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题名不同沉积速率下热蒸发银膜的光学性能和结构分析
被引量：11
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作者
卢宝文
徐学科
余祥
范正修
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院强激光材料科学与技术重点实验室
中国科学院研究生院
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期283-286,共4页
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基金
国家自然科学基金资助课题
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文摘
实验分别采用5种不同的沉积速率(0.44,0.30,0.18,0.08和0.04nm/s)制备了金属银薄膜,膜系结构为基底/Al2O3/Ag/Al2O3/Air。光谱测试结果表明,沉积速率0.18nm/s的样品具有最高的平均反射率。采用X射线衍射(XRD)仪分析了5个样品的X射线衍射谱。银膜择优取向(111)晶向,0.18nm/s的样品衍射峰强度最大、衍射峰半峰全宽最小、晶粒尺寸最大,说明此沉积速率下结晶程度最高。过快或者过慢的沉积速率会导致银膜结晶程度下降,从而导致平均消光系数增大和反射率下降。在实验条件下,银膜的最佳沉积速率在0.18nm/s附近,此时制备的银膜具备最好的结晶程度和最高的反射率,此结论不同于传统意义上认为热蒸发银膜速率越快,成膜质量越高、光谱特性越好的观点。
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关键词
薄膜光学
银膜
沉积速率
结构分析
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Keywords
thin-film optics evaporated silver films deposition rate structure analysis
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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题名高功率激光系统中光学薄膜的现状及发展趋势
被引量：6
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作者
范正修
魏朝阳
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院强激光材料科学与技术重点实验室
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2009年第7期14-17,共4页
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文摘
概括介绍了高功率激光系统光学薄膜的种类及特点,详细阐述了高功率激光薄膜研究进展,并对高功率激光薄膜的研究趋势进行了展望。
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关键词
高功率激光
光学薄膜
激光损伤
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Keywords
high power laser
optical coating
laser induced damage
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分类号
TN248
[电子电信—物理电子学]
O484.41
[理学—固体物理]
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题名波长分离膜在2μm飞秒激光作用下的损伤特性
被引量：1
- 3
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作者
刘娜
王英剑
井绪峰
周明
王胭脂
崔云
晋云霞
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院强激光材料科学与技术重点实验室
中国科学院研究生院
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期184-188,共5页
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文摘
用离子束溅射的方法在红外石英玻璃基底上制备了Ta2O5/SiO2(1.064μm波长下高透,2.128μm波长下高反)波长分离膜,利用飞秒激光系统(输出波长为2μm,脉宽为80 fs)测试了它的激光损伤情况,同时用光学显微镜和扫描电镜观察了样品的损伤形貌,根据不同能量作用下破斑面积与能量密度的关系拟合得到样品的损伤阈值。实验结果表明,2μm飞秒激光作用在波长分离膜的损伤形貌为层状分布,破斑边缘比较清晰,没有热扩散和热传导现象,属于本征损伤。利用基于导带电子数密度的理论模型,并结合电场分布与带隙理论讨论了2μm飞秒激光作用于光学薄膜的损伤机制,确定了损伤起源于高低折射率界面处的窄带隙材料。
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关键词
薄膜
波长分离膜
2μm飞秒激光
损伤阈值
损伤形貌
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Keywords
thin films
wavelength separation multilayer
2 μm femtosecond laser~ damage threshold
damage morphology
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分类号
O484.5
[理学—固体物理]
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