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一种用石英多晶材料作为弹性元件的应变式压办传感器
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作者 葛红娟 钱俞寿 《南京航空学院学报》 CSCD 1990年第2期112-116,共5页
本文介绍了一种新的应变式压力传感器,它利用石英多晶作为弹性元件,用阴极溅射法制成应变电阻。本文对传感器的结构设计、制作工艺都做了较详细的探讨和研究,并制成一个传感器样品,对其作了一系列性能测试。
关键词 压力传感器 弹性元件 多晶材料
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