hz/kPa,且最大过压1.5×FS时仍具备频率稳定性,这表明该传感器可应用于对灵敏度、抗过压等性能有更高要求的复杂环境中。
关键词
谐振式压力传感器
静电激励
电容检测
侧梁
复合温敏梁
Keywords
Resonant pressure sensor
Electrostatic excitation
Capacitance detection
Side beam
Composite temperature sensitive beam
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH703 [自动化与计算机技术—控制科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种用于复杂环境下的高精度微型谐振式压力传感器
许高斌
陈诚
陈兴
马渊明
于永强
张倩
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
8
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职称材料
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