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微透镜阵列的制备与应用研究进展 被引量：22
1
作者 李建军 褚春艳 +4 位作者 卢玮彤 张萍萍 杨高岭 钟海政 赵跃进 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第21期1-24,共24页
微透镜阵列是一种多功能的微光学元件,可以对入射光进行扩散、光束整形、光线均分、光学聚焦等调制,进而实现大视角、低像差、小畸变、高时间分辨率和无限景深等,在光电器件和光学系统的微型化、智能化和集成化方面具有重要的应用潜力... 微透镜阵列是一种多功能的微光学元件,可以对入射光进行扩散、光束整形、光线均分、光学聚焦等调制,进而实现大视角、低像差、小畸变、高时间分辨率和无限景深等,在光电器件和光学系统的微型化、智能化和集成化方面具有重要的应用潜力。介绍了微透镜阵列的光学原理和发展历程,综述了喷墨打印、激光直写、丝网印刷、光刻技术、光聚合技术、热熔回流技术和化学气相沉积法等微透镜阵列制备技术,总结了微透镜阵列在成像传感、照明光源、显示和光伏等领域的应用进展,最后对微透镜阵列的发展方向进行了展望,讨论了曲面微透镜、叠加复眼系统以及微透镜与新型光电材料结合等新方向的发展趋势和未来挑战。 展开更多
关键词 光学制造 微透镜阵列 制备技术 器件集成 光学系统 显示
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基于小波变换的共焦拉曼图像去噪方法 被引量：18
2
作者 方松琼 邵荣君 +1 位作者 邱丽荣 王允 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期330-335,共6页
针对现有共焦拉曼光谱显微图像噪声去除不足的问题,提出一种基于小波变换的拉曼图像全面去噪方法。首先对拉曼光谱图像进行小波变换处理,然后再对拉曼图像进行双边滤波处理,进而实现拉曼光谱显微图像中噪声干扰的抑制。理论分析和实验表... 针对现有共焦拉曼光谱显微图像噪声去除不足的问题,提出一种基于小波变换的拉曼图像全面去噪方法。首先对拉曼光谱图像进行小波变换处理,然后再对拉曼图像进行双边滤波处理,进而实现拉曼光谱显微图像中噪声干扰的抑制。理论分析和实验表明:与现有拉曼光谱显微图像去噪方法相比,所提方法使拉曼光谱显微图像的峰值信噪比和结构相似度分别改善了92.99%和197%,其有效提高了拉曼光谱图像的信噪比和物质成分分析的准确率。 展开更多
关键词 拉曼光谱 拉曼图像 小波变换
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激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统的研制 被引量：13
3
作者 赵维谦 王龙肖 +2 位作者 邱丽荣 王允 马仙仙 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期1013-1023,共11页
针对激光聚变靶丸内表面轮廓高精度无损测量的迫切需求,研制了一套激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统。该系统通过最小二乘算法(LSC)计算出靶丸回转偏心量,并利用偏心调整台对靶丸偏心进行自动快速调整;然后,系统软件控制气浮回转轴承驱... 针对激光聚变靶丸内表面轮廓高精度无损测量的迫切需求,研制了一套激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统。该系统通过最小二乘算法(LSC)计算出靶丸回转偏心量,并利用偏心调整台对靶丸偏心进行自动快速调整;然后,系统软件控制气浮回转轴承驱动靶丸旋转,利用激光差动共焦传感器(LDCS)轴向响应曲线过零点及光线追迹算法精确计算出靶丸内表面轮廓上每个采样点的几何位置;最后,对靶丸内轮廓测量数据进行LSC评定得到其圆度信息。实验证明,靶丸回转偏心的自动调整时间可达22s,当采样点分别为1 024,2 048及4 096时,靶丸内轮廓测量时间分别可达10,20及40s,且圆度测量标准差可达19nm(1 024点)。该系统实现了靶丸回转偏心的自动快速调整及其内轮廓的高精度、无损、快速、自动测量。 展开更多
关键词 共焦测量 聚变靶丸 内轮廓 自动偏心调整
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基于多图像融合的MEMS显微三维形貌重构 被引量：10
4
作者 丁汛 赵跃进 丁玉奎 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期1275-1285,共11页
针对微型机电系统(MEMS)的三维测量,显微镜或光学轮廓干涉仪等传统方法存在显微测量精度低、设备成本高等问题,且当结构含有较多断裂面时,解包裹算法效果欠佳。本文提出一种基于多图像融合的MEMS显微三维测量方法。不同于多角度显微三... 针对微型机电系统(MEMS)的三维测量,显微镜或光学轮廓干涉仪等传统方法存在显微测量精度低、设备成本高等问题,且当结构含有较多断裂面时,解包裹算法效果欠佳。本文提出一种基于多图像融合的MEMS显微三维测量方法。不同于多角度显微三维测量方法,本研究首先利用单目显微镜,通过单一轴向移动获取一系列测量目标深度信息的单一角度图像,并利用去雾算法对图像进行预处理,实现了去噪和有效信息提取的目的;然后通过聚焦测度算法获取待测对象的深度信息;最后利用数据处理软件进行三维拟合。基于上述原理,本文以焦平面阵列(FPA)作为待测目标进行了测量实验。本文提出的三维测量方法和图像处理算法可获得更准确的FPA形貌,可清晰显示反射面与支腿部分及反射面上的释放孔,测得FPA的支腿长度为110.6μm,每个反射面的像元尺寸为120.8μm×70.8μm,与设计值基本吻合,解决了断裂面难以测量的问题,同时降低了微结构测量的难度和成本。单目显微镜单向移动的多图像融合测量技术对MEMS的三维形貌测量具有重要意义,去雾算法在图像融合与三维测量的图像处理也有很好的应用价值。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 三维形貌测量 显微镜 聚焦测度 去雾算法
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基于线性调频机制的太赫兹无损检测成像技术 被引量：8
5
作者 张振伟 赵跃进 +1 位作者 缪寅宵 张存林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期75-85,共11页
基于全固态电子器件和零中频机制,设计了基于调频连续波的太赫兹无损检测成像系统。所提系统的有效频率范围为9.375~13.75 GHz,经24倍频后自由空间中的频率范围为0.225~0.330 THz。采用单个喇叭天线与定向耦合器结合,实现收发一体,并利... 基于全固态电子器件和零中频机制,设计了基于调频连续波的太赫兹无损检测成像系统。所提系统的有效频率范围为9.375~13.75 GHz,经24倍频后自由空间中的频率范围为0.225~0.330 THz。采用单个喇叭天线与定向耦合器结合,实现收发一体,并利用光学透镜组对太赫兹波束进行准直聚焦。对准光系统的波束质量进行了优化,提高了系统的信噪比,确保了在现有参数条件下的最佳空间分辨率。同时,采用相位聚焦的方法对系统进行了非线性矫正,使得深度分辨率接近理论分辨率。系统采用直线扫描和旋转扫描组合的方式,实现了柱坐标三维数据的获取。利用所提系统对高压绝缘端子进行了检测评估,并重构了全视角透视图像,实现了目标三维结构在实空间和像空间的孪生对应。此外,所提系统能够准确地显示绝缘端子内部的异常区域,有助于直观地评估被检测目标的内部状态,进而可以进一步满足工业领域无损检测的需求。 展开更多
关键词 成像系统 太赫兹波 太赫兹成像 无损检测 调频连续波 绝缘端子
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一种主次镜组合LED准直照明系统设计与分析 被引量：8
6
作者 杨帆 何川 张旭升 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第8期395-399,共5页
为使LED光源实现特定范围内的均匀照明,提出了一种由复合抛物面集光器和自由曲面透镜结合的主次镜两级准直照明设计方法。该方法可将照明系统出射角控制在±5°~±15°范围内,并在目标区域内实现均匀照明。仿真结果显示... 为使LED光源实现特定范围内的均匀照明,提出了一种由复合抛物面集光器和自由曲面透镜结合的主次镜两级准直照明设计方法。该方法可将照明系统出射角控制在±5°~±15°范围内,并在目标区域内实现均匀照明。仿真结果显示:系统出射角在±5°~±15°范围内,理想情况下该系统的能量利用率和照明均匀度均可达85%以上;同时,系统的照明均匀度不会随照明距离的改变发生显著变化,在实际应用中可通过改变照明距离来改变光斑大小和光斑照度。 展开更多
关键词 光学设计 非成像光学 复合抛物面集光器 同步多表面法 自由曲面透镜
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光场成像原理及应用技术 被引量：8
7
作者 张韶辉 胡摇 +2 位作者 曹睿 程雪岷 郝群 《兵器装备工程学报》 CAS 北大核心 2020年第2期178-186,共9页
光场技术是从包括波长、位置、方向、偏振、时间等在内的光场全要素出发,获取及利用光场信息进行成像、三维测量或显示的一类技术。从光场的物理模型和数学表示、信息获取及处理方式、信息操作手段以及部分应用方向等角度对光场技术进... 光场技术是从包括波长、位置、方向、偏振、时间等在内的光场全要素出发,获取及利用光场信息进行成像、三维测量或显示的一类技术。从光场的物理模型和数学表示、信息获取及处理方式、信息操作手段以及部分应用方向等角度对光场技术进行了系统分析和阐述。 展开更多
关键词 光场成像 微透镜阵列 相机阵列 三维测量
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便携式红外目标模拟器的研制 被引量：8
8
作者 邹营营 邱丽荣 +2 位作者 王雅 王允 赵维谦 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期152-155,161,共5页
针对导弹整体性能测试中目标体红外辐射强度和运动特性的模拟需求,研制了基于卡塞格林式准直光学原理的便携式红外目标模拟器。该目标模拟器采用抛物面型主反射镜与双曲面型次反射镜相结合的卡塞格林准直光管作为光学系统,采用黑体作为... 针对导弹整体性能测试中目标体红外辐射强度和运动特性的模拟需求,研制了基于卡塞格林式准直光学原理的便携式红外目标模拟器。该目标模拟器采用抛物面型主反射镜与双曲面型次反射镜相结合的卡塞格林准直光管作为光学系统,采用黑体作为辐射源,在可变小孔光阑和旋转台的配合下,实现了对红外目标运动特性和辐射强度的模拟。经检测表明,研制的目标模拟器焦距为414.8mm,系统出射光平行度小于10″,黑体辐射温度范围大于80℃,可为测试红外导引头的角运动情况和红外辐射强度提供一条有效的技术途径。 展开更多
关键词 应用光学 红外辐射 准直光学系统 目标模拟器
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后置分光瞳激光差动共焦曲率半径测量 被引量：8
9
作者 李彦宏 杨帅 +2 位作者 唐顺 赵维谦 邱丽荣 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第10期2287-2295,共9页
为了提高曲率半径的测量精度,提出后置分光瞳激光差动共焦曲率半径测量方法,研究了后置分光瞳差动共焦测量原理和虚拟针孔定位算法。在共焦测量系统的探测光路中通过D型光阑遮挡,使一半测量光束聚焦在焦面探测CCD,采用虚拟针孔定位算法... 为了提高曲率半径的测量精度,提出后置分光瞳激光差动共焦曲率半径测量方法,研究了后置分光瞳差动共焦测量原理和虚拟针孔定位算法。在共焦测量系统的探测光路中通过D型光阑遮挡,使一半测量光束聚焦在焦面探测CCD,采用虚拟针孔定位算法对该CCD探测的艾里斑进行分割焦斑差动相减归一化探测,然后利用差动共焦曲线的零点对被测件的“共焦”位置和“猫眼”位置进行精确定焦并测得它们之间的距离,最终实现曲率半径的高精度测量。实验结果表明:该方法测量的曲率半径为-121.2094 mm,测量重复性优于5×10^(-6),无需根据测量物镜和被测镜的参数进行硬件调整,不仅满足曲率半径高精度测量的需求,还简化了光路结构,缩减了研制装调成本,为曲率半径的高精度、快速测量提供了新途径。 展开更多
关键词 激光测量 分光瞳 曲率半径 虚拟针孔 差动共焦 单路离轴探测
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激光差动共焦反射式超大曲率半径测量系统研制 被引量：7
10
作者 卜乙禄 李琦 +3 位作者 李彦宏 邱丽荣 周桃庚 赵维谦 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2020年第5期1-8,共8页
针对球面超大曲率半径测量中存在的测量精度低、抗环境干扰能力差的难题,研制了一套激光差动共焦反射式超大曲率半径测量系统。该系统采用反射式测量光路,利用差动共焦响应曲线对被测件的猫眼和反射位置进行高精度定位,并用测长干涉仪... 针对球面超大曲率半径测量中存在的测量精度低、抗环境干扰能力差的难题,研制了一套激光差动共焦反射式超大曲率半径测量系统。该系统采用反射式测量光路,利用差动共焦响应曲线对被测件的猫眼和反射位置进行高精度定位,并用测长干涉仪记录位置信息,最后结合物镜顶焦距解算出超大曲率半径值。理论分析与实验表明,该系统定焦精度高,测量范围大,抗环境干扰能力强,相对测量误差优于2×10^-4,-15 m超大曲率半径测量结果的重复性可达1.2×10^-4,实现了超大曲率半径的高精度测量。 展开更多
关键词 差动共焦 反射式 超大曲率半径 定焦 测量系统
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基于神经网络模型的生物组织参数反演算法 被引量：7
11
作者 徐歌 董立泉 +6 位作者 孔令琴 赵跃进 刘明 惠梅 刘小华 王发龙 原静 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期163-169,共7页
针对逆向求解生物组织光学特性参数存在测量精度不高、在体测量困难等问题,提出了一种利用神经网络模型反演生物组织光学参数的方法,该方法以蒙特卡罗算法输出的不同检测距离r处的漫反射率R(r)作为输入,以吸收系数和散射系数作为输出。... 针对逆向求解生物组织光学特性参数存在测量精度不高、在体测量困难等问题,提出了一种利用神经网络模型反演生物组织光学参数的方法,该方法以蒙特卡罗算法输出的不同检测距离r处的漫反射率R(r)作为输入,以吸收系数和散射系数作为输出。本文将神经网络算法反演的吸收系数、散射系数值与蒙特卡罗算法获得的吸收系数和散射系数值进行了对比。仿真实验表明:选择r=0.1 cm以及r=0.3 cm距离处的漫反射率作为输入,利用神经网络模型反演的吸收系数和散射系数的平均绝对误差分别为0.003和1.574,一致性决定系数R^(2)分别为0.9997和0.9915。神经网络模型反演的生物组织参数与蒙特卡罗算法获得的吸收系数、散射系数具有较好的一致性,且反演精度高,操作简单,为生物组织光学参数的在体测量提供了新思路。 展开更多
关键词 生物光学 组织光学特性 吸收系数 散射系数 神经网络 漫反射率
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Czerny-Turner型光栅光谱仪光学系统优化设计 被引量：6
12
作者 刘佳畅 李书成 +2 位作者 邵荣君 王允 赵维谦 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期395-399,共5页
为提高光栅光谱仪分辨力,设计了基于球面反射物镜、工作波段范围500~800nm、焦长800mm的非对称式C-T型光栅光谱仪系统,给出了在消像差条件下系统中元件参数和结构尺寸的计算方法,运用光学设计软件Zemax对系统进行仿真分析与优化设计,研... 为提高光栅光谱仪分辨力,设计了基于球面反射物镜、工作波段范围500~800nm、焦长800mm的非对称式C-T型光栅光谱仪系统,给出了在消像差条件下系统中元件参数和结构尺寸的计算方法,运用光学设计软件Zemax对系统进行仿真分析与优化设计,研制了光谱仪样机。设计和实验结果表明,系统在工作光谱范围内的理论分辨力优于0.01nm、实际分辨力优于0.04nm,满足光谱测量需求;整个光学系统具有结构简单、元件数量少、成本低、分辨力高、稳定性好等优点。 展开更多
关键词 应用光学 光谱仪 Czerny-Turner 光学设计 ZEMAX 高分辨力
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基于主成分分析重建图像的互信息视觉伺服 被引量：1
13
作者 徐婷婷 胡摇 +1 位作者 郝群 沈添天 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期736-742,共7页
基于互信息的视觉伺服使用图像全局信息来实现伺服控制,避免了对传统几何特征的提取、匹配和跟踪,并且对光照变化、部分遮挡具有鲁棒性,但由于其任务函数的高非线性,该方法具有收敛域较小的缺点。提出了基于主成分分析(PCA)重建图像的... 基于互信息的视觉伺服使用图像全局信息来实现伺服控制,避免了对传统几何特征的提取、匹配和跟踪,并且对光照变化、部分遮挡具有鲁棒性,但由于其任务函数的高非线性,该方法具有收敛域较小的缺点。提出了基于主成分分析(PCA)重建图像的互信息视觉伺服方法,有效降低了任务函数的非线性。通过实验比较了基于PCA重建图像的互信息视觉伺服和基于原始图像的互信息视觉伺服收敛域大小及收敛速度,并考虑了PCA中主成分个数的影响,结果表明基于PCA重建图像的互信息视觉伺服有效地扩大了互信息视觉伺服的收敛域,且具有更快的收敛速度。 展开更多
关键词 主成分分析 互信息 视觉伺服 收敛域
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具有抗漂移特性的激光共焦拉曼光谱成像技术与系统 被引量：5
14
作者 李书成 王允 +3 位作者 崔晗 邱丽荣 赵维谦 朱恪 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期3249-3254,共6页
共焦拉曼技术结合了共焦显微技术和拉曼光谱技术,具有高分辨率、高灵敏度、可层析成像的优势,广泛应用于物理、材料科学、生物医学、文物鉴定以及刑侦等领域。由于拉曼光谱成像需要较长时间,测量中系统易受环境等因素影响产生漂移,造成... 共焦拉曼技术结合了共焦显微技术和拉曼光谱技术,具有高分辨率、高灵敏度、可层析成像的优势,广泛应用于物理、材料科学、生物医学、文物鉴定以及刑侦等领域。由于拉曼光谱成像需要较长时间,测量中系统易受环境等因素影响产生漂移,造成离焦,而现有商用共焦拉曼光谱仪并无定焦能力,容易影响测量结果。针对此问题,研制了一种具有抗漂移能力的激光共焦拉曼光谱探测系统。在不改变共焦拉曼探测基本原理的基础上,利用拉曼轴向响应曲线最大值对应显微物镜焦面这一特性,对每个探测点进行轴向扫描,采集一定数量的轴向信号,通过曲线拟合寻找光谱强度极值位置,保证扫描过程中样品始终处于系统的焦点位置处,抑制离焦影响,改善拉曼光谱成像效果。以单层石墨烯样品进行单点测试,证明仪器在5μm离焦范围内可以实现实时定焦,定焦后采集到的拉曼光谱强度几乎不变,具有良好的抗漂移能力;对硅台阶样品进行成像测试,结果表明成像过程中,信号强度未发生明显变化,且横向分辨率有一定改善,效果明显优于普通共焦拉曼光谱探测系统。 展开更多
关键词 共焦拉曼 抗漂移 光谱成像
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基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量 被引量：5
15
作者 宁悦文 胡摇 +1 位作者 陶鑫 郝群 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2021年第4期698-702,共5页
光学元件轴向间距测量对精密光学系统的定位和装调具有重要意义。针对现有色散共焦测量系统中色散物镜结构复杂、色散范围小的问题,提出基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量方法,将传统折射共焦镜头几百毫米的轴向尺寸和复杂的... 光学元件轴向间距测量对精密光学系统的定位和装调具有重要意义。针对现有色散共焦测量系统中色散物镜结构复杂、色散范围小的问题,提出基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量方法,将传统折射共焦镜头几百毫米的轴向尺寸和复杂的装调需求简化为数毫米的单片镜,简化了系统结构。透镜间距和厚度测量实验表明,间距测量误差为10μm。 展开更多
关键词 色散共焦 间距测量 偏振衍射 光学元件
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基于线阵CCD像素数提取的高速运动目标形变测量方法研究 被引量：5
16
作者 徐成强 王营博 +3 位作者 曹杰 郝群 袁诗翥 姜雅慧 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1097-1102,共6页
针对传统光学成像测量方法对高速运动目标成像帧频低、像质模糊,难以满足对目标形变高精度测量的缺点,提出一种基于线阵CCD像素数提取的高速运动目标形变测量方法。该方法利用线阵CCD高分辨率、高帧频等优势,通过提取线阵CCD输出目标强... 针对传统光学成像测量方法对高速运动目标成像帧频低、像质模糊,难以满足对目标形变高精度测量的缺点,提出一种基于线阵CCD像素数提取的高速运动目标形变测量方法。该方法利用线阵CCD高分辨率、高帧频等优势,通过提取线阵CCD输出目标强度--像素曲线斜率变化率最大点来获取目标所占像素数N的像素数提取方法,同时采用DMD模拟高速运动目标形变过程,配合基于线阵CCD像素数提取的高速运动目标形变测量方法进行形变测量实验验证。实验结果显示采用该方法对V=450 km/h的高速运动目标进行形变量测量时,可以满足目标形变测量偏差小于0.3 mm,标准差小于0.5 mm,相对误差最低0.01%。实现了高速运动目标形变量的准确测量,为高速磨损测试、高温形变测试、高压形态测试等奠定了基础。 展开更多
关键词 光学测量 线阵CCD 像素数提取法 DMD模拟高速运动目标 形变测量 系统标定
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基于双频激光干涉反馈的快速精密定位系统 被引量：5
17
作者 季林 侯茂盛 +2 位作者 邱丽荣 马飞 赵维谦 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期156-161,共6页
为了实现大量程、高精度测量系统的快速驱动与定位,结合双频激光干涉仪、可回收废气的空气静压导轨、精密滚珠丝杆以及伺服控制系统,研制了一套定位精度高、重复性好的快速精密定位系统。该系统以双频激光干涉仪为测长基准,实时反馈系... 为了实现大量程、高精度测量系统的快速驱动与定位,结合双频激光干涉仪、可回收废气的空气静压导轨、精密滚珠丝杆以及伺服控制系统,研制了一套定位精度高、重复性好的快速精密定位系统。该系统以双频激光干涉仪为测长基准,实时反馈系统工作台位置信息;采用余气回收式空气静压导轨克服了传统气浮导轨余气对激光干涉测量光路系统的影响;在定位过程中引入PID运动控制技术,通过调节伺服控制器的PI参数使系统拥有快速平稳的响应特性。经实验测试,在500mm行程范围内,该系统的轴线双向定位精度可以达到0.266μm,重复定位精度可以达到0.173μm,具有较好地快速响应特性。应用所研制的精密定位系统对一维直线光栅样品进行了扫描,并与用Olympus共焦显微镜测得的数据进行了比对,表明系统具备良好的轴向定位能力。 展开更多
关键词 光学测量 快速精密定位 双频激光干涉 空气静压导轨 PID控制 定位精度
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微结构形貌的光场显微三维重构分辨率增强技术 被引量：5
18
作者 陈卓 胡摇 +2 位作者 蒋晓黎 李腾飞 郝群 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期385-390,共6页
扫描式的测量技术是目前微结构表面形貌测量的主流技术,但需要高精度的机械扫描、较长的测量时间。针对其问题,结合光场显微技术和傅里叶叠层显微技术,提出了一种分辨率增强的三维重构技术,通过在常规显微成像系统中加入光学编码元件,... 扫描式的测量技术是目前微结构表面形貌测量的主流技术,但需要高精度的机械扫描、较长的测量时间。针对其问题,结合光场显微技术和傅里叶叠层显微技术,提出了一种分辨率增强的三维重构技术,通过在常规显微成像系统中加入光学编码元件,使用单次曝光而获得被测工件的光学切片序列,基于傅里叶叠层显微技术实现了对切片图像横向分辨率的增强,克服了光场成像技术中的分辨率损失。实验证明,提出的三维重构技术对于微结构表面加工过程的在线测量具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 微结构 光场 傅里叶叠层显微 分辨率增强 三维重构
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基于部分补偿干涉的非球面顶点曲率半径加工误差测量 被引量：5
19
作者 胡摇 李腾飞 +1 位作者 郝群 常旭 《计量学报》 CSCD 北大核心 2020年第8期903-908,共6页
测量非球面顶点曲率半径加工误差对预估成像系统质量和计算机辅助装校有重要意义。传统的部分补偿干涉系统只能测量非球面面形误差,即被测非球面与标称非球面之间的不规则偏差。通过分析系统剩余波前特定像差项随被测面位置的变化关系,... 测量非球面顶点曲率半径加工误差对预估成像系统质量和计算机辅助装校有重要意义。传统的部分补偿干涉系统只能测量非球面面形误差,即被测非球面与标称非球面之间的不规则偏差。通过分析系统剩余波前特定像差项随被测面位置的变化关系,基于部分补偿干涉原理,提出了一种非球面顶点曲率半径加工误差测量方法,测得非球面顶点曲率半径加工误差。仿真实验结果表明,所提出的误差测量方法具有可行性,其原理相对测量精度不低于0.003%。 展开更多
关键词 计量学 顶点曲率半径 非球面 干涉测量 加工误差
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相位板偏心对波前编码系统的成像影响分析 被引量：5
20
作者 郭小虎 赵跃进 +3 位作者 董立泉 刘明 孔令琴 吴益剑 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期279-287,共9页
理论及实验分析了三次相位板的偏心对波前编码成像的影响。理论分析得到相位板倾斜和偏心后的波前编码系统的光瞳函数相位项的表达式。分析表明,当仅有偏心时,相位板位置变化会产生相位因子的变化效应和离焦量的改变,它们均与相位板的... 理论及实验分析了三次相位板的偏心对波前编码成像的影响。理论分析得到相位板倾斜和偏心后的波前编码系统的光瞳函数相位项的表达式。分析表明,当仅有偏心时,相位板位置变化会产生相位因子的变化效应和离焦量的改变,它们均与相位板的偏移量相关。同时仿真结果表明,偏心会改变点扩散函数(PSF)的能量分布及PSF包络的两条直角边长度,降低系统的调制传递函数(MTF)值;z向偏心对PSF的影响小于x向或y向的偏心对PSF的影响。实验结果表明,偏心在一定的范围内对PSF的影响较小,复原图像在焦深范围内的清晰度一致性较好;但是偏心会降低焦深延拓率。实验结果与理论分析结果具有良好的一致性。研究结果对基于相位掩模板的波前编码系统在空间光学系统、显微系统、红外成像等领域的应用具有较高的参考价值。 展开更多
关键词 成像系统 波前编码 三次相位板 偏心 相位因子 离焦量
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