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微观结构对MOCVD制备氧化铬涂层氢渗透性能的影响 被引量：3
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作者 何迪 李帅 +3 位作者 刘晓鹏 Stolyarov Vladimir Leonidovich Pavel Stabnikov Vladislav Krisyuk 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期443-448,共6页
利用金属有机化学气相沉积（MOCVD）在316L不锈钢表面分别制备了（110）择优取向和随机取向的氧化铬涂层。利用扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射分析（XRD）分别对涂层的显微结构和相结构进行了表征。采用气相氘渗透方法对涂层的氢渗... 利用金属有机化学气相沉积（MOCVD）在316L不锈钢表面分别制备了（110）择优取向和随机取向的氧化铬涂层。利用扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射分析（XRD）分别对涂层的显微结构和相结构进行了表征。采用气相氘渗透方法对涂层的氢渗透性能进行测试。结果表明,择优取向的氧化铬涂层氢渗透率为P=4.58×10^-6exp（-112688/RT）（mol·m^-1·s^-1·Pa^0.5）,而随机取向的氧化铬涂层氢渗透率为P=1.20×10^-5exp（-102057/RT）（mol·m^-1·s^-1·Pa^0.5）。在873,923,973 K时,择优取向涂层的氢渗透阻挡因子（PRF）分别为38.2,21.1和13.1,而随机取向涂层的PRF仅为2.6,1.9和1.5。对涂层显微结构的分析表明,择优取向的氧化铬涂层晶粒规则排列,易于得到结构致密的涂层;而随机取向的涂层,晶粒排列杂乱无序,易在涂层中产生通孔等缺陷,使得涂层的氢渗透性能出现大幅降低。 展开更多
关键词 阻氢渗透涂层 氧化铬 金属有机化学气相沉积 微观结构
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