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制造纳米电子器件的技术途径 被引量：6
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作者 顾宁 黄岚 +9 位作者 张宇 廖建辉 夏强 王伟 傅德刚 沈浩瀛 陈堂生 郝西萍 彭力 赵丽新 《测试技术学报》 2000年第4期241-246,共6页
目的　为发展纳米电子器件及纳米电子学技术寻找有效途径 .方法　对目前制造纳米电子器件的主要途径 ,例如基于三束的光刻加工技术、分子组装与纳米微粒排列技术、扫描力探针加工技术等进行了概略的介绍 ,讨论了各种方法所存在的优势与... 目的　为发展纳米电子器件及纳米电子学技术寻找有效途径 .方法　对目前制造纳米电子器件的主要途径 ,例如基于三束的光刻加工技术、分子组装与纳米微粒排列技术、扫描力探针加工技术等进行了概略的介绍 ,讨论了各种方法所存在的优势与限制 .结果　对基于分子组装与纳米光刻的纳料制造技术给予很大的重视 . 展开更多
关键词 纳米器件 纳米光刻 分子组装 纳米微粒 扫描力探针显微术
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