期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
3
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作
被引量：
1
1
作者
明安杰
李铁
王跃林
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期7-14,共8页
文章提出了一种大位移低驱动电压的MEMS静电梳齿驱动器,对器件进行了设计、模拟、制作以及测试。梳齿驱动器的侧向不稳定性即侧向吸合现象限制了梳齿驱动器的最大驱动位移,发现侧向稳定因子S,随支撑梁刚度比ky/kx以及梳齿间隙g的增加而...
文章提出了一种大位移低驱动电压的MEMS静电梳齿驱动器,对器件进行了设计、模拟、制作以及测试。梳齿驱动器的侧向不稳定性即侧向吸合现象限制了梳齿驱动器的最大驱动位移,发现侧向稳定因子S,随支撑梁刚度比ky/kx以及梳齿间隙g的增加而增加,随梳齿交叠长度的增加而减小;而驱动器的驱动电压随梳齿间隙的增加而升高。在以上研究的基础上,提出了一种采用小间隙无初始交叠、长度线性递增梳齿结构和高纵/横向刚度比的预弯曲支撑梁结构的梳齿驱动器。器件测试结果表明,驱动电压71V时,可以达到100μm的驱动位移,进一步测试表明,驱动器的基模共振频率为573Hz,Q值为35.88。
展开更多
关键词
MEMS
梳齿驱动器
侧向稳定性
预弯曲梁
原文传递
基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
被引量：
1
2
作者
高安然
李铁
+2 位作者
刘翔
焦继伟
王跃林
《测试技术学报》
2010年第5期377-380,共4页
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电...
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.
展开更多
关键词
微液滴
温度梯度
表面张力梯度
电阻加热器
开放式结构
下载PDF
职称材料
带温度补偿结构的高灵敏度光读出红外成像阵列器件设计
3
作者
李珂
冯飞
+1 位作者
熊斌
王跃林
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期46-52,共7页
本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计,该设计提高了器件的热-机械灵敏度,同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响。理论计算表明,该阵列器件的关键性能指标热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.39×10-3和2.42,此...
本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计,该设计提高了器件的热-机械灵敏度,同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响。理论计算表明,该阵列器件的关键性能指标热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.39×10-3和2.42,此外,ANSYS模拟仿真的结果验证了该设计能抑制周围环境温度波动对器件红外目标探测的影响。
展开更多
关键词
光读出红外成像阵列器件
热-机械灵敏度
噪声等效温差
温度补偿
原文传递
题名
大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作
被引量：
1
1
作者
明安杰
李铁
王跃林
机构
传感
技术
联合
国家
重点
实验室
微
系统
技术
国家级
重点
实验室
中国科学院
上
海微
系统
与
信息技术
研究所
中国科学院
研究
生院
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期7-14,共8页
基金
上海市教委科研创新项目(项目编号:08LZ142)
上海高校选拔培养优秀青年教师科研专项基金(批准号:B01601)
上海市重点学科建设项目(项目编号:P1303)资助
文摘
文章提出了一种大位移低驱动电压的MEMS静电梳齿驱动器,对器件进行了设计、模拟、制作以及测试。梳齿驱动器的侧向不稳定性即侧向吸合现象限制了梳齿驱动器的最大驱动位移,发现侧向稳定因子S,随支撑梁刚度比ky/kx以及梳齿间隙g的增加而增加,随梳齿交叠长度的增加而减小;而驱动器的驱动电压随梳齿间隙的增加而升高。在以上研究的基础上,提出了一种采用小间隙无初始交叠、长度线性递增梳齿结构和高纵/横向刚度比的预弯曲支撑梁结构的梳齿驱动器。器件测试结果表明,驱动电压71V时,可以达到100μm的驱动位移,进一步测试表明,驱动器的基模共振频率为573Hz,Q值为35.88。
关键词
MEMS
梳齿驱动器
侧向稳定性
预弯曲梁
Keywords
MEMS, comb - drive actuator, side stability, prebent suspension beam
分类号
TN303 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
被引量：
1
2
作者
高安然
李铁
刘翔
焦继伟
王跃林
机构
传感
技术
联合
国家
重点
实验室
微
系统
技术
国家级
重点
实验室
中国科学院
上
海微
系统
与
信息技术
研究所
中国科学院
研究
生院
出处
《测试技术学报》
2010年第5期377-380,共4页
基金
国家重点基础研究发展计划(973)资助项目(2006CB300403)
国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2007AA03Z308)
国家自然基金委创新团队资助项目(60721004)
文摘
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.
关键词
微液滴
温度梯度
表面张力梯度
电阻加热器
开放式结构
Keywords
microfluid
thermal gradient
surface tension gradient
micro-heater
open structure
分类号
TN915.61 [电子电信—通信与信息系统]
下载PDF
职称材料
题名
带温度补偿结构的高灵敏度光读出红外成像阵列器件设计
3
作者
李珂
冯飞
熊斌
王跃林
机构
传感
技术
联合
国家
重点
实验室
微
系统
技术
国家级
重点
实验室
中国科学院
上
海微
系统
与
信息技术
研究所
中国科学院
研究
生院
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期46-52,共7页
基金
国家自然科学基金(项目编号:60407013)
上海-应用材料研究与发展基金(项目编号:06SA04)
文摘
本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计,该设计提高了器件的热-机械灵敏度,同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响。理论计算表明,该阵列器件的关键性能指标热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.39×10-3和2.42,此外,ANSYS模拟仿真的结果验证了该设计能抑制周围环境温度波动对器件红外目标探测的影响。
关键词
光读出红外成像阵列器件
热-机械灵敏度
噪声等效温差
温度补偿
Keywords
optically readable infrared imaging array device
thermal-mechanical sensitivity
noise e- quipment temperature difference
temperature compensation
分类号
TN214 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作
明安杰
李铁
王跃林
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
原文传递
2
基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
高安然
李铁
刘翔
焦继伟
王跃林
《测试技术学报》
2010
1
下载PDF
职称材料
3
带温度补偿结构的高灵敏度光读出红外成像阵列器件设计
李珂
冯飞
熊斌
王跃林
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
