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激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术 被引量：5
1
作者 王晓辉 曹根瑞 梅文辉 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第4期52-55,共4页
讨论了一种新的干涉图处理方法，能实时快速准确地提取干涉图信息，直接测量波面的位相分布，获得较高的位相分辨率和空间分辨率，使光学波面的检测精度达到λ／１００以上，并且实现了波面的实时显示。
关键词 激光干涉仪 数字干涉仪 波面干涉仪
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