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化学束外延生长GaAs/GaAs,InGaAs/GaAs,InP/InP,InGaAs/InP多量子阱材料
被引量:
1
1
作者
孙殿照
阎春辉
+4 位作者
国红熙
朱世荣
黄运衡
曾一平
孔梅影
《半导体情报》
1991年第6期46-48,共3页
在国产首台CBE设备上,生长了GaAs上的GaAs,InP上的InP,InP上的InGaAs以及GaAs上的InGaAs多量子阱四种材料。纯GaAs为p型,载流子浓度为5.5×10^(15)cm^(-3),μ_(300K)=280cm^2/V·s,μ_(77K)=5000cm^2/v·s,基本没有表面椭...
在国产首台CBE设备上,生长了GaAs上的GaAs,InP上的InP,InP上的InGaAs以及GaAs上的InGaAs多量子阱四种材料。纯GaAs为p型,载流子浓度为5.5×10^(15)cm^(-3),μ_(300K)=280cm^2/V·s,μ_(77K)=5000cm^2/v·s,基本没有表面椭圆缺陷,InGaAs/GaAs多量子阱的x光双晶衍射有10个卫星峰,光吸收谱有明显子带吸收。
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关键词
化合物半导体
量子阱
外延生长
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职称材料
题名
化学束外延生长GaAs/GaAs,InGaAs/GaAs,InP/InP,InGaAs/InP多量子阱材料
被引量:
1
1
作者
孙殿照
阎春辉
国红熙
朱世荣
黄运衡
曾一平
孔梅影
机构
中国科学院
半导体
研究所
中国科学院
半导体
材料科学
开放
实验室
出处
《半导体情报》
1991年第6期46-48,共3页
文摘
在国产首台CBE设备上,生长了GaAs上的GaAs,InP上的InP,InP上的InGaAs以及GaAs上的InGaAs多量子阱四种材料。纯GaAs为p型,载流子浓度为5.5×10^(15)cm^(-3),μ_(300K)=280cm^2/V·s,μ_(77K)=5000cm^2/v·s,基本没有表面椭圆缺陷,InGaAs/GaAs多量子阱的x光双晶衍射有10个卫星峰,光吸收谱有明显子带吸收。
关键词
化合物半导体
量子阱
外延生长
分类号
TN304.26 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
化学束外延生长GaAs/GaAs,InGaAs/GaAs,InP/InP,InGaAs/InP多量子阱材料
孙殿照
阎春辉
国红熙
朱世荣
黄运衡
曾一平
孔梅影
《半导体情报》
1991
1
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职称材料
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