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红外成像技术中的9个问题 被引量：56
1
作者 蔡毅 王岭雪 《红外技术》 CSCD 北大核心 2013年第11期671-682,共12页
讨论了与红外成像技术密切相关的9个问题:红外/热成像仪工作波段的选择、三代红外/热成像技术的一般性区别、5种扫描成像模式的比较、国外第二代红外成像技术的特点、长波红外扫描型与中波红外凝视型焦平面探测器综合性能的比较、制冷... 讨论了与红外成像技术密切相关的9个问题:红外/热成像仪工作波段的选择、三代红外/热成像技术的一般性区别、5种扫描成像模式的比较、国外第二代红外成像技术的特点、长波红外扫描型与中波红外凝视型焦平面探测器综合性能的比较、制冷和非制冷热成像技术的比较、非制冷红外焦平面探测器技术的比较、探测元尺寸与探测器规模、红外成像技术发展"代"的双重含义。 展开更多
关键词 红外成像 热成像 红外焦平面探测器 扫描成像 凝视成像
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红外图像细节增强技术研究进展 被引量：49
2
作者 金伟其 刘斌 +5 位作者 范永杰 王霞 徐超 陈艳 刘崇亮 夏润秋 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第12期2521-2527,共7页
红外图像细节增强技术是图像处理领域中一个重要的学术分支和现实需求,可以增强对微弱目标观测的能力,提高人眼对图像内容和关键细节信息的有效获取,同时,也为后续进一步地目标识别和机器视觉应用提供良好的图像预处理功能。在分析当前... 红外图像细节增强技术是图像处理领域中一个重要的学术分支和现实需求,可以增强对微弱目标观测的能力,提高人眼对图像内容和关键细节信息的有效获取,同时,也为后续进一步地目标识别和机器视觉应用提供良好的图像预处理功能。在分析当前针对红外图像细节增强领域的主流处理算法的基础上,结合在该领域中的多年研究心得和经验,指出了每种技术在处理效果上所存在的优点和不足,探讨了基于高精度A/D采样图像数据在细节增强和数据动态范围压缩同步处理技术上的优势,并对未来红外图像数字处理技术的发展和应用前景做出了展望。 展开更多
关键词 红外图像 细节增强 对比度增强 高动态范围
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红外偏振成像探测技术进展 被引量：40
3
作者 王霞 夏润秋 +2 位作者 金伟其 刘敬 梁建安 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第10期3175-3182,共8页
不同物体不同状态存在明显的红外偏振差异,可以构成目标探测信息。简述了利用红外偏振成像技术进行目标探测的物理本质,重点阐述了偏振双向反射分布函数原理,列举了红外偏振成像探测模型,介绍了红外偏振成像技术的应用优势,归纳总结了... 不同物体不同状态存在明显的红外偏振差异,可以构成目标探测信息。简述了利用红外偏振成像技术进行目标探测的物理本质,重点阐述了偏振双向反射分布函数原理,列举了红外偏振成像探测模型,介绍了红外偏振成像技术的应用优势,归纳总结了偏振成像系统结构分类及其特点,叙述了红外偏振成像技术在目标探测与识别领域的进展,详细叙述了红外偏振成像技术的理论、实验基础研究和在目标探测中的应用。最后,总结分析了中/长波红外偏振成像技术特点,并对发展国内红外偏振成像技术提出了建议。 展开更多
关键词 红外偏振成像 目标探测 偏振双向反射分布函数 偏振特性
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微光视频器件及其技术的进展 被引量：39
4
作者 金伟其 陶禹 +1 位作者 石峰 李本强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第11期3167-3176,共10页
微光夜视技术作为当今拓展人眼夜间视觉感知的主要技术之一,在军事和民用领域都有广泛的应用。随着数字图像处理技术的发展,微光视频器件为通过图像处理进一步提升夜视图像质量,为与红外热成像的图像信息融合,为提高夜间对目标探测/识... 微光夜视技术作为当今拓展人眼夜间视觉感知的主要技术之一,在军事和民用领域都有广泛的应用。随着数字图像处理技术的发展,微光视频器件为通过图像处理进一步提升夜视图像质量,为与红外热成像的图像信息融合,为提高夜间对目标探测/识别和场景理解能力等方面提供了广泛空间,成为当前国内外夜视技术发展的重要方向之一。论文综述了微光视频器件发展,分析了电真空+固体微光视频成像器件(如像增强CCD/CMOS(ICCD/ICMOS)器件、电子轰击EBCCD/EBCMOS器件等)、全固体微光视频成像器件(如电子倍增CCD器件、超低照度CMOS器件等)的特点和发展趋势,并结合法国PHOTONIS公司的LYNX计划,对微光夜视技术的发展进行了分析和讨论。 展开更多
关键词 微光 视频器件 进展 EBCCD/EBCMOS EMCCD CMOS
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非制冷红外焦平面探测器及其技术发展动态 被引量：36
5
作者 冯涛 金伟其 司俊杰 《红外技术》 CSCD 北大核心 2015年第3期177-184,共8页
非制冷红外焦平面探测器是热成像系统的核心部件。介绍了非制冷红外焦平面探测器的工作原理及微测辐射热计、读出电路、真空封装三大技术模块,分析了影响其性能的关键参数。与微测辐射热计设计相关的重要参数包括低的热导、高的红外吸... 非制冷红外焦平面探测器是热成像系统的核心部件。介绍了非制冷红外焦平面探测器的工作原理及微测辐射热计、读出电路、真空封装三大技术模块,分析了影响其性能的关键参数。与微测辐射热计设计相关的重要参数包括低的热导、高的红外吸收率、合适的热敏材料等;读出电路的传统功能是实现信号的转换读出,近年来也逐渐加入了信号补偿的功能;真空封装技术包括了金属管壳封装、陶瓷管壳封装、晶圆级封装和像元级封装。列举了国内外主要厂商的非制冷红外焦平面探测器的技术指标及近年来的最新技术进展,总结了非制冷红外焦平面探测器的技术发展趋势。 展开更多
关键词 非制冷红外 焦平面探测器 微测辐射热计 读出电路 真空封装
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多光轴一致性检测技术进展及其分析 被引量：36
6
作者 金伟其 王霞 +5 位作者 张其扬 姜玉华 李雅灿 樊凡 范敬凡 王宁 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第3期526-531,共6页
集激光测距、激光制导照射、可见光成像和热成像等为一体的多传感器光电系统在现代武器装备平台上得到了广泛应用。多光轴一致性是多传感器光电武器装备正常运行的基本保证,因此,光轴一致性检测已成为多传感器光电系统性能检测的关键环... 集激光测距、激光制导照射、可见光成像和热成像等为一体的多传感器光电系统在现代武器装备平台上得到了广泛应用。多光轴一致性是多传感器光电武器装备正常运行的基本保证,因此,光轴一致性检测已成为多传感器光电系统性能检测的关键环节。文中综述了常规的光轴一致性检测方法,介绍了当前迅速发展的采用视频数字图像的多光轴一致性检测方法,并重点介绍了一种利用视频图像的多光轴一致性外场检测方法及其特点,分析表明:这是一种具有广泛应用前景且可望用于多光轴在线检测的有效方法。 展开更多
关键词 多传感器 多光轴一致性 检测 视频 图像处理
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水下光电成像技术与装备研究进展(下) 被引量：34
7
作者 金伟其 王霞 +4 位作者 曹峰梅 黄有为 刘敬 李海兰 徐超 《红外技术》 CSCD 北大核心 2011年第3期125-132,共8页
鉴于对深海资源开发、海洋科研以及水下工程作业、考古和救援的迫切需求,使得水下光电成像技术研究和装备研制成为当前国内外重点研究方向之一。介绍了扫描激光、偏振成像、结构光成像、光-声混合成像以及水下图像处理等水下光电成像技... 鉴于对深海资源开发、海洋科研以及水下工程作业、考古和救援的迫切需求,使得水下光电成像技术研究和装备研制成为当前国内外重点研究方向之一。介绍了扫描激光、偏振成像、结构光成像、光-声混合成像以及水下图像处理等水下光电成像技术,分析了部分技术应用情况,并讨论了其技术特点。论文对于发展海洋资源开发、水下勘探与研究、水下救援以及国防等所需的水下光电成像技术和装置具有意义。 展开更多
关键词 水下成像 激光扫描 偏振成像 结构光成像 光-声混合成像 水下图像处理
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基于斯托克斯矢量的偏振成像仪器及其进展 被引量：32
8
作者 刘敬 夏润秋 +2 位作者 金伟其 王霞 杜岚 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期56-62,共7页
偏振成像技术将景物的偏振信息转化为二维图像信息,从而可以和灰度图像一样对目标景物进行场景特征分析。介绍了基于斯托克斯矢量的偏振成像原理。按照获取斯托克斯矢量方法的不同,分别介绍了偏振片起偏、偏振棱镜分光和可变延迟波片调... 偏振成像技术将景物的偏振信息转化为二维图像信息,从而可以和灰度图像一样对目标景物进行场景特征分析。介绍了基于斯托克斯矢量的偏振成像原理。按照获取斯托克斯矢量方法的不同,分别介绍了偏振片起偏、偏振棱镜分光和可变延迟波片调制三类分时偏振成像方式,分振幅、分孔径、分焦平面三种同时偏振成像方式。结合我国的制造水平,设计了双CCD渥拉斯顿棱镜同时偏振成像实验系统,并采集了实验图像。分析了各种偏振成像方式的优缺点。指出了偏振激光照明主动偏振成像、光谱偏振成像是偏振成像仪器进一步的发展方向。 展开更多
关键词 偏振成像 分时偏振成像 同时偏振成像 渥拉斯顿棱镜
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采用中波红外偏振成像的目标探测实验 被引量：30
9
作者 陈伟力 王霞 +2 位作者 金伟其 李福文 曹扬 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第1期7-11,共5页
目前国内红外偏振成像技术的研究尚处于初步的实验阶段,需要开展具有针对性的红外偏振成像实验,以支撑红外偏振成像理论和技术的研究。基于高灵敏度的中波制冷焦平面探测器,搭建了中波红外偏振成像系统,并针对特定场景中的典型目标,开... 目前国内红外偏振成像技术的研究尚处于初步的实验阶段,需要开展具有针对性的红外偏振成像实验,以支撑红外偏振成像理论和技术的研究。基于高灵敏度的中波制冷焦平面探测器,搭建了中波红外偏振成像系统,并针对特定场景中的典型目标,开展了红外偏振成像实验,获得了有效的实验数据和成像规律,并基于HSV颜色空间对偏振信息图像进行了融合再现实验研究。结果表明:中波偏振热成像可突出光滑表面的轮廓及金属与水泥构件等的差异,有利于对隐藏目标和伪装目标的探测与识别;利用彩色图像融合方法融合热辐射强度、偏振度和偏振角图像是一种可行的偏振图像再现方式,能够综合反映偏振热成像的有效信息。 展开更多
关键词 中波红外偏振成像 偏振度 偏振角 Stokes参量
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改进型Czerny-Turner成像光谱仪光学系统设计方法 被引量：30
10
作者 刘健鹏 唐义 +2 位作者 黄刚 张止戈 倪国强 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期234-240,共7页
像散是目前影响Czerny-Turner结构成像光谱仪空间分辨率最大的像差。首先引入柱面反射镜,利用光焦度衡量像散大小,推导出易于计算的像散校正公式,有效地校正了像散。给出准直镜到光栅距离的计算方法,有效校正了成像光谱仪边缘视场像差... 像散是目前影响Czerny-Turner结构成像光谱仪空间分辨率最大的像差。首先引入柱面反射镜,利用光焦度衡量像散大小,推导出易于计算的像散校正公式,有效地校正了像散。给出准直镜到光栅距离的计算方法,有效校正了成像光谱仪边缘视场像差。给出了成像光谱仪像面倾角的计算方法,实现了宽波段的像差校正。最终利用上述方法设计了一套用于115～200nm的改进型Czerny-Turner成像光谱仪,焦距f′=48mm,F数为5.0,全视场、全波段调制传递函数(MTF)在0.7以上。全波段光谱分辨率为0.22nm,像面大小为8mm×7mm。设计方法适用于多种结构要求的成像光谱仪。 展开更多
关键词 成像光谱仪 CZERNY Turner结构 柱面反射镜 远紫外
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多特征融合匹配的多目标跟踪 被引量：28
11
作者 闫辉 许廷发 +2 位作者 吴青青 徐磊 吴威 《中国光学》 EI CAS 2013年第2期163-170,共8页
针对复杂背景的视频图像多目标跟踪遮挡问题,提出了一种多特征融合匹配的多目标跟踪方法。基于自适应高斯混合背景模型重构和更新背景策略,实现当前帧背景减除和多目标检测;采用目标的颜色特征、质心位置、运动速度等特征进行融合匹配跟... 针对复杂背景的视频图像多目标跟踪遮挡问题,提出了一种多特征融合匹配的多目标跟踪方法。基于自适应高斯混合背景模型重构和更新背景策略,实现当前帧背景减除和多目标检测;采用目标的颜色特征、质心位置、运动速度等特征进行融合匹配跟踪;最后,通过区域辅助判定策略将场景下的目标状态分为目标进入场景、目标退出场景、目标暂消、目标重现、目标融合和分裂5种状态,用质心预测方法和遮挡因子辅助匹配来提高匹配正确率。仿真实验结果表明:采用该方法跟踪同一目标和不同目标的相似度平均值分别为0.949 71和0.505 73,优于单一颜色特征信息匹配;目标遮挡结束后重新匹配相似度为0.972 83,实现了复杂背景下具有表面相似性的多目标实时跟踪。 展开更多
关键词 多目标跟踪 高斯模型 多特征融合 质心预测 遮挡因子
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基于红外技术的气体浓度检测方法研究 被引量：27
12
作者 刘永平 王霞 +1 位作者 李帅帅 胡玲 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期189-195,共7页
依据Lambert-Beer定律,推导出检测气体浓度的数学模型,得出了测量和参考探测器输出电压与气体浓度的函数表达式,表达式中的二个常数的数值取决于气室长度、气体吸收系数、探测器的电压探测率,经零点和满量程标准气样的标定,可确定这二... 依据Lambert-Beer定律,推导出检测气体浓度的数学模型,得出了测量和参考探测器输出电压与气体浓度的函数表达式,表达式中的二个常数的数值取决于气室长度、气体吸收系数、探测器的电压探测率,经零点和满量程标准气样的标定,可确定这二个常数的数值,实现对仪器的标定.根据仪器零点随温度变化的关系,得到零点与温度函数表达式,用于零点温度补偿以及对零点温度补偿系数的计算;量程温度补偿方法是通过引入量程温度补偿因子,对测量和参考探测器输出电压与气体浓度的函数表达式进行修正,修正后的函数表达式用于量程温度补偿,也能对量程温度补偿因子中的补偿系数进行计算.矿用红外甲烷传感器采用本文的标定方法和温度补偿方法,在不同的环境温度下,对标准气样进行检测,其检测结果符合红外甲烷传感器标准所规定的基本误差. 展开更多
关键词 红外技术 测量模型 标定 温度补偿
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水下光电成像技术与装备研究进展(上)——水下激光距离选通技术 被引量：27
13
作者 曹峰梅 金伟其 +4 位作者 黄有为 李海兰 王霞 储开丽 刘敬 《红外技术》 CSCD 北大核心 2011年第2期63-69,共7页
激光距离选通成像技术是当前国内外不断发展且应用有效的水下光电成像技术之一,国外20世纪90年代后陆续公开了一些水下光电成像探测系统和实验结果。结合海洋资源勘探、水下救援和侦察等应用领域的需求,全面介绍并对比分析了当前国内外... 激光距离选通成像技术是当前国内外不断发展且应用有效的水下光电成像技术之一,国外20世纪90年代后陆续公开了一些水下光电成像探测系统和实验结果。结合海洋资源勘探、水下救援和侦察等应用领域的需求,全面介绍并对比分析了当前国内外典型水下激光距离选通成像装置和性能水平,讨论了其技术特点,对水下激光距离选通成像技术的发展和装置应用具有意义。 展开更多
关键词 水下成像 距离选通成像 脉冲激光 水下救援
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航拍图像的路面裂缝识别 被引量：25
14
作者 王博 王霞 +3 位作者 陈飞 贺云涛 李文光 刘莉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期119-125,共7页
针对航拍沥青路面图像识别的噪声和干扰问题,提出一种应用于航拍图像的路面裂缝识别算法。根据路面区域与路旁景观区域灰度级数分布不同,采用多方向拟合的区域生长方法联合HSV颜色空间阈值进行路面区域分割,提取包含完整裂缝信息的单通... 针对航拍沥青路面图像识别的噪声和干扰问题,提出一种应用于航拍图像的路面裂缝识别算法。根据路面区域与路旁景观区域灰度级数分布不同,采用多方向拟合的区域生长方法联合HSV颜色空间阈值进行路面区域分割,提取包含完整裂缝信息的单通道路面;再通过改进的形态学滤波剔除面积较大的干扰区域,利用结合显著性分析的边缘检测算法识别路面的裂缝片段,实现复杂裂缝与路面纹理噪声的区分;自动筛选存在裂缝的图像,针对裂缝可疑区域,结合人眼辅助观察标记并计算其长度。结果表明,该算法可有效剔除图像中的噪声和干扰,较好地识别沥青路面的裂缝,裂缝宽度的识别精度能达到9.7mm,分类识别准确率大于80.0%,长度测量准确率大于75.0%。 展开更多
关键词 图像处理 航拍目标检测 路面裂缝 多方向拟合区域生长 形态学滤波 显著性分析
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微光(可见光)／红外彩色夜视技术处理算法及系统进展 被引量：24
15
作者 骆媛 王岭雪 +3 位作者 金伟其 赵源萌 张长兴 李家琨 《红外技术》 CSCD 北大核心 2010年第6期337-344,共8页
彩色夜视技术是国内外重点发展的关键技术之一,将多波段图像融合成一幅适于人眼观察及目标探测的彩色图像。按照彩色夜视融合算法进展及融合结果的自然感程度,介绍并分析了基于色彩传递的自然感彩色夜视算法及最新进展,基于ICA域的真彩... 彩色夜视技术是国内外重点发展的关键技术之一,将多波段图像融合成一幅适于人眼观察及目标探测的彩色图像。按照彩色夜视融合算法进展及融合结果的自然感程度,介绍并分析了基于色彩传递的自然感彩色夜视算法及最新进展,基于ICA域的真彩色融合算法。随着先进夜视成像装置和实时信号处理技术的飞速发展,国内外已提出多种彩色夜视融合系统,部分已进入使用/装备阶段。介绍并分析了几种已使用/装备的光学式实时彩色夜视融合系统和数字式实时彩色夜视融合系统。 展开更多
关键词 彩色夜视 图像融合 色彩传递 ICA 微光(可见光) 红外
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计算全息三维实时显示的研究进展 被引量：25
16
作者 贾甲 王涌天 +2 位作者 刘娟 李昕 谢敬辉 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2012年第5期12-20,共9页
计算全息三维实时显示是目前国际光学领域的研究热点之一。综述了计算全息三维显示技术研究的现状。从计算全息三维显示的原理出发,简介了全息图计算的复杂度、再现像尺寸与视场角等参数的关系以及影响再现图像质量的主要因素。分析了... 计算全息三维实时显示是目前国际光学领域的研究热点之一。综述了计算全息三维显示技术研究的现状。从计算全息三维显示的原理出发,简介了全息图计算的复杂度、再现像尺寸与视场角等参数的关系以及影响再现图像质量的主要因素。分析了各种获得高质量、大图像和宽视场角的全息三维实时显示技术方案,指出了其中存在的关键问题,并对全息三维实时显示的未来进行了展望。 展开更多
关键词 全息术 计算全息 三维实时显示 计算速度 视场角
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图像融合质量客观评价方法 被引量：23
17
作者 高绍姝 金伟其 +2 位作者 王岭雪 王吉晖 王霞 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期671-677,共7页
随着图像融合技术的快速发展,科学的图像融合质量客观评价对选择合理的融合算法以及研究新的融合算法具有重要的指导意义,成为图像质量评价研究的热点。理想的图像质量客观评价方法可以给出与人主观感受相一致的量化指标。对目前已提出... 随着图像融合技术的快速发展,科学的图像融合质量客观评价对选择合理的融合算法以及研究新的融合算法具有重要的指导意义,成为图像质量评价研究的热点。理想的图像质量客观评价方法可以给出与人主观感受相一致的量化指标。对目前已提出的多种图像融合质量客观评价算法进行综述。简要介绍了基本的客观评价指标;将基于边缘保持度、基于结构相似度、基于信息论以及基于对比度的4类客观评价算法分别进行了介绍,着重分析和比较了各类算法的思路及特点;总结融合图像质量客观评价算法的研究趋势,指出无参考图像与彩色融合图像的质量评价方法是未来重要的发展方向。 展开更多
关键词 图像融合 图像质量 客观评价
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水下彩色图像的亮度通道多尺度Retinex增强算法 被引量：22
18
作者 张凯 金伟其 +1 位作者 裘溯 王霞 《红外技术》 CSCD 北大核心 2011年第11期630-634,共5页
水体散射使得水下光电成像所获得的图像存在较为均匀的散射光分布,降低了水下图像的清晰度和可观察景深,减小水体散射光的影响是提高水下光电成像质量的重要途径。论文基于Retinex理论,将水体散射效应等效为环境光照的变化,通过水下彩... 水体散射使得水下光电成像所获得的图像存在较为均匀的散射光分布,降低了水下图像的清晰度和可观察景深,减小水体散射光的影响是提高水下光电成像质量的重要途径。论文基于Retinex理论,将水体散射效应等效为环境光照的变化,通过水下彩色图像亮度通道下的多尺度Retinex(MSR)算法处理,有效地减小水体散射效应,提高所获图像中水下目标的真实性。实验表明,MSR算法能对含有不同程度水体散射效应的水下彩色图像进行全局视觉效果提升,更清晰地突出物体的细节并获得较鲜艳的色彩表现。 展开更多
关键词 水下彩色图像 散射效应 RETINEX MSR 图像增强
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深度学习算法及其在光学的应用 被引量：21
19
作者 周宏强 黄玲玲 王涌天 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第12期289-308,共20页
深度学习作为机器学习的重要分支,自出现之初就掀起了机器学习的又一次高潮。深度学习在诸如图像识别与分类、语义分割、智能驾驶等多个领域有着优异的表现。同时,深度学习算法以其抽象特征识别和提取特性,极强的模型构建和泛化推广能力... 深度学习作为机器学习的重要分支,自出现之初就掀起了机器学习的又一次高潮。深度学习在诸如图像识别与分类、语义分割、智能驾驶等多个领域有着优异的表现。同时,深度学习算法以其抽象特征识别和提取特性,极强的模型构建和泛化推广能力,被广泛应用于光学领域,如计算全息图产生与成像、数字全息的无参数重建和光谱共振曲线预测等方面。详细介绍了深度学习的基本原理及在图像分类、超分辨成像、计算全息和数字全息、表面等离激元共振曲线预测、超表面的结构设计等方面的典型应用研究,并探讨了深度学习在物理光学领域未来值得研究的方向。 展开更多
关键词 深度学习 神经网络 光学 成像技术
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大数值孔径产业化极紫外投影光刻物镜设计 被引量：21
20
作者 刘菲 李艳秋 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期224-230,共7页
极紫外光刻技术（EUVL）是半导体制造实现22 nm及以下节点的下一代光刻技术,高分辨投影物镜的设计是实现高分辨光刻的关键技术。为设计满足22 nm产业化光刻机需求的极紫外光刻投影物镜,采用6枚高次非球面反射镜,像方数值孔径达到0.3,像... 极紫外光刻技术（EUVL）是半导体制造实现22 nm及以下节点的下一代光刻技术,高分辨投影物镜的设计是实现高分辨光刻的关键技术。为设计满足22 nm产业化光刻机需求的极紫外光刻投影物镜,采用6枚高次非球面反射镜,像方数值孔径达到0.3,像方视场宽度达到1.5 mm。整个曝光视场内的平均波像差均方根值（RMS）为0.0228λ,不采用任何分辨率增强技术的情况下,75 nm光学成像的焦深内,25 nm分辨力的光学调制传递函数（MTF）大于45%。在部分相干因子为0.5-0.8的照明条件下,畸变小于1.6 nm,线宽变化小于1.6%。物面到像面的距离为1075 mm,像方工作距大于30 mm。该物镜结合离轴照明或相移掩模等分辨率增强技术,能够在更大的焦深内实现22 nm光刻分辨率的光刻胶成像,满足半导体制造中22 nm节点技术对产业化极紫外光刻物镜的需求。 展开更多
关键词 光学设计 投影物镜 高次非球面 极紫外光刻(EUVL)
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