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H_2/CH_4流量比对含氢DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响 被引量：6
1
作者 吴金龙 周晖 +3 位作者 郑军 杨拉毛草 张延帅 胡汉军 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期42-48,共7页
利用等离子体增强化学气相沉积法在Si（100）基体上制备不同H2/CH4流量比下的类金刚石薄膜,采用拉曼光谱、红外光谱、扫描电子显微镜（SEM）、纳米力学性能综合测试仪以及摩擦磨损试验机对薄膜的组织结构、力学以及摩擦学性能进行了分... 利用等离子体增强化学气相沉积法在Si（100）基体上制备不同H2/CH4流量比下的类金刚石薄膜,采用拉曼光谱、红外光谱、扫描电子显微镜（SEM）、纳米力学性能综合测试仪以及摩擦磨损试验机对薄膜的组织结构、力学以及摩擦学性能进行了分析。结果表明：该条件下制备的薄膜具有典型的类金刚石结构且膜中氢含量较高,薄膜表面光滑,膜层致密且均匀,薄膜的硬度及与基底的附着力均随着H2/CH4流量比的增加而降低。薄膜在大气环境下具有优异的摩擦学性能,在相同的载荷及转速条件下,H2/CH4流量比对薄膜的摩擦因数影响不大。当载荷为5N时,随着转速的增加,摩擦因数降低;而载荷为10N时,摩擦因数约为0.05,转速对其影响较小。薄膜的磨损率在10^-8~10^-7 mm^3/Nm之间变化,且随H2/CH4流量比的增加而增大。 展开更多
关键词 DLC薄膜 H2/CH4 流量比 摩擦 磨损
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波长渐变滤光片的镀制 被引量：2
2
作者 秦洁玉 罗崇泰 +2 位作者 马勉军 王多书 金扬利 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期236-238,共3页
采用常规的真空蒸发镀膜技术,利用自行设计制作的膜厚修正挡板机构,分别在1cm×3cm的条形K9玻璃基底和Si基底上镀制出了波长渐变滤光片。滤光片的波段范围从可见光区直至中红外区。阐述了波长渐变滤光片的镀制工艺及其结果,分析了... 采用常规的真空蒸发镀膜技术,利用自行设计制作的膜厚修正挡板机构,分别在1cm×3cm的条形K9玻璃基底和Si基底上镀制出了波长渐变滤光片。滤光片的波段范围从可见光区直至中红外区。阐述了波长渐变滤光片的镀制工艺及其结果,分析了在实际镀制中膜厚偏差产生的原因,提出了修正系统偏差的可行性方法。 展开更多
关键词 波长渐变滤光片 挡板 镀制
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空间站机械臂研究 被引量：40
3
作者 张凯锋 周晖 +1 位作者 温庆平 桑瑞鹏 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期612-619,共8页
空间极端环境下,大多数舱外活动必须借助于机械臂.机械臂是国际空间站的主要组成部分,其对空间站的在轨组装、外部维修以及运行起着至关重要的作用,同时机械臂可以减少航天员在舱外的工作时间和频率.通过对国际空间站成员国关于机械臂... 空间极端环境下,大多数舱外活动必须借助于机械臂.机械臂是国际空间站的主要组成部分,其对空间站的在轨组装、外部维修以及运行起着至关重要的作用,同时机械臂可以减少航天员在舱外的工作时间和频率.通过对国际空间站成员国关于机械臂研究概况的介绍,包括航天飞机机械臂、空间站机械臂、欧洲机械臂、日本实验舱机械臂以及德国机械臂,为中国空间机械臂的设计提供参考. 展开更多
关键词 空间站 航天飞机 机械臂 舱外活动
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