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大口径光学非球面镜先进制造技术概述
被引量：
20
1
作者
刘锋伟
吴永前
+5 位作者
陈强
刘海涛
闫锋涛
张仕杨
万勇建
伍凡
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第10期63-85,共23页
在光学系统中使用非球面可以有效校正像差,改善像质,进而简化系统结构;并且增大系统口径可以从根本上提高系统的分辨本领,因此在基础科学研究、天文学宇宙探测以及国防安全等领域都对大口径非球面镜有着迫切需求。大口径非球面的制造在...
在光学系统中使用非球面可以有效校正像差,改善像质,进而简化系统结构;并且增大系统口径可以从根本上提高系统的分辨本领,因此在基础科学研究、天文学宇宙探测以及国防安全等领域都对大口径非球面镜有着迫切需求。大口径非球面的制造在现代光学制造工程中扮演着重要的角色。本文以大口径非球面镜的先进制造为主题,对大口径非球面镜的光学加工技术,特别是研磨抛光技术及其过程中所采用的面形检测方法进行了综述,特别总结了新一代先进光学制造的技术特征,展望了未来大口径非球面镜的制造策略。
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关键词
大口径非球面
光学加工
光学测试
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职称材料
离轴非球面的条纹反射检测技术
被引量：
6
2
作者
赵文川
周敏
+2 位作者
刘海涛
肖向海
宋伟红
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期29-36,共8页
条纹反射测量技术具有动态范围大、灵敏度高的特点,通过高精度的系统标定可以获得很高的测量精度。本文研究将条纹反射测量技术应用于离轴非球面反射镜粗抛光阶段的面形检测,使用激光跟踪仪建立检测系统坐标系,然后将相机和显示屏的实...
条纹反射测量技术具有动态范围大、灵敏度高的特点,通过高精度的系统标定可以获得很高的测量精度。本文研究将条纹反射测量技术应用于离轴非球面反射镜粗抛光阶段的面形检测,使用激光跟踪仪建立检测系统坐标系,然后将相机和显示屏的实测标定数据代入坐标系并在Zemax软件中建立测量装置的理想模型,通过光线追迹得到理想的屏幕像素点位置,采用相移技术可以得到实测时屏幕像素点位置,从而计算得到被测镜面形的斜率误差,最后积分得到检测结果。文中采用该方法对一块SiC离轴非球面镜进行了实测,并与三坐标测量机的结果进行对比,验证了方法的可行性,可用于指导离轴非球面镜粗抛光阶段的加工。
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关键词
光学面形检测
离轴非球面
条纹反射测量技术
光线追迹
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职称材料
题名
大口径光学非球面镜先进制造技术概述
被引量：
20
1
作者
刘锋伟
吴永前
陈强
刘海涛
闫锋涛
张仕杨
万勇建
伍凡
机构
中国科学院
光电
技术
研究所
先进
光学
研制中心
中国科学院
光电
技术
研究所
中国科学院
大学
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第10期63-85,共23页
基金
国家自然科学基金资助项目(61905255)。
文摘
在光学系统中使用非球面可以有效校正像差,改善像质,进而简化系统结构;并且增大系统口径可以从根本上提高系统的分辨本领,因此在基础科学研究、天文学宇宙探测以及国防安全等领域都对大口径非球面镜有着迫切需求。大口径非球面的制造在现代光学制造工程中扮演着重要的角色。本文以大口径非球面镜的先进制造为主题,对大口径非球面镜的光学加工技术,特别是研磨抛光技术及其过程中所采用的面形检测方法进行了综述,特别总结了新一代先进光学制造的技术特征,展望了未来大口径非球面镜的制造策略。
关键词
大口径非球面
光学加工
光学测试
Keywords
large-aperture aspheric mirror
optical manufacturing
optical testing
分类号
O435 [机械工程—光学工程]
TH74 [理学—光学]
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职称材料
题名
离轴非球面的条纹反射检测技术
被引量：
6
2
作者
赵文川
周敏
刘海涛
肖向海
宋伟红
机构
中国科学院
光电
技术
研究所
先进
光学
研制中心
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期29-36,共8页
基金
四川省科技厅重点研发项目(2017GZ0367)
中国科学院青年创新促进会资助~~
文摘
条纹反射测量技术具有动态范围大、灵敏度高的特点,通过高精度的系统标定可以获得很高的测量精度。本文研究将条纹反射测量技术应用于离轴非球面反射镜粗抛光阶段的面形检测,使用激光跟踪仪建立检测系统坐标系,然后将相机和显示屏的实测标定数据代入坐标系并在Zemax软件中建立测量装置的理想模型,通过光线追迹得到理想的屏幕像素点位置,采用相移技术可以得到实测时屏幕像素点位置,从而计算得到被测镜面形的斜率误差,最后积分得到检测结果。文中采用该方法对一块SiC离轴非球面镜进行了实测,并与三坐标测量机的结果进行对比,验证了方法的可行性,可用于指导离轴非球面镜粗抛光阶段的加工。
关键词
光学面形检测
离轴非球面
条纹反射测量技术
光线追迹
Keywords
optical testing
off-axis aspheric mirror
fringe reflection technique
ray trace
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大口径光学非球面镜先进制造技术概述
刘锋伟
吴永前
陈强
刘海涛
闫锋涛
张仕杨
万勇建
伍凡
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020
20
下载PDF
职称材料
2
离轴非球面的条纹反射检测技术
赵文川
周敏
刘海涛
肖向海
宋伟红
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018
6
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职称材料
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