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大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展
被引量：
32
1
作者
吕反修
唐伟忠
+2 位作者
李成明
陈广超
佟玉梅
《红外技术》
CSCD
北大核心
2003年第4期1-7,共7页
大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一。综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展。给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射 (DCArcPlasmaJet)CVD工艺制备大...
大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一。综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展。给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射 (DCArcPlasmaJet)CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果 ,并报道了对所制备的光学级金刚石自支撑膜的光学、力学 (机械 )、热学和微波介电性能的最新研究结果。
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关键词
光学级金刚石
自支撑膜
高功率直流电弧等离子体喷射
光学性能
热学性能
机械性能
微波介电性能
下载PDF
职称材料
吕反修教授谈超硬薄膜(涂层)材料
被引量：
2
2
作者
吕反修
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第4期49-49,共1页
关键词
超硬薄膜材料
涂层材料
金刚石
立方氮化硼
标准
下载PDF
职称材料
题名
大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展
被引量：
32
1
作者
吕反修
唐伟忠
李成明
陈广超
佟玉梅
机构
北京科技大学
材料学
院
功能
材料
研究所
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2003年第4期1-7,共7页
基金
86 3计划支撑项目 :(项目合同号为 :86 3 715 0 2 (Z) A
86 3 715 Z38 0 3
2 0 0 2AA30 5 5 0 8)
文摘
大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一。综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展。给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射 (DCArcPlasmaJet)CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果 ,并报道了对所制备的光学级金刚石自支撑膜的光学、力学 (机械 )、热学和微波介电性能的最新研究结果。
关键词
光学级金刚石
自支撑膜
高功率直流电弧等离子体喷射
光学性能
热学性能
机械性能
微波介电性能
Keywords
optical grade diamond films, preparation and fabrication, optical, thermal, mechanical, dielectric properties
分类号
TN213 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
吕反修教授谈超硬薄膜(涂层)材料
被引量：
2
2
作者
吕反修
机构
北京科技大学
材料学
院
功能
材料
研究所
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第4期49-49,共1页
关键词
超硬薄膜材料
涂层材料
金刚石
立方氮化硼
标准
分类号
TB43 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展
吕反修
唐伟忠
李成明
陈广超
佟玉梅
《红外技术》
CSCD
北大核心
2003
32
下载PDF
职称材料
2
吕反修教授谈超硬薄膜(涂层)材料
吕反修
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
2003
2
下载PDF
职称材料
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参考文献
引证文献
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