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基于SOI的MEMS高温压阻式压力传感器
被引量：
6
1
作者
单存良
梁庭
+4 位作者
王文涛
雷程
薛胜方
刘瑞芳
李志强
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2021年第4期325-331,共7页
基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了传感器力学结构和电学性能的设计,采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感...
基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了传感器力学结构和电学性能的设计,采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感芯片的制备,并使用了一种可耐300℃高温的封装技术。实验中采用了常温压力测试平台和压力-温度复合测试平台进行测试,测试结果表明,封装后的传感器在常温环境下具有良好的非线性误差、迟滞性和重复性,其灵敏度可达到0.082 8 mV/kPa,同时在300℃高温环境中其灵敏度仍可达0.063 8 mV/kPa。
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关键词
高温压力传感器
微电子机械系统(MEMS)
压阻效应
灵敏度
倒装封装
下载PDF
职称材料
题名
基于SOI的MEMS高温压阻式压力传感器
被引量：
6
1
作者
单存良
梁庭
王文涛
雷程
薛胜方
刘瑞芳
李志强
机构
中北大学
仪器
与
电子学
院
仪器
科
学
与
动态
测试
教育部
重点
实验室
中北大学
仪器
与
电子学
院
动态
测试
技术
山西省
重点
实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2021年第4期325-331,共7页
基金
山西省重点研发计划项目(201903D121123)
山西省自然科学基金项目(201801D121157,201801D221203)。
文摘
基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论,完成了传感器力学结构和电学性能的设计,采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感芯片的制备,并使用了一种可耐300℃高温的封装技术。实验中采用了常温压力测试平台和压力-温度复合测试平台进行测试,测试结果表明,封装后的传感器在常温环境下具有良好的非线性误差、迟滞性和重复性,其灵敏度可达到0.082 8 mV/kPa,同时在300℃高温环境中其灵敏度仍可达0.063 8 mV/kPa。
关键词
高温压力传感器
微电子机械系统(MEMS)
压阻效应
灵敏度
倒装封装
Keywords
high temperature pressure sensor
micro-electromechanical system(MEMS)
piezoresistive effect
sensitivity
flip chip package
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH703 [自动化与计算机技术—控制科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于SOI的MEMS高温压阻式压力传感器
单存良
梁庭
王文涛
雷程
薛胜方
刘瑞芳
李志强
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2021
6
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职称材料
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