微机电系统(Microelectromechanical System,MEMS)和纳米科技这两种典型微米纳米技术,其灵感和构想均可追溯至1959年12月29日,理查德·菲利普·费曼(Richard Phillips Feynman)教授在美国加州理工学院举行的美国物理学会年会上...微机电系统(Microelectromechanical System,MEMS)和纳米科技这两种典型微米纳米技术,其灵感和构想均可追溯至1959年12月29日,理查德·菲利普·费曼(Richard Phillips Feynman)教授在美国加州理工学院举行的美国物理学会年会上所发表的著名演讲——There’s Plenty of Room at the Bottom。他指出:“如果人类能够在原子/分子的尺度上加工材料、制备装置,我们将有许多激动人心的新发现,我们需要新型的微型化仪器来操纵纳米结构并测定其性质”。时至今日,纳米科技与MEMS的发展,均可将费曼的那次演讲视为一个伟大的预言和开端。展开更多
文摘微机电系统(Microelectromechanical System,MEMS)和纳米科技这两种典型微米纳米技术,其灵感和构想均可追溯至1959年12月29日,理查德·菲利普·费曼(Richard Phillips Feynman)教授在美国加州理工学院举行的美国物理学会年会上所发表的著名演讲——There’s Plenty of Room at the Bottom。他指出:“如果人类能够在原子/分子的尺度上加工材料、制备装置,我们将有许多激动人心的新发现,我们需要新型的微型化仪器来操纵纳米结构并测定其性质”。时至今日,纳米科技与MEMS的发展,均可将费曼的那次演讲视为一个伟大的预言和开端。