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硅微机械角速度传感器闭环驱动控制方法研究 被引量：1
1
作者 周顺 李明 +1 位作者 罗晓章 周百令 《电子技术应用》 北大核心 1999年第12期33-35,共3页
在分析硅微机械角速度传感器稳定工作条件的基础上，探讨了微机械角速度传感器对驱动电路的控制要求，提出了一种新颖的驱动频率自动跟踪的控制方法，给出了驱动电路闭环控制框图，详细分析了驱动模态闭环控制逻辑。最后的开、闭环对比... 在分析硅微机械角速度传感器稳定工作条件的基础上，探讨了微机械角速度传感器对驱动电路的控制要求，提出了一种新颖的驱动频率自动跟踪的控制方法，给出了驱动电路闭环控制框图，详细分析了驱动模态闭环控制逻辑。最后的开、闭环对比实验说明了本控制方案的有效性。 展开更多
关键词 硅微机械 角速度传感器 频率跟踪 闭环驱动控制
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