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铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究 被引量：7
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作者 赵文杰 王永欣 +3 位作者 曾志翔 乌学东 陈建敏 薛群基 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期20-24,共5页
利用磁控溅射技术在硅片表面上制备铝掺杂类石墨(Graphite-like carbon,GLC)薄膜,采用原子力显微镜、场发射扫描电镜、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪等考察铝掺杂对薄膜表面形貌、结构及其机械性能的影响规律;利用旋转的球-盘微摩擦试... 利用磁控溅射技术在硅片表面上制备铝掺杂类石墨(Graphite-like carbon,GLC)薄膜,采用原子力显微镜、场发射扫描电镜、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪等考察铝掺杂对薄膜表面形貌、结构及其机械性能的影响规律;利用旋转的球-盘微摩擦试验机考察薄膜的摩擦行为。结果表明:铝的引入使GLC薄膜表面更加平整、致密;GLC薄膜的硬度和弹性模量随着掺铝量的增加而增加;低载低速时,薄膜摩擦因数随着铝含量的增加而增加,高载高速时,摩擦因数随铝掺入量的增加明显降低且更稳定。 展开更多
关键词 GLC薄膜 AL掺杂 表面结构 机械性能 摩擦行为
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