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p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响
被引量：
3
1
作者
范红兵
张晓丹
+4 位作者
赵颖
孙建
魏长春
谷士彬
张存善
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期739-742,共4页
本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和...
本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和场发射扫描电子显微镜的测试结果显示,在该系统下450℃时薄膜结晶性能最佳。
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关键词
ZNO
p型传导
超声喷雾热分解
衬底温度
下载PDF
职称材料
大面积VHF-PECVD反应室喷淋式平板电极间电场和流场数值模拟
被引量：
4
2
作者
葛洪
张晓丹
+1 位作者
赵静
赵颖
《真空》
CAS
北大核心
2010年第2期40-43,共4页
以大面积喷淋式平板电极甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)反应室为研究对象,利用FlexPDE和CFD-ACE+商业软件,对反应室电极间的电场和流场分布进行了数值模拟。根据数值模拟结果可知:对于大面积喷淋式平板电极VHF-PECVD反应室...
以大面积喷淋式平板电极甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)反应室为研究对象,利用FlexPDE和CFD-ACE+商业软件,对反应室电极间的电场和流场分布进行了数值模拟。根据数值模拟结果可知:对于大面积喷淋式平板电极VHF-PECVD反应室,电极间气体流速分布呈现管流特征,而气压分布和电场分布具有类似的分布规律,即在大面积电极中央区域电场较强气压较高,而电极边缘区域电场较弱气压较低;另外,反应室采用喷淋式平板电极进行反应气体馈入,气体总流量、工作气压和电极间距是调节电极间气压分布均匀性的重要参量,采用大电极间距、高工作气压,以及小的气体总流量有助于获得均匀的气压分布。
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关键词
甚高频等离子体增强化学气相沉积
喷淋式平板电极
数值模拟
CFD-ACE+
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职称材料
题名
p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响
被引量：
3
1
作者
范红兵
张晓丹
赵颖
孙建
魏长春
谷士彬
张存善
机构
河北工业
大学
信息
学院
南开大学
光电子
薄膜
器件
与
技术
研究所
南开大学
光电子
薄膜
器件
与
技术
天津市
重点
实验室
光电
信息技术
科学
教育部
重点
实验室
(
南开大学
天津大学
)
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期739-742,共4页
基金
天津市自然科学基金(No.05YFJMTC01600)
国家自然科学基金项目(No.60506003)
天津市科技攻关项目(No.043186511)资助
文摘
本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和场发射扫描电子显微镜的测试结果显示,在该系统下450℃时薄膜结晶性能最佳。
关键词
ZNO
p型传导
超声喷雾热分解
衬底温度
Keywords
ZnO
p-type conduction
ultrasonic spray pyrolysis
substrate temperature
分类号
TN302 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
大面积VHF-PECVD反应室喷淋式平板电极间电场和流场数值模拟
被引量：
4
2
作者
葛洪
张晓丹
赵静
赵颖
机构
南开大学
光电子
薄膜
器件
与
技术
研究所
南开大学
光电子
薄膜
器件
与
技术
天津市
重点
实验室
光电
信息技术
科学
教育部
重点
实验室
(
南开大学
天津大学
)
天津
新华职工
大学
出处
《真空》
CAS
北大核心
2010年第2期40-43,共4页
基金
国家重点基础研究发展计划项目(批准号:2006CB202602和2006CB202603)
国家自然科学基金(批准号:60506003)
+3 种基金
南开大学博士启动基金(批准号:J02031)
科技部国际合作重点项目(批准号:2006DFA62390)
国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA05Z436)
教育部新世纪人才计划(批准号:60506003NCET)资助的课题
文摘
以大面积喷淋式平板电极甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)反应室为研究对象,利用FlexPDE和CFD-ACE+商业软件,对反应室电极间的电场和流场分布进行了数值模拟。根据数值模拟结果可知:对于大面积喷淋式平板电极VHF-PECVD反应室,电极间气体流速分布呈现管流特征,而气压分布和电场分布具有类似的分布规律,即在大面积电极中央区域电场较强气压较高,而电极边缘区域电场较弱气压较低;另外,反应室采用喷淋式平板电极进行反应气体馈入,气体总流量、工作气压和电极间距是调节电极间气压分布均匀性的重要参量,采用大电极间距、高工作气压,以及小的气体总流量有助于获得均匀的气压分布。
关键词
甚高频等离子体增强化学气相沉积
喷淋式平板电极
数值模拟
CFD-ACE+
Keywords
VHF-PECVD
spraying parallel-plate electrode
numerical simulation
CFD-ACE＋
分类号
O351 [理学—流体力学]
O44 [理学—力学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响
范红兵
张晓丹
赵颖
孙建
魏长春
谷士彬
张存善
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
3
下载PDF
职称材料
2
大面积VHF-PECVD反应室喷淋式平板电极间电场和流场数值模拟
葛洪
张晓丹
赵静
赵颖
《真空》
CAS
北大核心
2010
4
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职称材料
已选择
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