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双层石墨烯在栅压调控下的各向异性刻蚀
被引量：
1
1
作者
王国乐
谢立
+3 位作者
陈鹏
杨蓉
时东霞
张广宇
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第19期191-196,共6页
石墨烯纳米结构在纳电子学研究领域表现出了良好的应用前景.氢等离子体各向异性刻蚀技术是加工石墨烯精细纳米结构的关键技术之一,可以实现10 nm以下平整的锯齿型石墨烯纳米带的可控加工.本文系统研究了外加电场对石墨烯各向异性刻蚀效...
石墨烯纳米结构在纳电子学研究领域表现出了良好的应用前景.氢等离子体各向异性刻蚀技术是加工石墨烯精细纳米结构的关键技术之一,可以实现10 nm以下平整的锯齿型石墨烯纳米带的可控加工.本文系统研究了外加电场对石墨烯各向异性刻蚀效应的影响,利用外加栅压实现了氧化硅衬底上的双层石墨烯各向异性刻蚀速率的调控.在±30 V栅压变化范围内,刻蚀速率比可达45.由此不仅可以提高大批量加工石墨烯纳米结构的效率,还可以实现5 nm以下极小尺寸石墨烯纳米带的可控加工.研究结果为石墨烯精细纳米结构器件的高效批量加工提供了思路.
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关键词
石墨烯纳米结构
各向异性刻蚀
栅压
可控加工
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职称材料
锯齿形石墨烯反点网络加工与输运性质研究
2
作者
张婷婷
成蒙
+1 位作者
杨蓉
张广宇
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第21期1-8,共8页
具有特定边界的石墨烯纳米结构在纳电子学、自旋电子学等研究领域表现出良好的应用前景.然而石墨烯加工成纳米结构时,无序的边界不可避免地会降低其载流子迁移率.氢等离子体各向异性刻蚀技术是加工具备完美边界石墨烯微纳结构的一项关...
具有特定边界的石墨烯纳米结构在纳电子学、自旋电子学等研究领域表现出良好的应用前景.然而石墨烯加工成纳米结构时,无序的边界不可避免地会降低其载流子迁移率.氢等离子体各向异性刻蚀技术是加工具备完美边界石墨烯微纳结构的一项关键技术,刻蚀后的石墨烯呈现出规则的近原子级平整的锯齿形边界.本文研究了氮化硼上锯齿形边界石墨烯反点网络的磁输运性质,低磁场下可以观测到载流子围绕着一个空位缺陷运动时的公度振荡磁阻峰.随着磁场的增大,朗道能级简并度逐渐增大,载流子的磁输运行为从Shubnikov-de Haas振荡逐渐向量子霍尔效应转变.在零磁场附近可以观测到反点网络周期性空位缺陷的边界散射所导致的弱局域效应.研究结果表明,在氮化硼衬底上利用氢等离子体刻蚀技术加工锯齿形边界石墨烯反点网络,其样品质量会明显提高,这种简单易行的方法为后续高质量石墨烯反点网络的输运研究提供了新思路.
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关键词
石墨烯
氮化硼
反点网络
输运
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职称材料
题名
双层石墨烯在栅压调控下的各向异性刻蚀
被引量：
1
1
作者
王国乐
谢立
陈鹏
杨蓉
时东霞
张广宇
机构
中国科学院物理研究所
北京
纳米材料
与
纳米
器件
重点
实验室
量子物质科学协同创新中心
中国科学院大学物理学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第19期191-196,共6页
基金
国家重点基础研究发展计划(批准号:2013CB934500,2013CBA01602)
国家自然科学基金(批准号:91223204,61325021,11574361,91323304)
中国科学院B类先导项目(批准号:XDB07010100)资助的课题~~
文摘
石墨烯纳米结构在纳电子学研究领域表现出了良好的应用前景.氢等离子体各向异性刻蚀技术是加工石墨烯精细纳米结构的关键技术之一,可以实现10 nm以下平整的锯齿型石墨烯纳米带的可控加工.本文系统研究了外加电场对石墨烯各向异性刻蚀效应的影响,利用外加栅压实现了氧化硅衬底上的双层石墨烯各向异性刻蚀速率的调控.在±30 V栅压变化范围内,刻蚀速率比可达45.由此不仅可以提高大批量加工石墨烯纳米结构的效率,还可以实现5 nm以下极小尺寸石墨烯纳米带的可控加工.研究结果为石墨烯精细纳米结构器件的高效批量加工提供了思路.
关键词
石墨烯纳米结构
各向异性刻蚀
栅压
可控加工
Keywords
graphene nanostructure
anisotropic etching
gate voltage
controllable fabrication
分类号
TB383.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
锯齿形石墨烯反点网络加工与输运性质研究
2
作者
张婷婷
成蒙
杨蓉
张广宇
机构
中国科学院物理研究所
北京
纳米材料
与
纳米
器件
重点
实验室
量子物质科学协同创新中心
中国科学院大学物理学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第21期1-8,共8页
基金
国家自然科学基金(批准号:61325021,11574361,61390503)
国家重点基础研究发展计划(批准号:2013CB934500,2013CBA01602)资助的课题~~
文摘
具有特定边界的石墨烯纳米结构在纳电子学、自旋电子学等研究领域表现出良好的应用前景.然而石墨烯加工成纳米结构时,无序的边界不可避免地会降低其载流子迁移率.氢等离子体各向异性刻蚀技术是加工具备完美边界石墨烯微纳结构的一项关键技术,刻蚀后的石墨烯呈现出规则的近原子级平整的锯齿形边界.本文研究了氮化硼上锯齿形边界石墨烯反点网络的磁输运性质,低磁场下可以观测到载流子围绕着一个空位缺陷运动时的公度振荡磁阻峰.随着磁场的增大,朗道能级简并度逐渐增大,载流子的磁输运行为从Shubnikov-de Haas振荡逐渐向量子霍尔效应转变.在零磁场附近可以观测到反点网络周期性空位缺陷的边界散射所导致的弱局域效应.研究结果表明,在氮化硼衬底上利用氢等离子体刻蚀技术加工锯齿形边界石墨烯反点网络,其样品质量会明显提高,这种简单易行的方法为后续高质量石墨烯反点网络的输运研究提供了新思路.
关键词
石墨烯
氮化硼
反点网络
输运
Keywords
graphene, boron nitride, antidot lattices, transport
分类号
O613.71 [理学—无机化学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双层石墨烯在栅压调控下的各向异性刻蚀
王国乐
谢立
陈鹏
杨蓉
时东霞
张广宇
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
下载PDF
职称材料
2
锯齿形石墨烯反点网络加工与输运性质研究
张婷婷
成蒙
杨蓉
张广宇
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
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职称材料
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