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在空心微珠表面磁控溅射镀金属薄膜的研究 被引量：9
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作者 俞晓正 徐政 沈志刚 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期247-250,共4页
本文论述了在空心微珠表面磁控溅射镀金属薄膜的方法。用光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、能谱仪和X射线衍射仪对其进行了分析表征。溅射镀膜时,通过控制空心微珠的运动方式,在空心微珠表面沉积了一层均匀性好、附着力强和致密性好... 本文论述了在空心微珠表面磁控溅射镀金属薄膜的方法。用光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、能谱仪和X射线衍射仪对其进行了分析表征。溅射镀膜时,通过控制空心微珠的运动方式,在空心微珠表面沉积了一层均匀性好、附着力强和致密性好的金属镍膜。 展开更多
关键词 磁控溅射 金属薄膜 场发射扫描电子显微镜 空心微珠
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