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题名一种微开关悬臂梁的静力变形分析模型及其应用
被引量：13
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作者
丁芳
曹天捷
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机构
中国民用航空学院交通工程分院
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出处
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期460-464,共5页
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文摘
建立一种微开关悬臂梁的静力变形分析模型,该模型将微开关悬臂梁的受力变形分为三个阶段,受电场力作用的悬臂梁阶段,受电场力作用的一端固支、另一端铰支的单跨梁阶段以及受电场力和集中力联合作用而保持自由端有指定的位移和零转角阶段。第二阶段中铰支端支反力的大小以及第三阶段中集中力的大小和作用位置均与电场力的驱动电压有关;同时文中将求解微开关悬臂梁挠度的高阶微分方程问题转化为含有未知初始条件的一阶微分方程组问题。在实例中,设计一种求解未知初始条件的迭代方法,并给出部分计算结果,从中可得出一些有益的结论。
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关键词
微开关
悬臂梁
电场力
微分方程
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Keywords
Microswitch
Cantilever beam
Electrostatic force
Differential equation
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分类号
TN454
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名一种两端固支微开关梁的静力学分析模型
被引量：7
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作者
曹天捷
丁芳
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机构
中国民用航空学院交通工程分院
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出处
《工程力学》
EI
CSCD
北大核心
2006年第9期42-47,54,共7页
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文摘
建立了一种两端固支微开关梁的静力变形分析模型,该模型将受电场力作用的两端固支微开关梁的受力变形分为三个阶段:梁受电场力作用、梁中点不受约束的变形阶段;梁受电场力作用、且梁中点变形受约束的变形阶段,即此时在梁的中点还要受到一支反力的作用;梁受电场力和一个附加支反力作用,并在梁的中间一段具有指定的位移和转角的变形阶段;在第二阶段中梁所受支反力的大小及第三阶段中梁所受支反力的大小和位置都与驱动电压有关。在实例中,设计了一种求解各未知量的迭代方法,并给出了部分计算结果,包括:梁中点挠度和驱动电压间的关系、梁中点挠度和梁中点弯矩间的关系、梁长对吸合电压影响、驱动电极长对吸合电压的影响等,从中可得出一些有益的结论。
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关键词
微机电开关
两端固支梁
静电力驱动
吸合电压
挠度
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Keywords
micro-machined switch
clamped-clamped beam
electrostatic force
pull-in voltage
deflection
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分类号
O39
[理学—工程力学]
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