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题名基于飞秒激光加工的微纳高温光纤振动传感器
被引量：8
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作者
张柳超
江毅
王素梅
刘达
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机构
北京理工大学光电学院
北京理工大学激光微纳制造研究所
中自高科(苏州)光电有限公司
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期334-338,共5页
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基金
国家863项目(2015AA043504)
国家自然科学基金项目(61575021)
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文摘
报道了一种基于飞秒激光加工的微纳高温振动传感器。通过熔接形成单模光纤-空芯光纤-单模光纤的结构,利用单模光纤和空芯光纤在熔接面形成的菲涅尔反射,构成外腔式法布里-珀罗干涉仪(EFPI)。用飞秒激光烧蚀空芯光纤,形成悬臂梁结构。末端的单模光纤作为质量块,在受到振动时带动悬臂梁振动,使悬臂梁产生微弯,进而使EFPI腔长发生变化。实验结果表明,传感器的工作区域为20~300Hz,在100Hz时,0~3.01g范围内测得加速度分辨率为5×10-4 g,加速度响应灵敏度为129.6nm/g。传感器受温度影响小,腔长的温度交叉响应仅为0.225nm/℃,传感器可耐950℃高温冲击。
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关键词
振动传感器
高温传感器
飞秒激光加工
外腔式法布里-珀罗干涉仪(EFPI)
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Keywords
vibration sensor
high-temperature sensor
femtosecond laser machining
extrinsic Fabry-Perot interfer ometer（EFPI）
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于光纤白光干涉测量技术的折射率测量仪
被引量：4
- 2
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作者
王振兴
江毅
王素梅
刘达
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机构
北京理工大学光电学院
北京理工大学激光微纳制造研究所
中自高科(苏州)光电有限公司
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期487-490,共4页
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基金
国家863项目(2015AA043504)
国家自然科学基金项目(61575021)
航空航天基金(2015ZD72008)
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文摘
设计了基于光纤白光干涉测量技术的折射率测量仪,用来测量尺寸较小、形状简单的透光材料折射率。与传统折射率检测方法相比较,光纤折射率测量仪具有设备尺寸小、测量精度高、操作简易、便于携带等优点。实验测得某种石英玻璃的折射率值为1.464,与标准值偏差为0.02,误差为1.4%;测得某种普通玻璃的折射率为1.502,与标准值偏差为0.002,误差为0.1%;测得K9玻璃的折射率为1.507,与标准值偏差为0.009,误差为0.6%。
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关键词
光纤白光干涉测量技术
外腔式Fabry-Perot干涉仪(EFPI)
折射率
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Keywords
optical fiber white-light interferometry technology
EFPI
refractive index
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名一种高稳定性光纤F-P标准具的设计
被引量：2
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作者
夏吟秋
江毅
李晓炜
刘达
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机构
北京理工大学光电学院
北京理工大学激光微纳制造研究所
中自高科(苏州)光电有限公司
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期557-560,共4页
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基金
国家863项目(2015AA043504)
国家自然科学基金项目(61575021)
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文摘
法布里-珀罗（F-P）标准具广泛应用于光纤通信与光纤传感领域。实心标准具受自身材料的限制，无法满足高稳定性的要求。空气隙标准具采用热膨胀系数极低的垫片，提高了器件的温度稳定性能。介绍了低温漂光纤F-P标准具的设计和制作，出射光自由光谱范围为100GHz，损耗为3dB，0～70℃温度漂移小于3GHz。相比于采用传统方法制作的标准具，该光纤F-P标准具稳定性更高，解决了实心标准具折射率和热膨胀变化大的问题。
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关键词
光纤F-P标准具
空气隙标准具
高温度稳定性
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Keywords
optical fiber F-P etalon
air gap etalon
high temperature stability
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分类号
TP211
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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