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低压氢等离子体发光光谱 被引量：3
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作者 周广旭 张楚楚 +3 位作者 徐雯峤 董开拓 朱海丰 刘鹏 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2019年第1期73-81,共9页
本实验使用2.45 GHz微波(100～200 W)激励产生低压(1～4 kPa)氢等离子体,通过光纤光谱仪探测氢等离子体的发射光谱,并分析了特征谱线分布及谱线强度随压强、功率的变化情况,计算了氢等离子体的电子激发温度.实验结果表明,压强由1 kPa增... 本实验使用2.45 GHz微波(100～200 W)激励产生低压(1～4 kPa)氢等离子体,通过光纤光谱仪探测氢等离子体的发射光谱,并分析了特征谱线分布及谱线强度随压强、功率的变化情况,计算了氢等离子体的电子激发温度.实验结果表明,压强由1 kPa增加至4 kPa,谱线强度减小;功率由100 W增大至200 W,谱线强度增大.随着压强的增大,电子激发温度减小或先减小后增大. 展开更多
关键词 低压 微波氢等离子体 发射光谱 电子激发温度
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