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应用于流动控制的MEMS传感器和执行器 被引量：2
1
作者 欧毅 白宏磊 +8 位作者 石莎莉 焦斌斌 李超波 黄钦文 董立军 景玉鹏 陈大鹏 叶甜春 申功 《电子工业专用设备》 2006年第1期25-27,62,共4页
出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技... 出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器。实验证明,采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的,同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 剪切应力传感器 射流执行器 流体
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