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高应变率条件下山西黑花岗岩的动态力学性能研究 被引量:13
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作者 姜峰 李子沐 +2 位作者 王宁昌 郭桦 徐西鹏 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2016年第8期177-182,共6页
采用分离式Hopkinson压杆试验技术,对山西黑花岗岩进行了一系列不同应变率(315.53/s^1 349.87/s)的动态压缩试验。试验结果表明:山西黑花岗岩在高应变率条件下,动态抗压强度表现出突变特性:应变率从460.09/s上升到860.20/s的时候,山西... 采用分离式Hopkinson压杆试验技术,对山西黑花岗岩进行了一系列不同应变率(315.53/s^1 349.87/s)的动态压缩试验。试验结果表明:山西黑花岗岩在高应变率条件下,动态抗压强度表现出突变特性:应变率从460.09/s上升到860.20/s的时候,山西黑花岗岩的动态抗压强度从272.33 MPa提高到371.78 MPa;在高应变率条件下,山西黑花岗岩材料的破碎机理为在初始冲击波作用区先产生体积破碎,而后在试样后半部分产生赫兹破碎;山西黑花岗岩在高应变率下的弹塑性变形能随应变率的增大而减小,高应变率条件下材料失效和裂纹扩展消耗更多能量,对应更加严重的材料破碎。 展开更多
关键词 岩石动态力学性能 山西黑花岗岩 分离式HOPKINSON压杆 高应变率 破碎机理
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集群磁流变平面抛光加工技术 被引量:23
2
作者 潘继生 阎秋生 +2 位作者 路家斌 徐西鹏 陈森凯 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期205-212,共8页
基于磁流变效应和集群原理提出集群磁流变效应平面抛光技术,对磁极排布方式、端面形状及其尺寸的磁场特性进行静磁场有限元分析优化,结果表明,选取圆柱平底磁极进行同向规律排布时容易形成由多个独立'微磨头'组成的柔性抛光膜,... 基于磁流变效应和集群原理提出集群磁流变效应平面抛光技术,对磁极排布方式、端面形状及其尺寸的磁场特性进行静磁场有限元分析优化,结果表明,选取圆柱平底磁极进行同向规律排布时容易形成由多个独立'微磨头'组成的柔性抛光膜,能实现加工表面与'微磨头'的实际接触面积最大化。通过设置'微磨头'尺寸及数量与工件的接触状态,对K9玻璃、单晶硅和单晶6H-SiC三种硬脆材料基片加工出弧形抛光带,试验验证集群磁流变效应抛光膜的集群特性。对加工表面与抛光盘表面之间的间隙、加工时间、磁感应强度和转速等集群磁流变平面抛光工艺参数进行试验优化,并采取优化工艺对三种硬脆材料进行30 min抛光,K9玻璃表面粗糙度从Ra0.34μm下降到Ra1.4 nm,单晶硅从Ra57.2 nm下降到Ra4 nm,单晶SiC从Ra72.89 nm下降到Ra1.92 nm,均能获得纳米级粗糙度表面。 展开更多
关键词 集群磁流变效应 平面抛光 磨粒半固着 表面粗糙度 硬脆材料
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基于FEM与SPH耦合算法的单颗磨粒切削玻璃的动态过程仿真 被引量:15
3
作者 段念 王文珊 +2 位作者 于怡青 黄辉 徐西鹏 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第20期2716-2721,共6页
采用有限元法(FEM)与光滑质点流体动力学法(SPH)耦合算法,假设以圆锥作为磨粒的形状,以玻璃为工件材料,进行了单颗金刚石磨粒的三维磨削仿真。仿真结果表明:磨粒的挤压使工件材料向前方及两侧流动而产生隆起,且磨屑发生粉末化现象;沟槽... 采用有限元法(FEM)与光滑质点流体动力学法(SPH)耦合算法,假设以圆锥作为磨粒的形状,以玻璃为工件材料,进行了单颗金刚石磨粒的三维磨削仿真。仿真结果表明:磨粒的挤压使工件材料向前方及两侧流动而产生隆起,且磨屑发生粉末化现象;沟槽的实际宽度远大于磨粒的切削宽度,断裂裂纹向沟槽两侧扩张,裂纹扩展一段后就停止不前而残留下来,成为残留裂纹。该方法可以较好地解决传统有限元法进行脆性材料磨削仿真时容易发生单元畸变的问题,验证了FEM与SPH耦合算法应用于脆性材料磨削仿真研究的可行性。 展开更多
关键词 单颗金刚石加工 有限元法 光滑质点流体动力学(SPH) 脆性材料
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单晶SiC基片的集群磁流变平面抛光加工 被引量:12
4
作者 潘继生 阎秋生 +3 位作者 徐西鹏 童和平 祝江停 白振伟 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第18期2495-2499,共5页
基于集群磁流变效应超光滑平面抛光理论及研制的试验装置,对单晶SiC基片进行了平面抛光试验研究。研究结果表明,金刚石磨料对单晶SiC基片具有较好的抛光效果;加工间隙在1.4mm以内抛光效果较好,30min抛光能使表面粗糙度值减小87%以上;随... 基于集群磁流变效应超光滑平面抛光理论及研制的试验装置,对单晶SiC基片进行了平面抛光试验研究。研究结果表明,金刚石磨料对单晶SiC基片具有较好的抛光效果;加工间隙在1.4mm以内抛光效果较好,30min抛光能使表面粗糙度值减小87%以上;随着加工时间的延长,表面粗糙度越来越小,加工30min时粗糙度减小率达到86.54%,继续延长加工时间,加工表面粗糙度趋向稳定。通过优化工艺参数对直径为50.8mm(2英寸)6H单晶SiC进行了集群磁流变平面抛光,并用原子力显微镜观察了试件加工前后的三维形貌和表面粗糙度,发现经过30min加工,表面粗糙度Ra从72.89nm减小至1.9nm,说明集群磁流变效应超光滑平面抛光用于抛光单晶SiC基片可行有效且效果显著。 展开更多
关键词 单晶SiC 集群磁流变 平面抛光 表面粗糙度
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磨粒工具的研究现状及发展趋势 被引量:9
5
作者 徐西鹏 黄辉 +3 位作者 胡中伟 崔长彩 罗求发 廖信江 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第15期2-20,共19页
磨粒加工技术的快速发展带动了磨粒工具技术的不断进步。发展高性能的磨粒工具对提高生产效率、提升加工精度有着重要的意义。从加工中磨粒工具的失效形式入手,分析了不同加工目标下磨粒与工件材料加工界面之间的力作用、温度作用、化... 磨粒加工技术的快速发展带动了磨粒工具技术的不断进步。发展高性能的磨粒工具对提高生产效率、提升加工精度有着重要的意义。从加工中磨粒工具的失效形式入手,分析了不同加工目标下磨粒与工件材料加工界面之间的力作用、温度作用、化学作用对磨粒工具失效的影响机制;概述了基于界面作用机理调控的磨粒工具设计及制造技术;归纳了现有磨粒工具的表面状态测量与评价技术;总结了磨粒工具使用过程中的界面作用调控技术;结合智能磨粒加工技术的发展对磨粒工具的未来趋势提出了展望。 展开更多
关键词 磨粒工具 力作用 温度作用 化学作用
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刀具-切屑接触区的应力分布建模方法研究 被引量:10
6
作者 姜峰 言兰 +1 位作者 徐西鹏 融亦鸣 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期188-193,共6页
刀具-切屑之间的接触区特性对切削过程中的切削力、切削热及刀具磨损等均有较大影响。利用UMT-2高速球-盘摩擦试验机进行硬质合金球(模拟刀具)和Al7050-T7451(模拟工件)的摩擦试验。测量摩擦后得到的沟槽三维形貌和硬质合金球上的磨痕形... 刀具-切屑之间的接触区特性对切削过程中的切削力、切削热及刀具磨损等均有较大影响。利用UMT-2高速球-盘摩擦试验机进行硬质合金球(模拟刀具)和Al7050-T7451(模拟工件)的摩擦试验。测量摩擦后得到的沟槽三维形貌和硬质合金球上的磨痕形状,对硬质合金球和Al7050-T7451盘之间的三维接触应力状态进行分析计算,进而建立考虑相对运动速度和接触应力的滑动摩擦因数表达式。提出刀具-切屑接触区几何尺寸和应力分布的计算方法,设计正交车削试验测量主切削力和吃刀抗力,进而通过计算获得不同切削速度下的刀具-切屑接触长度、接触长度上黏结区的长度、以及黏结区、滑动区长度之比,从而量化不同切削条件下刀具-切屑的接触状态。 展开更多
关键词 球-盘摩擦 三维接触应力 车削试验 刀具一切屑摩擦模型
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轴向力对圆锯片轴向变形的影响研究 被引量:10
7
作者 房怀英 李远 徐西鹏 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期966-970,共5页
通过有限元分析、静态加载以及锯切石材实验,分别研究了静止状态和加工状态下的圆锯片轴向变形。研究表明,圆锯片在这两种状态下的轴向变形曲线形状基本相似;在石材锯切过程中,圆锯片所受的静态轴向力是基体轴向变形的主要影响因素,而... 通过有限元分析、静态加载以及锯切石材实验,分别研究了静止状态和加工状态下的圆锯片轴向变形。研究表明,圆锯片在这两种状态下的轴向变形曲线形状基本相似;在石材锯切过程中,圆锯片所受的静态轴向力是基体轴向变形的主要影响因素,而锯切加工工艺参数对轴向变形的影响不大,基体的轴向变形曲线呈现出明显的周期性特征。 展开更多
关键词 圆锯片 轴向力 加工工艺参数 轴向变形
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高速磨削难加工材料的研究进展 被引量:9
8
作者 陈建毅 郑祝堂 徐西鹏 《工具技术》 2011年第8期15-20,共6页
高速磨削是实现对难加工材料的高效、优质加工的一种先进加工技术。本文总结了难加工材料高速磨削的相关研究,从磨削力、磨削温度、磨削比能、表面形貌等磨削特性进行探讨。
关键词 高速磨削 难加工材料 磨削特性
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金刚石磨具表面磨粒分布形态的定量评价 被引量:9
9
作者 苏玲玲 黄辉 徐西鹏 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1290-1294,共5页
为了定量评价磨粒在磨具表面的分布形态,采用静态磨刃密度Cs与磨粒分布均匀性CV两个评价指标来描述磨粒在磨具表面的分布信息。针对金刚石磨具的SEM图,对图片进行二值化处理及磨粒质点化,通过对质点的统计获得静态磨粒密度Cs,另一方面,... 为了定量评价磨粒在磨具表面的分布形态,采用静态磨刃密度Cs与磨粒分布均匀性CV两个评价指标来描述磨粒在磨具表面的分布信息。针对金刚石磨具的SEM图,对图片进行二值化处理及磨粒质点化,通过对质点的统计获得静态磨粒密度Cs,另一方面,采用泰森多边形法,获取各质点所占据的面积,利用γ分布的变异系数来评价磨粒的分布均匀性CV。利用所提出的两项指标,评价了同一磨具表面及不同磨粒排布磨具表面的磨粒分布形态,结果表明所提出的指标能较好地用于磨粒分布形态的评价。 展开更多
关键词 金刚石磨粒 分布均匀性 静态磨粒密度 磨粒分布均匀性
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凝胶结合剂超细金刚石磨粒工具的制备及应用 被引量:8
10
作者 陆静 罗求发 +2 位作者 宋运运 胡光球 徐西鹏 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第15期205-212,共8页
利用溶胶凝胶原理制备超细粒度金刚石磨料工具。提出对超细金刚石磨料进行剪切分散解决磨料在凝胶结合剂中的分散问题;选用复合干燥控制化学添加剂改善凝胶结合剂基体的性能;加入偶联剂提高凝胶结合剂基体对超细金刚石磨粒的把持能力。... 利用溶胶凝胶原理制备超细粒度金刚石磨料工具。提出对超细金刚石磨料进行剪切分散解决磨料在凝胶结合剂中的分散问题;选用复合干燥控制化学添加剂改善凝胶结合剂基体的性能;加入偶联剂提高凝胶结合剂基体对超细金刚石磨粒的把持能力。研究结果表明,经剪切分散后的超细金刚石磨料在凝胶结合剂中分布均匀;复合添加剂成功抑制了凝胶结合剂基体的收缩并防止了其脱水失效;偶联剂通过化学键合的作用有效提高了凝胶结合剂基体对超细金刚石磨粒的把持能力,减少了磨粒的脱落。采用所制备的超细金刚石凝胶结合剂工具磨抛加工两种典型的硬脆性基片材料,获得了纳米级甚至亚纳米级的超光滑无损表面。 展开更多
关键词 凝胶结合剂 超细金刚石 磨抛加工 基片
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不平衡量对砂轮跳动影响的研究 被引量:7
11
作者 魏于评 周松喜 郭桦 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2011年第4期70-73,共4页
本文利用激光位移传感器,在线采集砂轮基体外圆表面的振动信号,通过对信号的处理分析,得出砂轮基体的跳动值。在相同转速不同不平衡量的条件下,分析了砂轮基体的跳动值,结果表明:砂轮基体的跳动值随着不平衡量的增大而增大;在相同转速... 本文利用激光位移传感器,在线采集砂轮基体外圆表面的振动信号,通过对信号的处理分析,得出砂轮基体的跳动值。在相同转速不同不平衡量的条件下,分析了砂轮基体的跳动值,结果表明:砂轮基体的跳动值随着不平衡量的增大而增大;在相同转速、相同不平衡量下,45#钢砂轮基体的跳动值比铝砂轮基体的跳动值平均约大0.05μm。 展开更多
关键词 砂轮振动 动平衡 砂轮跳动 频谱分析
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消失模铸造制备奥-贝球铁CBN砂轮胎体 被引量:8
12
作者 侯宁 戴秋莲 +1 位作者 骆灿彬 尤芳怡 《特种铸造及有色合金》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期290-293,共4页
根据高速磨削用CBN砂轮的尺寸大小和胎体的性能要求,通过合金化处理和冷却速度的控制使其在消失模铸造工艺条件下获得CBN砂轮用高性能的奥氏体-贝氏体复相组织球墨铸铁胎体。结果表明,针对20mm厚试样,添加适量的Cr、Ni、Mo、Cu元素,控... 根据高速磨削用CBN砂轮的尺寸大小和胎体的性能要求,通过合金化处理和冷却速度的控制使其在消失模铸造工艺条件下获得CBN砂轮用高性能的奥氏体-贝氏体复相组织球墨铸铁胎体。结果表明,针对20mm厚试样,添加适量的Cr、Ni、Mo、Cu元素,控制合适的开箱时间,在奥氏体-贝氏体转变温度范围内把铸件放在硅酸铝纤维棉保温,可以获得奥氏体-贝氏体球墨铸铁,最高硬度(HRC)可达55,最大抗拉强度可达1000MPa左右。 展开更多
关键词 合金化 消失模铸造 冷却速度 奥-贝球铁胎体
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单颗金刚石磨粒磨削SiC的磨削力实验研究 被引量:8
13
作者 贺勇 黄辉 徐西鹏 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第2期25-28,共4页
选取两种不同锥度角的金刚石磨粒,分别用其对SiC陶瓷和单晶SiC进行了单颗磨粒磨削实验,检测了磨削过程中的磨削力大小,分析了磨削参数对磨削力的影响。实验结果表明:磨削力随着切削深度的增大而增大,随磨削速度的减小而增大;随着磨粒顶... 选取两种不同锥度角的金刚石磨粒,分别用其对SiC陶瓷和单晶SiC进行了单颗磨粒磨削实验,检测了磨削过程中的磨削力大小,分析了磨削参数对磨削力的影响。实验结果表明:磨削力随着切削深度的增大而增大,随磨削速度的减小而增大;随着磨粒顶锥角的增大,磨削力明显增大;磨削单晶SiC(6H)的磨削力大于磨削SiC陶瓷的磨削力。 展开更多
关键词 SIC 金刚石磨粒 划擦 磨削力
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基于锯切弧区切向力分布的功率消耗模型 被引量:7
14
作者 黄国钦 徐西鹏 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第21期170-176,共7页
在分析锯切弧区内单颗磨粒切削深度与锯切参数及锯切弧区内切向力分布关系的基础上,依据能量转化原理建立基于弧区切向力分布的锯切功率消耗模型(Power on force distribution,PFD)。通过系列锯切试验测量不同锯切参数下的锯切功率消耗... 在分析锯切弧区内单颗磨粒切削深度与锯切参数及锯切弧区内切向力分布关系的基础上,依据能量转化原理建立基于弧区切向力分布的锯切功率消耗模型(Power on force distribution,PFD)。通过系列锯切试验测量不同锯切参数下的锯切功率消耗,采用回归方法分析所建PFD模型的适用性及其影响因素,然后采用此模型进行锯切功率仿真预测,并比较锯切参数组合在不同样本抽取方式下的预测误差率差异,最后进行少样本预测的实例验证。试验结果表明,所建立的锯切功率消耗模型能很好地反映同一线速度下锯切功率与锯切参数之间的对应关系,这与同一线速度下锯切弧区内切向力基本服从同一种分布关系有关。锯切功率仿真预测及实例预测的结果表明,结合弱对角线抽样方式,采用所建模型可以实现锯切功率的少样本预测。 展开更多
关键词 石材 金刚石圆锯片锯切 功率预测 力分布
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不同圆角半径金刚石划擦单晶SiC过程中的材料去除机理研究 被引量:6
15
作者 段念 黄身桂 +2 位作者 于怡青 黄辉 徐西鹏 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第15期171-180,共10页
以单晶碳化硅(Si C)作为加工对象,通过不同尖端圆角半径的圆锥型金刚石磨粒划擦试验观察了单晶Si C的去除过程,并采用FEM与SPH耦合算法模拟仿真了三种不同尖端圆角半径的单颗磨粒划擦Si C过程中的材料去除过程,试验结果与模拟结果基本... 以单晶碳化硅(Si C)作为加工对象,通过不同尖端圆角半径的圆锥型金刚石磨粒划擦试验观察了单晶Si C的去除过程,并采用FEM与SPH耦合算法模拟仿真了三种不同尖端圆角半径的单颗磨粒划擦Si C过程中的材料去除过程,试验结果与模拟结果基本一致。在此基础上,采用仿真手段从最大等效应力和接触力的角度分析了三种不同尖端圆角半径对单晶碳化硅材料脆塑转变过程材料去除机理的影响。仿真结果表明:随着尖端圆角半径的增加,弹塑性变形-塑脆临界的转变点趋近于0.14μm,而且纯粹的塑性变形模式逐渐消失;脆塑临界去除模式所占的区域逐渐变长,由脆塑临界-脆性去除的转变点的深度也在不断变深;脆塑转变过程中的微裂纹的长度及粗细程度逐渐增加,材料破坏的形式也逐渐升级。 展开更多
关键词 单颗磨粒划擦 单晶碳化硅 脆塑转变 材料去除模式
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蜂窝状结构半固结磨料研磨盘的制备及应用 被引量:5
16
作者 王文珊 胡中伟 +3 位作者 赵欢 陆静 于怡青 徐西鹏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期69-77,共9页
针对传统半固结研磨盘由于盘面较软使得加工衬底面形精度难以保证的问题,提出一种蜂窝状结构的半固结磨料研磨盘的设计与制备方法。该研磨盘采用环氧树脂蜂窝结构作为支撑"骨架",减小研磨盘的变形,以保证研磨衬底的面形精度,... 针对传统半固结研磨盘由于盘面较软使得加工衬底面形精度难以保证的问题,提出一种蜂窝状结构的半固结磨料研磨盘的设计与制备方法。该研磨盘采用环氧树脂蜂窝结构作为支撑"骨架",减小研磨盘的变形,以保证研磨衬底的面形精度,同时采用含有金刚石磨粒的凝胶体作为半固结研磨介质实现对衬底的研磨加工,获得了较好的衬底表面质量。基于该原理制备了一套新型研磨盘,并用于蓝宝石衬底的双面研磨加工。试验结果表明,研磨后衬底表面粗糙度较小,表面划痕和裂纹少,能够获得较好的表面质量;相应地,研磨后蓝宝石衬底的面形精度不仅没有变差,反而得到很大的改善,研磨后衬底的翘曲度、弯曲度和总厚度偏差均大幅减小。另外,研磨效率也相对较高,材料去除率可达0.3~0.4μm/min。试验结果证明了该新型结构研磨盘不仅可以获得较好的表面质量和较高的研磨效率,同时还可提高衬底的面形精度,可用于面形精度要求较高的薄片衬底零件的精密研磨加工。 展开更多
关键词 超精密加工 研磨 半固结磨料研磨盘 蓝宝石衬底 面形精度
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电镀金刚石砂轮磨削火成岩质水晶的磨削力研究 被引量:5
17
作者 张继东 刘海峰 +1 位作者 郭桦 沈剑云 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2012年第2期29-33,共5页
采取顺磨和逆磨两种磨削方式,采用电镀金刚石砂轮对火成岩质水晶进行了平面磨削实验。通过测量磨削过程中的水平磨削力和垂直磨削力,得出了磨削深度、进给速度对磨削力的影响规律。结果表明,随着磨削深度的增大磨削力增大,随着进给速度... 采取顺磨和逆磨两种磨削方式,采用电镀金刚石砂轮对火成岩质水晶进行了平面磨削实验。通过测量磨削过程中的水平磨削力和垂直磨削力,得出了磨削深度、进给速度对磨削力的影响规律。结果表明,随着磨削深度的增大磨削力增大,随着进给速度的增大磨削力也增大。同时分析并讨论了火成岩质水晶的磨削力比,磨削力比Ft/Fn为0.33~0.36。 展开更多
关键词 电镀金刚石砂轮 火成岩质水晶 磨削力 磨削力比
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金刚石圆锯片横向变形控制的实验初探 被引量:5
18
作者 杨庆斌 李远 +1 位作者 郭桦 徐西鹏 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2011年第5期39-43,47,共6页
本文通过在线监测金刚石锯片轴向位移和锯切轴向力,分析了锯片在靠近切削区三个位置的轴向变形特性。在此基础上,初步研究了利用外加辅助控制器抑制锯片轴向变形,提高锯切稳定性的方法。实验研究表明,锯片在切入的位置轴向变形最为明显... 本文通过在线监测金刚石锯片轴向位移和锯切轴向力,分析了锯片在靠近切削区三个位置的轴向变形特性。在此基础上,初步研究了利用外加辅助控制器抑制锯片轴向变形,提高锯切稳定性的方法。实验研究表明,锯片在切入的位置轴向变形最为明显,在该处外加辅助支撑控制器能很大程度上降低锯片轴向偏摆,同时减小轴向力。 展开更多
关键词 辅助支撑 金刚石锯片 轴向偏摆 轴向力
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蓝宝石基片超精密抛光技术研究进展 被引量:4
19
作者 罗求发 陆静 徐西鹏 《超硬材料工程》 CAS 2017年第1期47-51,共5页
介绍了作为LED衬底材料使用的蓝宝石基片抛光方法的进展。通过介绍各种抛光技术所依靠的机械能、化学能、复合能和特种能场等的不同能场形式分析了当前不同蓝宝石基片抛光技术,如浮法抛光、磁流变抛光、水合抛光、化学机械抛光和激光抛... 介绍了作为LED衬底材料使用的蓝宝石基片抛光方法的进展。通过介绍各种抛光技术所依靠的机械能、化学能、复合能和特种能场等的不同能场形式分析了当前不同蓝宝石基片抛光技术,如浮法抛光、磁流变抛光、水合抛光、化学机械抛光和激光抛光等的工艺原理和技术特点,指出当前现有加工方法的优缺点和发展进程。目前蓝宝石衬底的抛光质量已达到表面粗糙度为0.1nm、平面度为0.5μm。随着机械表面界面科学和加工工艺的不断进步,数字化、全自动和环境友好型的抛光技术是未来蓝宝石衬底加工的发展方向。 展开更多
关键词 蓝宝石基片 抛光工艺 化学机械抛光
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钎焊金刚石线锯切割单晶硅材料时的断裂行为研究 被引量:4
20
作者 张国青 黄辉 徐西鹏 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第4期6-10,共5页
利用铜基钎料钎焊制备小直径金刚石线锯,观察线锯形貌,测试线锯力学性能,并在不同切割参数下对单晶硅材料进行切割,记录观察切割过程中的线锯受力,观察线锯断口形貌,探讨小直径钎焊金刚石线锯线锯过程中断裂行为及断裂机理。研究结果表... 利用铜基钎料钎焊制备小直径金刚石线锯,观察线锯形貌,测试线锯力学性能,并在不同切割参数下对单晶硅材料进行切割,记录观察切割过程中的线锯受力,观察线锯断口形貌,探讨小直径钎焊金刚石线锯线锯过程中断裂行为及断裂机理。研究结果表明,线锯的断裂主要有正常疲劳断裂和非正常拉断。 展开更多
关键词 钎焊线锯 受力分析 疲劳断裂
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