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平顶陡边响应的谐振腔增强型(RCE)光电探测器的分析 被引量:1
1
作者 钟源 黄永清 +2 位作者 任晓敏 牛智川 吴荣汉 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期8-11,共4页
报道了一种具有平顶陡边响应的谐振腔增强型 (RCE)光电探测器。使用数值模拟的方法对这种新型谐振腔增强型 (RCE)光电探测器与传统的RCE光电探测器的响应曲线和串扰特性进行了分析和对比 ,分析了在半导体材料生长时厚度偏差对平顶陡边... 报道了一种具有平顶陡边响应的谐振腔增强型 (RCE)光电探测器。使用数值模拟的方法对这种新型谐振腔增强型 (RCE)光电探测器与传统的RCE光电探测器的响应曲线和串扰特性进行了分析和对比 ,分析了在半导体材料生长时厚度偏差对平顶陡边响应的RCE光电探测器响应曲线的影响 。 展开更多
关键词 波分复用 光电探测器 谐振腔增强型 平顶响应
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InAs/GaAs多层堆垛量子点激光器的激射特性
2
作者 钱家骏 叶小玲 +3 位作者 陈涌海 徐波 韩勤 王占国 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期184-188,共5页
利用固态源分子束外延技术,按S-K模式生长出五层堆垛InAs/GaAs量子点(QD)微结构材料.用这种QD材料制成的激光器,内光学损耗为2.1cm-1,透明电流密度为15士10 A/cm2.对于条宽100μm,腔长2.4mm的激光器(腔面未经镀膜处理),室温下基态激射... 利用固态源分子束外延技术,按S-K模式生长出五层堆垛InAs/GaAs量子点(QD)微结构材料.用这种QD材料制成的激光器,内光学损耗为2.1cm-1,透明电流密度为15士10 A/cm2.对于条宽100μm,腔长2.4mm的激光器(腔面未经镀膜处理),室温下基态激射的波长为1.08μm,阈值电流密度为144A/cm2,连续波光功率输出达2.67W(双面),外量子效率为63%,特征温度为320K.研究了QD激光器翟激射特性,并对结果作了讨论. 展开更多
关键词 应变自组装量子点 InAs/GaAs多层堆垛量子点 量子点激光器 MBE生长
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Monolithic Integration of Electro-Absorption Modulators and DFB Lasers by Modified Double Stack Active Layer Approach 被引量:2
3
作者 胡小华 李宝霞 +4 位作者 朱洪亮 王宝军 赵玲娟 王鲁峰 王圩 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期481-485,共5页
Monolithic electro absorption modulated distributed feedback(DFB) lasers are proposed and fabricated by using a modified double stack active layer.The 38mA threshold,9dB extinction ratio (from 0 5V to 3 0V),and ab... Monolithic electro absorption modulated distributed feedback(DFB) lasers are proposed and fabricated by using a modified double stack active layer.The 38mA threshold,9dB extinction ratio (from 0 5V to 3 0V),and about 5mW output power at the 100mA operation current are achieved.Compared with other reported results (only 1 5mW at the same operation current) of the traditional stack active structure,the proposed structure improves the output power of devices. 展开更多
关键词 multiple quantum wells electro absorption modulators distributed feedback lasers monolithic integration
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High Extinction Ration Polarization Independent EA Modulator 被引量:1
4
作者 孙洋 王圩 +3 位作者 陈娓兮 刘国利 周帆 朱洪亮 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1374-1376,共3页
An electro absorption modulator is fabricated for optical network system.The strained InGaAs/InAlAs MQW shows improved modulation properties,including polarization independent,high extinction ratio (>40dB) and low... An electro absorption modulator is fabricated for optical network system.The strained InGaAs/InAlAs MQW shows improved modulation properties,including polarization independent,high extinction ratio (>40dB) and low capacitance (<0 5pF),with which,an ultra high frequency(>10GHz) can be obtained. 展开更多
关键词 electro absorption MODULATOR polarization independence
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GaNAs的声子拉曼散射研究 被引量:1
5
作者 江德生 孙宝权 +2 位作者 谭平恒 李连 和潘钟 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期11-14,共4页
对分子束外延生长的 Ga NAs外延层进行了拉曼散射研究 ,观测到了由于导带中的 E+态所引起的共振散射和由此产生的布里渊区非Γ点声子的拉曼峰 .清晰地观测到了随氮含量增大 ,氮在 Ga As中的局域模振动演变为Ga NAs中的类 Ga N晶格声子带... 对分子束外延生长的 Ga NAs外延层进行了拉曼散射研究 ,观测到了由于导带中的 E+态所引起的共振散射和由此产生的布里渊区非Γ点声子的拉曼峰 .清晰地观测到了随氮含量增大 ,氮在 Ga As中的局域模振动演变为Ga NAs中的类 Ga N晶格声子带模 .通过样品在 850度快速热退火前后拉曼谱的对比 。 展开更多
关键词 GaNAs 拉曼散射 局域模振动 分子束外延生长 带模振动 近红外光电子学
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1.55μm Fabry-Perot Thermo-Optical Tunable Filter with Amorphous-Si as Cavity
6
作者 左玉华 蔡晓 +11 位作者 毛容伟 黄昌俊 成步文 李传波 罗丽萍 高俊华 白云霞 姜磊 马朝华 王良臣 余金中 王启明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期911-915,共5页
A 1.55μm Fabry-Perot (F-P) thermo-optical t unable filter is fabricated.The cavity is made of amorphous silicon (a-Si) layer grown by electron-beam evaporation technique.Due to the excellent thermo-optical property o... A 1.55μm Fabry-Perot (F-P) thermo-optical t unable filter is fabricated.The cavity is made of amorphous silicon (a-Si) layer grown by electron-beam evaporation technique.Due to the excellent thermo-optical property of a-Si,the refractive index of the F-P cavity will be changed by heating;the transmittance resonant peak will therefore shift substantially.The measured tuning rang is 12nm, FWHM (full-width-at-half-maximum) of the transmissi on peak is 9nm,and heating efficiency is 0.1K/mW.The large FWHM is mainly due to th e non-ideal coating deposition and mirror undulation.Possible improvements to increase the efficiency of heating are suggested. 展开更多
关键词 thermo-optical effect FABRY-PEROT tunable filter A-SI
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Spotsize Converter Integrated DFB Laser Diode Using Selective Area Growth of MOCVD
7
作者 邱伟彬 王圩 +2 位作者 董杰 张静媛 周帆 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期459-463,共5页
The characteristics of thickness enhancement fact or and bandgap wavelength of selectively grown InGaAsP are investigated.A high thi ckness enhancement factor of 2.9 is obtained.Spotsize converter integrated DFB las... The characteristics of thickness enhancement fact or and bandgap wavelength of selectively grown InGaAsP are investigated.A high thi ckness enhancement factor of 2.9 is obtained.Spotsize converter integrated DFB lasers are fabricated by using the technique of SAG.The threshold current is as low as 10.8mA.The output power is 10mW at 60mA without coating and the SMSR is 35.8dB.The vertical far field angle (FWHM) is decreased from 34° to 9°.The to lerance of 1dBm misalignment is 3.4μm vertically. 展开更多
关键词 SAG butt-joint spotsize converter DFB
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大功率半导体激光器光纤耦合模块的耦合光学系统 被引量:16
8
作者 陈少武 韩勤 +1 位作者 胡传贤 金才政 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第12期1572-1576,共5页
针对 8 0 8nm大功率 Ga As/ Ga Al As半导体量子阱激光器的远场光场分布特点 ,提出了与多模光纤耦合时对耦合光学系统的特殊要求 ,并根据低成本、实用化的要求设计制作了专用的耦合光学系统 ,对耦合光学系统的实际性能进行了测试 ,给出... 针对 8 0 8nm大功率 Ga As/ Ga Al As半导体量子阱激光器的远场光场分布特点 ,提出了与多模光纤耦合时对耦合光学系统的特殊要求 ,并根据低成本、实用化的要求设计制作了专用的耦合光学系统 ,对耦合光学系统的实际性能进行了测试 ,给出了耦合效率统计分布图、耦合偏差曲线和高低温可靠性实验结果 .用设计制作出的实用化耦合光学系统完成了输出功率 15— 30 W,光纤束数值孔径为 0 .11— 0 .2 2的半导体激光光纤耦合模块 ,模块的使用结果表明耦合光学系统稳定、高效。 展开更多
关键词 半导体激光器 光学系统 可靠性 光纤耦合模块
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1×8阵列波导光栅型波分复用/解复用器设计的一种简单方法 被引量:10
9
作者 欧海燕 雷红兵 +3 位作者 杨沁清 余金中 王启明 胡雄伟 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第8期798-802,共5页
用有效折射率法 ,采用近轴近似和波导模场分布的高斯近似 ,简化了阵列波导光栅( AWG)器件的设计过程中繁杂的计算 ,且保证了器件的性能指标 .给出了设计思路 ,并给出了 1× 8路、中心波长为 1 550 .9nm,波长间隔为 1 .6nm的 AWG波... 用有效折射率法 ,采用近轴近似和波导模场分布的高斯近似 ,简化了阵列波导光栅( AWG)器件的设计过程中繁杂的计算 ,且保证了器件的性能指标 .给出了设计思路 ,并给出了 1× 8路、中心波长为 1 550 .9nm,波长间隔为 1 .6nm的 AWG波分复用 展开更多
关键词 阵列波导 波分复用 光栅 解复用器
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单脊条形可调谐电吸收调制DFB激光器 被引量:7
10
作者 刘国利 王圩 +3 位作者 张静媛 陈娓兮 汪孝杰 朱洪亮 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第12期1057-1060,共4页
报道了一种波长可热调谐的电吸收调制分布反馈激光器(Electroabsorptionmodulateddistributedfeedbacklaser,EML)。在激光器条形的侧面淀积一薄膜加热器,EML实现了 2 2nm的连续调谐。在调谐范围内,激光器输出功率的变化小于 3dB。采用... 报道了一种波长可热调谐的电吸收调制分布反馈激光器(Electroabsorptionmodulateddistributedfeedbacklaser,EML)。在激光器条形的侧面淀积一薄膜加热器,EML实现了 2 2nm的连续调谐。在调谐范围内,激光器输出功率的变化小于 3dB。采用端面有效反射率方法和耦合波理论的计算表明:采用相调制方法,可实现调谐范围达3 2nm的EML。如果热调谐与相调谐方法结合。 展开更多
关键词 DFB激光器 电吸收调制器 热调谐 相调谐
原文传递
超低压选择区域生长法制备产生10GHz重复率超短光脉冲的级联电吸收调制器与分布反馈激光器单片集成光源 被引量:4
11
作者 赵谦 潘教青 +6 位作者 张靖 周光涛 伍剑 周帆 王宝军 王鲁峰 王圩 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期261-266,共6页
采用超低压(22×102Pa)选择区域生长(selective area growth,SAG)金属有机化学气相沉积(metal_organic chemical vapor deposition,MOCVD)技术成功制备了InGaAsP/InGaAsP级联电吸收调制器(electro absorption modulator,EAM)与分布... 采用超低压(22×102Pa)选择区域生长(selective area growth,SAG)金属有机化学气相沉积(metal_organic chemical vapor deposition,MOCVD)技术成功制备了InGaAsP/InGaAsP级联电吸收调制器(electro absorption modulator,EAM)与分布反馈激光器(distributed feed backlaser,DFB)单片集成光源的新型光电器件.实验结果表明,采用该技术制备的器件具有良好的性能:激射阈值为19mA,出光功率为4·5mW,在5V的驱动电压下达到了20dB的消光比,器件3dB响应带宽达到了10GHz以上.应用这种新型器件,利用级联EAM的光开关效应,获得了重复率为10GHz、半高宽(full_width_at_half_maximum,FWHM)为13·7ps的超短光脉冲. 展开更多
关键词 超低压 选择区域生长 集成光电子器件 超短光脉冲
原文传递
亚毫安室温连续工作InGaAs垂直腔面发射激光器 被引量:4
12
作者 吴荣汉 周增圻 +5 位作者 林耀望 潘钟 黄永箴 李朝勇 牛智川 王圩 《高技术通讯》 CAS CSCD 1995年第9期24-26,共3页
报道了InGaAs应变量子讲垂直腔面发射激光器(VCSEL)的室温连续工作。在MBE生长过程中利用红外高温仪测量了表观衬底热辐射振荡,实现了原位厚度监测;采用阶梯型分布布拉格反射器(DBR)及腐蚀倒台面结构,降低了器... 报道了InGaAs应变量子讲垂直腔面发射激光器(VCSEL)的室温连续工作。在MBE生长过程中利用红外高温仪测量了表观衬底热辐射振荡,实现了原位厚度监测;采用阶梯型分布布拉格反射器(DBR)及腐蚀倒台面结构,降低了器件串联电阻。对于2×3μm2的台面结构VCSEL,室温连续工作阈值电流一般为1.5mA,最低达到0.7mA,阈值电压为2.5伏,输出功率达到0.5mW,激射波长为0.94um,量子效率为12%。 展开更多
关键词 垂直腔面发射 激光器 应变量子阱
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Mach-Zehnder Electro-Optic Polymer Modulator with C orona Poled Core Layer 被引量:3
13
作者 杨晓红 杜云 +1 位作者 石志文 吴荣汉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期971-974,共4页
A Mach-Zehnder(MZ) electro-optic(EO) modulator are real iz ed,with three optical layers as polymer materials.The functional layer is the co rona poled crosslinkable polyurethane.The ridge waveguide is fabricated by us... A Mach-Zehnder(MZ) electro-optic(EO) modulator are real iz ed,with three optical layers as polymer materials.The functional layer is the co rona poled crosslinkable polyurethane.The ridge waveguide is fabricated by using the spin-coating,poling,photolithography and oxygen reactive ion etching(RIE) techniques.The mode and the modulation properties of these devices are demonstra ted in a micron control system,while the light source works at the wavelength of 1 31 or 1 55 micron. 展开更多
关键词 poled polymer M Z waveguide electro-optic modulator
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高质量立方相InGaN的生长 被引量:4
14
作者 李顺峰 杨辉 +4 位作者 徐大鹏 赵德刚 孙小玲 王玉田 张书明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期548-553,共6页
利用 LP- MOCVD技术在 Ga As( 0 0 1 )衬底上生长了高质量的立方相 In Ga N外延层 .研究了生长速率对 In Ga N质量的影响 ,提出一个简单模型解释了在改变 TEGa流量条件下出现的In组分的变化规律 ,实验结果与模型的一次项拟合结果较为吻... 利用 LP- MOCVD技术在 Ga As( 0 0 1 )衬底上生长了高质量的立方相 In Ga N外延层 .研究了生长速率对 In Ga N质量的影响 ,提出一个简单模型解释了在改变 TEGa流量条件下出现的In组分的变化规律 ,实验结果与模型的一次项拟合结果较为吻合 ,由此推断 ,在现在的生长条件下 ,表面单个 Ga原子作为临界晶核吸附 Ga或 In原子实现生长的模型与实际情况较为接近 .对于晶体质量的变化也给予了说明 .得到的高质量立方相 In Ga N室温下有很强的发光峰 ,光致发光峰半高宽为 1 2 8me V左右 . 展开更多
关键词 INGAN MOCVD 生长 光致发光 氮化镓
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低阈值基横模脊形波导GaAs/AlGaAs单量子阱激光器 被引量:2
15
作者 徐遵图 杨国文 +6 位作者 肖建伟 徐俊英 张敬明 郑婉华 瞿伟 陈良惠 毕可奎 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第8期598-602,共5页
本文报道了脊形波导结构GaAs/AlGaAs量子阱激光器的研究成果.我们采用湿法化学腐蚀方法,通过对器件结构参数的优化,制备了性能优越的脊形波导GaAs/AlGaAs量子阱激光器,器件的阈值电流低于10mA,最低值为... 本文报道了脊形波导结构GaAs/AlGaAs量子阱激光器的研究成果.我们采用湿法化学腐蚀方法,通过对器件结构参数的优化,制备了性能优越的脊形波导GaAs/AlGaAs量子阱激光器,器件的阈值电流低于10mA,最低值为7.3mA,而且实现了基横模工作,这是国内报道的该结构激光器的最好水平. 展开更多
关键词 量子进激光器 背形波导 砷化镓 ALGAAS
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MOCVD生长InGaAs/InGaAsP多量子阱光泵微碟激光器 被引量:2
16
作者 吴根柱 张子莹 +1 位作者 任大翠 张兴德 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1057-1062,共6页
用 MOCVD方法生长了 In Ga As/ In Ga As P多量子阱微碟激光器外延片 ,用光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀等现代化的微加工技术制备出直径 9.5μm的 In Ga As/ In Ga As P微碟激光器 ,并详细介绍了整个制备工艺过程 .在液氮温度下用氩离子激... 用 MOCVD方法生长了 In Ga As/ In Ga As P多量子阱微碟激光器外延片 ,用光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀等现代化的微加工技术制备出直径 9.5μm的 In Ga As/ In Ga As P微碟激光器 ,并详细介绍了整个制备工艺过程 .在液氮温度下用氩离子激光器泵浦方式实现了低阈值光泵激射 ,测出单个微碟激光器的阈值光功率为 15 0μW,激射波长约为 1.6μm,品质因数 Q=80 0 ,激射光谱线宽为 2 nm,同时指出微碟激光器激射线宽比 F- 展开更多
关键词 微碟激光器 多量子阱光泵 MOCVD生长 INGAAS/INGAASP
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用于10Gb/s传输系统的电吸收调制器与分布反馈激光器集成光源 被引量:4
17
作者 赵谦 潘教青 +7 位作者 张靖 李宝霞 周帆 王宝军 王鲁峰 边静 赵玲娟 王圩 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期1259-1263,共5页
采用超低压(22×10~2Pa)选择区域生长(selective area growth,SAG)金属有机化学气相沉积(metal-organic chemicalvapor deposition,MOCVD)技术成功制备了应变型InGaAsP/InGaAsP电吸收调制器(electroabsorption modulator,EAM)与分... 采用超低压(22×10~2Pa)选择区域生长(selective area growth,SAG)金属有机化学气相沉积(metal-organic chemicalvapor deposition,MOCVD)技术成功制备了应变型InGaAsP/InGaAsP电吸收调制器(electroabsorption modulator,EAM)与分布反馈激光器(distribute feedbacklaser,DFB)单片集成光源的新型光电器件.实验结果表明,采用该技术制备的集成器件表现出了良好的性能:激射阈值为19mA,出光功率接近7mW,边模抑制比(side-mode suppressionratio,SMSR)大于40dB,将该集成器件出射光耦合进普通单模光纤后进行测量,获得了16dB的消光比,器件3dB响应带宽达到了10GHz以上.将该集成器件完全封装后成功进行了10Gb/s非归零码(non-returnzero,NRZ)的传输实验:在误码率为10^(-10)的传输条件下于普通单模光纤中传输了53.3km,色散代价小于1.5dB,动态消光比大于8dB,且眼图清晰张开. 展开更多
关键词 超低压 选择区域生长 集成光电子器件 10 Gb/s
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紫外写入光纤光栅用亚μm相位掩模板制作误差容限分析 被引量:3
18
作者 陈少武 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 1998年第6期469-471,共3页
本文采用电磁波标量衍射理论研究了紫外写入光纤光栅用亚μm相位掩模的近场衍射特性,并据此得出了零级衍射抑制的条件,采用数值模拟方法研究了相位掩模制作误差对零级衍射抑制的影响。分析表明,为使零级衍射效率小于5%,相位掩模... 本文采用电磁波标量衍射理论研究了紫外写入光纤光栅用亚μm相位掩模的近场衍射特性,并据此得出了零级衍射抑制的条件,采用数值模拟方法研究了相位掩模制作误差对零级衍射抑制的影响。分析表明,为使零级衍射效率小于5%,相位掩模的刻槽深度和占空比制作误差必须控制在|Δh|<38nm和|Δf|<0.11的范围内。 展开更多
关键词 相位掩模 光纤光栅 零级抑制
原文传递
InGaAs/InAlAs多量子阱结构的量子限制Stark效应研究 被引量:1
19
作者 俞谦 王健华 +5 位作者 李德杰 王玉田 庄岩 姜炜 黄绮 周钧铭 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第2期274-282,共9页
通过吸收光电流谱的测量.观察到用国产MBE设备生长的与InP衬底晶格匹配的In-GaAs/InAlAs多量子阱结构的量子限制Stark效应及其与光偏振方向有关的各向异性电吸收特性.报道了可用于波导型调制器制作的MQW样品材料的X射线双晶衍射结果,并... 通过吸收光电流谱的测量.观察到用国产MBE设备生长的与InP衬底晶格匹配的In-GaAs/InAlAs多量子阱结构的量子限制Stark效应及其与光偏振方向有关的各向异性电吸收特性.报道了可用于波导型调制器制作的MQW样品材料的X射线双晶衍射结果,并用计算机模拟出与实测十分相似的曲线,得到了可靠的量子阱结构参数,证明样品材料具有优良的外延质量.利用等效无限深阱模型进行的理论计算表明,应考虑样品p-i-n结内建电场的影响,才能使算出的吸收边红移与实验值符合. 展开更多
关键词 INGAAS 多量子阱 量子尺寸效应
原文传递
应变自组装InAs/GaAs量子点材料与器件光学性质研究 被引量:2
20
作者 钱家骏 徐波 +3 位作者 陈涌海 叶小玲 韩勤 王占国 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第B05期51-55,共5页
采用MBE技术生长应变自组装InAs/GaAs量子点微结构材料,以这种纳米尺度微结构材料作有源层制备出激光二极管,研究了材料的光致发光和器件电致发光的特性,条宽为100μm、腔长为1.6mm,腔面未经镀膜的量子点激光二极管,室温下最大光... 采用MBE技术生长应变自组装InAs/GaAs量子点微结构材料,以这种纳米尺度微结构材料作有源层制备出激光二极管,研究了材料的光致发光和器件电致发光的特性,条宽为100μm、腔长为1.6mm,腔面未经镀膜的量子点激光二极管,室温下最大光功率输出为2.74W。 展开更多
关键词 应变自组装量子点 电致发光谱 InAs量子点结构 量子点激光器 MBE生长
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