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32×32长波红外焦平面器件研制和室温目标红外热图像
1
作者 张勤耀 梁平治 +2 位作者 丁瑞军 何力 杨建荣 《红外与激光工程》 EI CSCD 1997年第3期27-30,共4页
文章介绍了32×32元长波碲镉汞混成焦平面器件研制及室温目标红外热成像演示。该器件采用MBE碲镉汞薄膜材料、全平面离子注入成结工艺、Si－CMOS读出电路、倒焊互联混成、背照工作模式。所研制的32×32元碲镉汞长波焦平面器件... 文章介绍了32×32元长波碲镉汞混成焦平面器件研制及室温目标红外热成像演示。该器件采用MBE碲镉汞薄膜材料、全平面离子注入成结工艺、Si－CMOS读出电路、倒焊互联混成、背照工作模式。所研制的32×32元碲镉汞长波焦平面器件获得了突破性进展，最新结果为Dλ*＞1×1010cmHz1／2W－1，响应率不均匀性为12．4％，有效像元＞98％，NETD约为0．1K（FOV＝60°），响应波长8～10μm。该器件实现了室温目标红外热成像。该项工作处于国内领先水平。在研制过程中解决了一系列关键问题，为研制更大规模的红外焦平面器件奠定了坚实的技术基础。 展开更多
关键词 焦平面器件 热成像 设备 红外系统装置
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HgCdTe长波光伏探测器的表面漏电流及1/f噪声研究 被引量：8
2
作者 孙涛 陈兴国 +1 位作者 胡晓宁 李言谨 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期3357-3362,共6页
在同一Hg1-xCdxTe晶片上(x=0.217)制备了单层ZnS钝化和双层(CdTe+ZnS)钝化的两种器件,对器件烘烤前后的暗电流和1f噪声进行了测试,烘烤前发现,ZnS钝化的器件在反偏较大时具有较大的表面隧道电流,而这种表面漏电流是ZnS钝化器件具有较大1... 在同一Hg1-xCdxTe晶片上(x=0.217)制备了单层ZnS钝化和双层(CdTe+ZnS)钝化的两种器件,对器件烘烤前后的暗电流和1f噪声进行了测试,烘烤前发现,ZnS钝化的器件在反偏较大时具有较大的表面隧道电流,而这种表面漏电流是ZnS钝化器件具有较大1f噪声电流的原因,通过高分辨x射线衍射中的倒易点阵技术(reciprocal spacemapping,RSM)研究了单双层钝化对HgCdTe外延层晶格完整性的影响,发现单层ZnS钝化的HgCdTe外延层产生了大量缺陷,而这些缺陷正是ZnS钝化器件具有较大表面漏电流和1f噪声的原因.经过高温烘烤后,ZnS钝化的器件暗电流和1f噪声增加,而双层钝化器件经过高温烘烤后性能提高.RSM的研究表明,高温烘烤后ZnS钝化的HgCdTe外延层产生大量缺陷,这些缺陷正是单层钝化器件表面漏电流和1f噪声电流增加的原因. 展开更多
关键词 HGCDTE 表面漏电流 光伏探测器 噪声研究 高分辨X射线衍射 mapping 1/f噪声 长波 高温烘烤 噪声电流 ZnS space 1/f噪声 外延层 隧道电流 倒易点阵 暗电流 钝化 器件 缺陷 单层 原因 RSM 晶片
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不同钝化结构的HgCdTe光伏探测器暗电流机制 被引量：8
3
作者 孙涛 陈文桥 +3 位作者 梁晋穗 陈兴国 胡晓宁 李言谨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期143-147,共5页
在同一HgCdTe晶片上制备了单层ZnS钝化和双层 (CdTe +ZnS)钝化的两种光伏探测器 ,对器件的性能进行了测试 ,发现双层钝化的器件具有较好的性能 .通过理论计算 ,分析了器件的暗电流机制 ,发现单层钝化具有较高的表面隧道电流 .通过高分辨... 在同一HgCdTe晶片上制备了单层ZnS钝化和双层 (CdTe +ZnS)钝化的两种光伏探测器 ,对器件的性能进行了测试 ,发现双层钝化的器件具有较好的性能 .通过理论计算 ,分析了器件的暗电流机制 ,发现单层钝化具有较高的表面隧道电流 .通过高分辨X射线衍射中的倒易点阵技术研究了单双层钝化对HgCdTe外延层晶格完整性的影响 ,发现单层ZnS钝化的HgCdTe外延层产生了大量缺陷 。 展开更多
关键词 HGCDTE 光伏探测器 钝化 倒易点阵 暗电流
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Hg_(1-x)Cd_xTe长波光伏探测器的低频噪声研究 被引量：5
4
作者 孙涛 梁晋穗 +2 位作者 陈兴国 胡晓宁 李言谨 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期273-276,共4页
在同一Hg1-xCdxTe晶片上(x=0.217)制备了单层ZnS钝化和双层(CdTe+ZnS)钝化的两种器件,对器件的低频噪声和暗电流进行了测试.发现单层钝化的器件在反偏较高时具有较高的低频噪声,在对器件的暗电流拟合计算中发现,单层钝化的器件具有较大... 在同一Hg1-xCdxTe晶片上(x=0.217)制备了单层ZnS钝化和双层(CdTe+ZnS)钝化的两种器件,对器件的低频噪声和暗电流进行了测试.发现单层钝化的器件在反偏较高时具有较高的低频噪声,在对器件的暗电流拟合计算中发现,单层钝化的器件具有较大的表面隧道电流,而这正是单层钝化器件具有较高低频噪声的原因.并通过高分辨X射线衍射中的倒易点阵技术RSM(reciprocalspacemapping)研究了两种钝化对HgCdTe外延层晶格完整性的影响,发现单层ZnS钝化的HgCdTe外延层产生了大量缺陷,而这些缺陷正是单层钝化器件具有较高的低频噪声和表面隧道电流的原因. 展开更多
关键词 HGCDTE 光伏探测器 钝化 倒易点阵 暗电流
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Hg_(1-x)Cd_xTe光伏探测器的钝化研究 被引量：1
5
作者 孙涛 李言谨 +3 位作者 王庆学 陈兴国 胡晓宁 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期469-472,共4页
用倒易二维点阵对HgCdTe光伏探测器钝化及其热处理行为进行了研究,发现测射沉积的钝化膜会引起HgCdTe的晶面弯曲,严重的会出现晶面扭曲和mosaic结构,而钝化后的热处理能改善MCT晶体的完整性.在不同的钝化介质层钝化MCT的研究中发现,ZnS... 用倒易二维点阵对HgCdTe光伏探测器钝化及其热处理行为进行了研究,发现测射沉积的钝化膜会引起HgCdTe的晶面弯曲,严重的会出现晶面扭曲和mosaic结构,而钝化后的热处理能改善MCT晶体的完整性.在不同的钝化介质层钝化MCT的研究中发现,ZnS钝化层在高温下并不稳定,而CdTe钝化层却能保持较高的耐温性能. 展开更多
关键词 光伏探测器 钝化层 介质层 MCT 晶面 二维 点阵 E光 晶体 发现
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HgCdTe探测器应力的多重晶X射线衍射分析
6
作者 孙涛 王庆学 +5 位作者 陈文桥 梁晋穗 陈兴国 胡晓宁 李言谨 何力 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2004年第3期307-312,共6页
HgCdTe光伏探测器的钝化介质膜应力常常限制其低温性能,利用高分辨率多重晶X射线衍射仪中的三重晶衍射技术和倒易空间作图对钝化介质膜应力进行了表征,发现在较高溅射能量下沉积的钝化膜,由于应力的作用,HgCdTe晶片出现弯曲,并有大量镶... HgCdTe光伏探测器的钝化介质膜应力常常限制其低温性能,利用高分辨率多重晶X射线衍射仪中的三重晶衍射技术和倒易空间作图对钝化介质膜应力进行了表征,发现在较高溅射能量下沉积的钝化膜,由于应力的作用,HgCdTe晶片出现弯曲,并有大量镶嵌结构,而在较低的溅射能量下和热蒸发下沉积的钝化膜,晶面未出现明显弯曲,可获得较低应力的钝化介质层。 展开更多
关键词 HGCDTE 光伏探测器 应力 钝化 三重晶X射线衍射 倒易空间作图
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