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中波红外短波通滤光片的设计与镀制技术研究 被引量：11
1
作者 张佰森 陈焘 +2 位作者 熊玉卿 王多书 王超 《真空与低温》 2010年第3期148-152,共5页
研究了中波红外宽光谱短波通滤光片优化设计和镀制,论述了设计该种滤光片的原则和方法。根据等效折射率理论,以周期性对称膜系为基础,使用部分膜层优化方法,设计了中波红外宽光谱短波通滤光片,在2 300～4 700 nm透射波段范围上的平均透... 研究了中波红外宽光谱短波通滤光片优化设计和镀制,论述了设计该种滤光片的原则和方法。根据等效折射率理论,以周期性对称膜系为基础,使用部分膜层优化方法,设计了中波红外宽光谱短波通滤光片,在2 300～4 700 nm透射波段范围上的平均透射率设计值大于90%,在5 000～6 300 nm截止波段范围上的平均透射率小于1.00%。采用"会聚光红外光学系统"和等离子体辅助沉积工艺实验制备了滤光片。实验表明,在透射波段范围上的平均透射率约为83%,截止波段的平均透射率约为0.45%。结果表明,部分膜层优化方法设计的膜系,膜层结构简单,有利于膜层厚度的监控。 展开更多
关键词 中波红外 短波通滤光片 薄膜设计 镀制
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纳秒激光刻蚀复合材料基金属薄膜机制研究 被引量：9
2
作者 杨建平 陈学康 +1 位作者 吴敢 王瑞 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期256-260,共5页
通过分析激光脉冲作用于金属薄膜后的能量吸收及演化过程,提出了金属薄膜/复合材料组合体系在纳秒级脉冲激光作用下,因复合材料易气化的特性而存在的特有的薄膜/基底界面分离现象。提出利用这一特有的界面分离过程,可通过控制激光能量... 通过分析激光脉冲作用于金属薄膜后的能量吸收及演化过程,提出了金属薄膜/复合材料组合体系在纳秒级脉冲激光作用下,因复合材料易气化的特性而存在的特有的薄膜/基底界面分离现象。提出利用这一特有的界面分离过程,可通过控制激光能量密度实现对这种结构体系的高精度、无损伤的刻蚀。利用波前衍射变换技术整形过的刻蚀激光进行了验证实验,实验结果证实了这一方法的可行性。 展开更多
关键词 激光技术 激光刻蚀 金属薄膜 复合材料基底 物理机制
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基于Rugate理论的负滤光片设计研究 被引量：5
3
作者 张佰森 马勉军 +4 位作者 熊玉卿 陈焘 王多书 李晨 杨淼 《真空与低温》 2010年第4期219-222,232,共5页
研究基于Rugate理论设计负滤光片。分析了折射率剖面函数各参数对光谱性能影响,提出了基于Rugate理论负滤光片设计方法,并给出了两组基于Rugate负滤光片设计的实例。研究表明,折射率峰-峰幅值、光学厚度、中心波长分别决定负滤光片反射... 研究基于Rugate理论设计负滤光片。分析了折射率剖面函数各参数对光谱性能影响,提出了基于Rugate理论负滤光片设计方法,并给出了两组基于Rugate负滤光片设计的实例。研究表明,折射率峰-峰幅值、光学厚度、中心波长分别决定负滤光片反射带宽度、截止深度和位置。 展开更多
关键词 Rugate理论 折射率剖面函数 负滤光片 薄膜设计 透射光谱
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真空度对TiO_2薄膜光学和结构特性的影响 被引量：4
4
作者 董茂进 陈焘 +2 位作者 王济洲 王多书 王超 《真空与低温》 2010年第4期233-237,共5页
为制备高性能TiO2光学薄膜,采用离子束辅助,电子束蒸发沉积的方法,研究不同真空度对薄膜性能的影响。真空度随真空室内通氧量增大从1.3×10-3Pa变化到2.5×10-3Pa,得到不同光学和结构特性的TiO2薄膜。采用分光光度计测试其光谱,... 为制备高性能TiO2光学薄膜,采用离子束辅助,电子束蒸发沉积的方法,研究不同真空度对薄膜性能的影响。真空度随真空室内通氧量增大从1.3×10-3Pa变化到2.5×10-3Pa,得到不同光学和结构特性的TiO2薄膜。采用分光光度计测试其光谱,SEM测试其表面形貌。测试结果发现,TiO2薄膜的透过率峰值随真空度降低而增大,折射率和消光系数随真空度降低而减小,薄膜表面形貌随真空度降低从致密变粗糙。在真空度2.0×10-3Pa的工艺条件下,成膜质量最佳,此时最大透过率92%,折射率在2.45～2.20之间,消光系数在10-4以下。根据Cauchy公式拟合其色散规律,拟合曲线和采用包络法计算得到的曲线较好重合,折射率随波长的变化公式为n(λ)=2.12+5.69×104/λ2+8.07×107/λ4。 展开更多
关键词 薄膜 TIO2 真空度 光学特性 结构特性
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靶功率对射频磁控溅射制备MoS_2-Sb_2O_3复合薄膜结构和性能的影响 被引量：4
5
作者 张延帅 周晖 +2 位作者 万志华 桑瑞鹏 郑军 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期70-74,共5页
采用射频磁控溅射技术制备MoS2-Sb2O3复合薄膜,研究靶功率对薄膜性能和结构的影响。利用XRD、XRF分析薄膜的成分和结构,用CSM薄膜综合性能仪测试薄膜的硬度及附着力,通过承载力试验测试薄膜的承载性能,使用真空球-盘摩擦试验机测试真空... 采用射频磁控溅射技术制备MoS2-Sb2O3复合薄膜,研究靶功率对薄膜性能和结构的影响。利用XRD、XRF分析薄膜的成分和结构,用CSM薄膜综合性能仪测试薄膜的硬度及附着力,通过承载力试验测试薄膜的承载性能,使用真空球-盘摩擦试验机测试真空和大气下薄膜的摩擦因数及耐磨寿命。结果表明:使用射频磁控溅射制备的MoS2-Sb2O3复合薄膜具有准非晶结构,其薄膜结构和成分受沉积时的靶功率影响;MoS2-Sb2O3复合薄膜在真空下具有比大气下更稳定的摩擦学性能,更长的耐磨寿命;提高溅射原子能量能有效地提高MoS2-Sb2O3复合薄膜的承载性能,减少薄膜的内应力,提高薄膜的附着力,提高薄膜的耐磨寿命。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 MoS2-Sb2O3 复合薄膜 靶功率 结构和性能
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激光全息法制备三维光子晶体的研究进展 被引量：4
6
作者 姚东 熊玉卿 王济洲 《真空与低温》 2010年第3期142-147,共6页
三维光子晶体作为一种光子带隙材料,在光学器件、化学生物传感以及信息传输和存储等方面具有广泛的潜在应用价值。激光全息法制备光子晶体具有均匀性好、无缺陷、成本低廉等优点。综述了激光全息法制备三维光子晶体的理论及实验方面的... 三维光子晶体作为一种光子带隙材料,在光学器件、化学生物传感以及信息传输和存储等方面具有广泛的潜在应用价值。激光全息法制备光子晶体具有均匀性好、无缺陷、成本低廉等优点。综述了激光全息法制备三维光子晶体的理论及实验方面的研究进展,并阐述了各种方法的代表性工作以及各自的优缺点。 展开更多
关键词 光子晶体 三维 激光全息技术
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氢化双酚A型环氧树脂及其复合材料光固化研究 被引量：3
7
作者 王新伟 李菲菲 +2 位作者 任妮 王多书 钟彦 《兰州交通大学学报》 CAS 2012年第3期171-176,共6页
以二甲苯基碘鎓六氟磷酸盐(DMPI.PE6)作为阳离子光引发剂,研究了氢化双酚A型环氧树脂体系的阳离子光固化反应,研究了光固化中光引发剂和增感剂含量对氢化环氧树脂光固化的影响.以氢化双酚A型环氧树脂作为基体材料,以二甲苯基碘鎓六氟磷... 以二甲苯基碘鎓六氟磷酸盐(DMPI.PE6)作为阳离子光引发剂,研究了氢化双酚A型环氧树脂体系的阳离子光固化反应,研究了光固化中光引发剂和增感剂含量对氢化环氧树脂光固化的影响.以氢化双酚A型环氧树脂作为基体材料,以二甲苯基碘鎓六氟磷酸盐为光引发剂,以无碱平纹玻璃布为增强材料,加入增感剂用传统的手工涂覆工艺制备了复合材料并研究了其力学性能.结果表明:复合材料具有良好的力学性能,有望在空间膨胀展开结构中得到应用. 展开更多
关键词 氢化双酚A型环氧树脂 紫外光固化 阳离子光固化 复合材料 力学性能
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氧在La/SrMnO3(001)表面吸附、解离和表面扩散的第一性原理 被引量：1
8
作者 路文江 国星 +3 位作者 冯煜东 吴春华 许旻 汤富领 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2013年第1期161-166,共6页
采用基于密度泛函的第一性原理的方法,同时结合Nudged Elastic Band方法,系统研究O原子和O2分子在La/SrMnO3(001)表面的吸附过程。给出O2分子在MnO2、LaO和SrO外表面的解离路径和势垒;研究O原子在三种表面的扩散过程,计算出各扩散路径... 采用基于密度泛函的第一性原理的方法,同时结合Nudged Elastic Band方法,系统研究O原子和O2分子在La/SrMnO3(001)表面的吸附过程。给出O2分子在MnO2、LaO和SrO外表面的解离路径和势垒;研究O原子在三种表面的扩散过程,计算出各扩散路径的势垒和最稳定的吸附位置的基本情况。在此基础上,通过比较解离、扩散和放氧环节的激活能数据,提出O2的解离和表面放氧过程均为速率控制步骤。进一步为La/SrMnO3作为固体阴极材料时决定性能的第一步吸附反应提供理论数据的支持. 展开更多
关键词 第一性原理计算 吸附能 扩散 势垒 解离
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导纳轨迹图解方法在诱导透射滤光片设计中的应用 被引量：2
9
作者 金扬利 马勉军 《光学仪器》 2007年第1期80-83,共4页
诱导透射滤光片设计中,金属层厚度的选择是很重要的环节。应用导纳轨迹图解方法,可以确定能诱导出滤光片最大透射率的金属层厚度。与用势透射率概念设计方法相比,采用该方法确定的金属层厚度,可使所设计制作的诱导透射滤光片的峰值透射... 诱导透射滤光片设计中,金属层厚度的选择是很重要的环节。应用导纳轨迹图解方法,可以确定能诱导出滤光片最大透射率的金属层厚度。与用势透射率概念设计方法相比,采用该方法确定的金属层厚度,可使所设计制作的诱导透射滤光片的峰值透射率更高。实际设计中,可以以此厚度为基础进行调整,使膜系满足设计要求。 展开更多
关键词 诱导透射滤光片(ITF) 导纳 匹配层 导纳轨迹
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真空环境下阻尼器阻尼率测试技术研究 被引量：2
10
作者 翟少雄 李忠梅 +1 位作者 王长胜 王保成 《真空与低温》 2010年第3期157-161,共5页
阻尼率是阻尼器的主要参数之一,需采用组合测试的方法进行测试。主要描述了适用于热真空环境下的阻尼器阻尼率测试系统的组成,测试阻尼器在热真空环境下不同转速、不同加载力矩的阻尼率,并针对热真空环境进行适应性设计,对测试及试验结... 阻尼率是阻尼器的主要参数之一,需采用组合测试的方法进行测试。主要描述了适用于热真空环境下的阻尼器阻尼率测试系统的组成,测试阻尼器在热真空环境下不同转速、不同加载力矩的阻尼率,并针对热真空环境进行适应性设计,对测试及试验结果进行简单说明。 展开更多
关键词 太阳翼 阻尼器 阻尼率 测试 真空
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LaMnO_3/SrMnO_3超晶格应变下的电磁性质
11
作者 路文江 王玲 +2 位作者 汤富领 冯煜东 吴春华 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2012年第5期159-163,共5页
采用基于第一性原理的密度泛函理论研究正交超晶格结构LaMnO3/SrMnO3(LMO/SMO)晶格结构、轴向应变及电磁结构的影响.理论计算结果表明,LMO/SMO随a、b、c及ac方向的轴向应变变化均是铁磁性状态比反铁磁性状态更稳定.Sr掺杂后,LMO正交结... 采用基于第一性原理的密度泛函理论研究正交超晶格结构LaMnO3/SrMnO3(LMO/SMO)晶格结构、轴向应变及电磁结构的影响.理论计算结果表明,LMO/SMO随a、b、c及ac方向的轴向应变变化均是铁磁性状态比反铁磁性状态更稳定.Sr掺杂后,LMO正交结构仍保留明显的晶格畸变,SMO的面心立方结构的晶格畸变增加,Mn的3d态及O的2p态在不同的轴向应变下更加复杂.Mn的3d态轨道分波态密度随着负应变的增大,自旋向上和自旋向下态密度趋向于对称,磁性趋向于零. 展开更多
关键词 第一性原理 轴向应变 电子结构
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GCr15钢表面激光硼化研究 被引量：1
12
作者 王瑞 吴敢 +2 位作者 杨建平 韦波 陈学康 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期823-825,共3页
在已经过常规淬火的GCr15轴承钢表面,利用脉冲Nd:YAG激光进行了B4C粉末硼化改性处理。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度仪及摩擦磨损试验仪器对激光硼化处理后改性层的显微组织及性能进行了研究。结果表明:激光硼化改性层由... 在已经过常规淬火的GCr15轴承钢表面,利用脉冲Nd:YAG激光进行了B4C粉末硼化改性处理。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度仪及摩擦磨损试验仪器对激光硼化处理后改性层的显微组织及性能进行了研究。结果表明:激光硼化改性层由树枝晶的FeB、Fe2B和基体组成,改性层的表面硬度高达HV1560,相比处理前硬度提高了81.8%,硬化层深度约为150μm,磨损率相比处理前降低了67.55%,激光硼化后GCr15钢表面的硬度和耐磨性能显著提高。 展开更多
关键词 激光硼化 硬度 硬化层深度 耐磨性
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在复合材料表面以Ti为过渡层制备的Al膜技术性质(英文)
13
作者 赵栋才 肖更竭 +2 位作者 马占吉 武生虎 任妮 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第S2期243-246,共4页
利用电弧离子镀技术,在符合材料表面制备以Ti为过渡层的Al膜,然后利用SEM、XRD、表面轮廓仪Dektak 8 Stylus、四探针Z-82、CMT-6104和XPS对薄膜表面形貌、结构、膜厚、电阻、附着力和膜基界面进行评价,发现Al膜性能接近Al块材,且Ti和基... 利用电弧离子镀技术,在符合材料表面制备以Ti为过渡层的Al膜,然后利用SEM、XRD、表面轮廓仪Dektak 8 Stylus、四探针Z-82、CMT-6104和XPS对薄膜表面形貌、结构、膜厚、电阻、附着力和膜基界面进行评价,发现Al膜性能接近Al块材,且Ti和基体形成了Ti-C,Ti-O等化学键,提高了Al在复材表面的附着力。 展开更多
关键词 铝膜 电弧离子镀 附着力 复合材料
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薄膜应力的研究进展 被引量：32
14
作者 陈焘 罗崇泰 《真空与低温》 2006年第2期68-74,共7页
薄膜应力对薄膜性能具有重要的影响。主要介绍了薄膜应力形成机理和应力实验的研究进展,并探讨了薄膜应力研究的发展趋势。通过选择适当的工艺条件以及表面处理可以改变薄膜的应力分布,提高薄膜的性能。
关键词 薄膜 应力 光学薄膜 模型
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一维光子晶体缺陷模的滤波特性及应用研究 被引量：29
15
作者 王济洲 熊玉卿 +2 位作者 王多书 陈焘 刘宏开 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期2914-2919,共6页
研究了一维光子晶体缺陷膜的滤波特性,重点研究了影响其滤波特性的因素及其影响规律。并对利用一维光子晶体技术开展多通道滤光片设计的可行性进行了研究。结果表明,利用光子晶体的滤波特性,可以设计出传统光学薄膜设计方法难以实现的... 研究了一维光子晶体缺陷膜的滤波特性,重点研究了影响其滤波特性的因素及其影响规律。并对利用一维光子晶体技术开展多通道滤光片设计的可行性进行了研究。结果表明,利用光子晶体的滤波特性,可以设计出传统光学薄膜设计方法难以实现的多通道窄带滤光片,并根据实际需要,设计了一种双通道窄带滤光片。 展开更多
关键词 光学设计 一维光子晶体 滤光片 光学薄膜 缺陷模
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降低超硬类金刚石薄膜应力的方法 被引量：21
16
作者 赵栋才 任妮 《真空与低温》 2006年第1期1-8,共8页
在参考他人最近十几年研究的基础上,总结了降低超硬类金刚石薄膜内应力的几种方法,包括热退火、掺杂、加脉冲偏压、沉积多层膜等。退火在降低应力的同时可保持类金刚石薄膜很高的硬度,其他各种方法在降低应力时都以降低一定的硬度为代价。
关键词 类金刚石薄膜 DLC 内应力 超硬膜
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电弧离子镀技术及其在硬质薄膜方面的应用 被引量：20
17
作者 邱家稳 赵栋才 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期93-100,104,共9页
从电弧蒸发源控制技术和大颗粒过滤技术出发,论述了电弧离子镀技术最近的发展成果,并总结了电弧离子镀技术在氮化物、氧化物、非晶碳等薄膜方面的技术应用进展,以期能对我国电弧离子镀技术及其在硬质薄膜方面的应用起到一定的参考作用。
关键词 电弧离子镀 硬质薄膜 氮化物 非晶碳膜 氧化物薄膜
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掺硅类金刚石膜的制备与力学性能研究 被引量：15
18
作者 赵栋才 任妮 +3 位作者 马占吉 邱家稳 肖更竭 武生虎 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期1935-1940,共6页
用脉冲电弧离子镀技术,通过调整掺硅石墨靶和纯石墨靶的数量,制备了一系列不同硅含量的类金刚石薄膜样品.研究发现:当硅含量达6.7at.%时,类金刚石薄膜的应力从4.5GPa降低到3.1GPa,薄膜的硬度还保持在3600Hv,和没有掺杂的类金刚石薄膜的... 用脉冲电弧离子镀技术,通过调整掺硅石墨靶和纯石墨靶的数量,制备了一系列不同硅含量的类金刚石薄膜样品.研究发现:当硅含量达6.7at.%时,类金刚石薄膜的应力从4.5GPa降低到3.1GPa,薄膜的硬度还保持在3600Hv,和没有掺杂的类金刚石薄膜的硬度相比,基本保持不变;当硅含量小于6.7at.%时薄膜的摩擦系数相对于未掺杂的类金刚石薄膜也保持不变,为0.15.当薄膜中硅含量继续增加时,薄膜中C—Si键的含量增多,导致薄膜硬度和应力都有较大幅度地减小、摩擦系数增大、磨损性能也变差了. 展开更多
关键词 类金刚石膜 掺硅 应力 硬度 制备 力学性能
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光学薄膜参数测量方法研究 被引量：18
19
作者 李凯朋 王多书 +3 位作者 李晨 王济州 董茂进 张玲 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第3期1048-1052,共5页
为了研究准确性和效率更高的膜层光学薄膜参数测量方法,对优化膜系结构和改进制备工艺都有重要的指导作用。论文在研究传统测量方法基础上,将包络线法与全光谱拟合反演法相结合,提出了一种新型的光学薄膜参数测量方法。该方法将采用包... 为了研究准确性和效率更高的膜层光学薄膜参数测量方法,对优化膜系结构和改进制备工艺都有重要的指导作用。论文在研究传统测量方法基础上,将包络线法与全光谱拟合反演法相结合,提出了一种新型的光学薄膜参数测量方法。该方法将采用包络线法计算的单层膜光学薄膜参数近似值作为参考,设置全光谱拟合反演法优化搜索的上下限,结合适当的评价函数构建计算物理模型,并选用综合优化算法求解获得待测膜系各膜层的光学薄膜参数。最后设计Ti O2、Si O2单层膜和膜系为:G|0.5HLHL0.5H|A(H-Ti O2,L-Si O2)的多层膜进行测量验证,并分析了该测量方法的效率、准确度、稳定性等。 展开更多
关键词 光学薄膜 光学薄膜参数 包络线法 全光谱拟合反演法 包络线-全光谱拟合反演法
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极高真空环境下软金属刀口密封研究 被引量：15
20
作者 付朝晖 许旻 +2 位作者 杜永刚 刘轶鑫 杨震春 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期221-224,共4页
密封是保证航天器发射、运行可靠性及寿命的关键环节之一,随着月球及深空探测技术发展需求,迫切需要解决在极高真空环境下设备的密封技术。本文根据空间环境的适应要求,研制设计一种采用软金属合金作为填料,多层密封材料配合的密封技术... 密封是保证航天器发射、运行可靠性及寿命的关键环节之一,随着月球及深空探测技术发展需求,迫切需要解决在极高真空环境下设备的密封技术。本文根据空间环境的适应要求,研制设计一种采用软金属合金作为填料,多层密封材料配合的密封技术。对照空间环境密封漏率指标要求,对密封材料种类、成分配比、微观结构、刀口和预紧力等关键参数进行了分析和实验研究,在高真空条件下通过实验测试了软金属材料密封装置漏率情况和温度环境的稳定性。实验结果表明,软金属材料和基体材料匹配良好,刀口结构密封装置在高真空环境下的漏率小于5×10-11 Pa·m3/s,高低温度循环后漏率稳定,可以满足未来航天器在极高真空环境下的长期稳定可靠密封使用要求。 展开更多
关键词 软金属合金 刀口挤压密封 极高真空 漏率 航天器
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