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硫化锌晶体切削表面质量和切削参数优化研究 被引量:2
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作者 郭彦军 杨晓京 +3 位作者 李茂忠 康杰 张万清 谢启明 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期315-321,共7页
单点金刚石车削(SPDT)硫化锌(ZnS)晶体时,切削参数对表面质量有显著影响。因此,为获得高质量的ZnS晶体表面,选取主轴转速、进给速度、切削深度为影响表面质量的工艺参数,采用正交实验方法对ZnS晶体进行了车削实验。以表面粗糙度(Ra)值... 单点金刚石车削(SPDT)硫化锌(ZnS)晶体时,切削参数对表面质量有显著影响。因此,为获得高质量的ZnS晶体表面,选取主轴转速、进给速度、切削深度为影响表面质量的工艺参数,采用正交实验方法对ZnS晶体进行了车削实验。以表面粗糙度(Ra)值和表面形貌特征作为表征表面质量优劣的指标,采用轮廓仪和扫描电镜(SEM)对加工表面质量进行了检测。得到ZnS晶体车削的最佳切削参数以及主轴转速、进给速度和切削深度对Ra和表面形貌的影响规律。结果表明:进给速度对Ra的影响最大,其贡献率达到61.38%,主轴转速和切削深度的贡献率分别为19.20%和4.02%,较高的主轴转速、较低的进给速度和切削深度能够抑制ZnS晶体表面发生脆性断裂,有利于高质量表面的生成。在最佳加工参数,即主轴转速3800 r·min^(-1),进给速度2 mm·min^(-1),切削深度5μm的条件下对ZnS晶体进行切削,可以获得Ra为2.3 nm的高质量ZnS平面光学元件。 展开更多
关键词 硫化锌(ZnS)晶体 单点金刚石车削(SPDT) 正交实验 表面质量 最佳切削参数
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