Ag-石墨烯纳米复合材料的室温制备及其结构分析 被引量：7

1

作者 尹奎波 朱逸宇 +4 位作者 韩宇龙 赵安璞 李萍萍 周明杰 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期187-190,共4页

在室温条件下利用水合肼将氧化石墨烯和AgNO3还原获得Ag-石墨烯纳米复合材料,并利用X射线光电子能谱(XPS),X射线衍射(XRD),X射线能谱(EDX)及高分辨透射电镜(HRTEM)等方法对制备的纳米复合材料进行分析。结果表明:Ag-石墨烯复合材料中石... 在室温条件下利用水合肼将氧化石墨烯和AgNO3还原获得Ag-石墨烯纳米复合材料,并利用X射线光电子能谱(XPS),X射线衍射(XRD),X射线能谱(EDX)及高分辨透射电镜(HRTEM)等方法对制备的纳米复合材料进行分析。结果表明:Ag-石墨烯复合材料中石墨烯的含氧官能团数量大幅降低,氧化石墨烯已被还原为石墨烯;Ag纳米颗粒附着在石墨烯表面,Ag纳米颗粒的平均尺寸为25 nm,该复合材料表现出很强的表面增强拉曼效应,有望在非线性光学、传感器、电催化等领域获得广泛应用。 展开更多

关键词 Ag-石墨烯纳米复合材料 TEM XRD XPS 拉曼光谱

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Cu/Al引线键合界面金属间化合物生长过程的原位实验研究 被引量：6

2

作者 杨庆龄 陈奕仪 +2 位作者 吴幸 沈国瑞 孙立涛 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第21期389-395,共7页

铜引线键合由于在价格、电导率和热导率等方面的优势有望取代传统的金引线键合,然而Cu/Al引线键合界面的金属间化合物(intermetallic compounds,IMC)的过量生长将增大接触电阻和降低键合强度,从而影响器件的性能和可靠性.针对以上问题,... 铜引线键合由于在价格、电导率和热导率等方面的优势有望取代传统的金引线键合,然而Cu/Al引线键合界面的金属间化合物(intermetallic compounds,IMC)的过量生长将增大接触电阻和降低键合强度,从而影响器件的性能和可靠性.针对以上问题,本文基于原位高分辨透射电子显微镜技术,研究了在50—220?C退火温度下,Cu/Al引线键合界面IMC的生长问题,实时观测到了Cu/Al IMC的动态生长及结构演变过程.实验结果表明,退火前颗粒状的Cu/Al IMC分布在键合界面,主要成分为Cu9Al4,少量成分为Cu Al2.退火后Cu/Al IMC的成分是:靠近Cu一端为Cu9Al4,远离Cu的一端为Cu Al2.同时基于原位观测Cu/Al IMC的动态生长过程,计算得到了Cu/Al IMC不同温度下的反应速率和激活能,给出了基于原位实验结果的Cu/Al IMC的生长公式,为优化Cu/Al引线键合工艺和提高Cu/Al引线键合的可靠性提供了指导. 展开更多

关键词 金属间化合物 Cu/Al引线键合 生长过程 原位透射电子显微术

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石墨烯纳米孔的制备及λ-DNA穿孔初步研究 被引量：4

3

作者 王跃 余旭丰 +4 位作者 刘芸芸 谢骁 程秀兰 黄少铭 王志民 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2014年第3期378-381,共4页

纳米孔测序是有可能实现"$1,000 Genome"目标的技术之一.近年来,研究较多的纳米孔有蛋白质纳米孔和硅基材料的固态纳米孔.蛋白孔寿命比较短,而基于硅基底的固态纳米孔深度显著超过单链DNA相邻碱基的间距,所以,无法实现DNA的... 纳米孔测序是有可能实现"$1,000 Genome"目标的技术之一.近年来,研究较多的纳米孔有蛋白质纳米孔和硅基材料的固态纳米孔.蛋白孔寿命比较短,而基于硅基底的固态纳米孔深度显著超过单链DNA相邻碱基的间距,所以,无法实现DNA的单个碱基的分辨.作者用聚焦离子束先制造氮化硅基底,并在该基底上铺设石墨烯,再用聚焦电子束刻蚀石墨烯,获得直径10 nm以下的纳米孔,初步分析了DNA穿越纳米孔时产生的电信号及穿孔噪音,向单层石墨烯纳米孔测序DNA迈出了一步. 展开更多

关键词 石墨烯 纳米孔 测序 聚焦离子束 聚焦电子束

原文传递

电子束辐照下银纳米孔修复的原位研究 被引量：1

4

作者 张辉 徐涛 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期123-128,共6页

本文通过电子束辐照实现了银纳米孔的原位修复,动态观察了修复过程中的结构演变行为。观察发现纳米孔的修复通过在纳米孔边缘逐层生长的方式实现。几何相位分析证实电子束辐照能够完美修复纳米孔并形成高质量的晶体。此外,电子束强度能... 本文通过电子束辐照实现了银纳米孔的原位修复,动态观察了修复过程中的结构演变行为。观察发现纳米孔的修复通过在纳米孔边缘逐层生长的方式实现。几何相位分析证实电子束辐照能够完美修复纳米孔并形成高质量的晶体。此外,电子束强度能够明显影响晶体结构的修复速率,束流密度过大的电子束辐照会导致纳米孔修复速率的下降甚至刻蚀。本文的研究证实了电子束辐照是一种能够有效调控纳米结构的方法,有助于人们进一步加深原子尺度下晶体材料的结构演变行为。 展开更多

关键词 原位修复 纳米孔 电子束辐照

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电子束辐照对单根Zn2GeO4纳米线电学特性的影响 被引量：2

5

作者 李斯佳 吴幸 +1 位作者 孙俊 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 2015年第4期286-291,共6页

利用透射电子显微技术,对Zn2GeO4纳米线的微观结构以及元素成分进行了表征。采用STM-TEM电学测试样品杆在透射电子显微镜内原位构建一个基于Zn2GeO4纳米线的金属-半导体-金属(M-S-M)结构,在结构两端加电,发现随着辐照强度的增加,流过纳... 利用透射电子显微技术,对Zn2GeO4纳米线的微观结构以及元素成分进行了表征。采用STM-TEM电学测试样品杆在透射电子显微镜内原位构建一个基于Zn2GeO4纳米线的金属-半导体-金属(M-S-M)结构,在结构两端加电,发现随着辐照强度的增加,流过纳米线的电流增加且I-V曲线的开启电压减小。进一步分析表明这是由于金属电极中的电子受到更强的激发更容易越过金属与半导体形成的肖特基势垒,因此在原位TEM电学测试过程中,应该考虑到电子束辐照的影响,以便获得更加准确的测量结果。 展开更多

关键词 Zn2GeO4纳米线 电子束辐照 肖特基结 原位透射电子显微技术

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赝弹性银硫系化合物阻变行为的透射电镜研究 被引量：1

6

作者 熊雨薇 李京仓 +6 位作者 谭治远 朱明芸 尹奎波 商尚炀 魏琦 夏奕东 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期635-642,共8页

银硫系化合物由于尺寸可缩减性好、擦写速度快、具有多值存储能力等优点,在阻变存储器介质材料研究中受到广泛关注。但随着介质材料尺寸的不断缩小,材料表/界面结构对器件的性能产生的影响尚不明确。因此从微观尺度上揭示阻变介质材料表... 银硫系化合物由于尺寸可缩减性好、擦写速度快、具有多值存储能力等优点,在阻变存储器介质材料研究中受到广泛关注。但随着介质材料尺寸的不断缩小,材料表/界面结构对器件的性能产生的影响尚不明确。因此从微观尺度上揭示阻变介质材料表/界面对性能影响的相关机理至关重要。本文利用脉冲激光沉积制备了Ag_(10)Ge_(15)Te_(75)薄膜,并在透射电子显微镜中构建了以其为介质的阻变存储器,研究了其阻变过程中微观形貌与物相的演化。实验发现,尺寸在20 nm以下的Ag_(10)Ge_(15)Te_(75)薄膜在被电压脉冲熔断后,能够用"冷焊"的方式重新连接并仍保持阻变特性。当给其施加正向电压时,薄膜中生成Ag_(2)Te多晶颗粒。当挤压拉伸薄膜时,Ag_(2)Te多晶颗粒不会消失。当施加反向电压时,Ag_(2)Te多晶颗粒消失。分析认为,Ag_(10)Ge_(15)Te_(75)薄膜的形变属于Coble赝弹性,Ag_(2)Te多晶的生成与电场诱导沉积有关。实验的结果对于构建新型柔性阻变存储器结构具有一定的指导意义。 展开更多

关键词 Ag_(10)Ge_(15)Te_(75) 透射电子显微镜 阻变存储器 赝弹性行为

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PtS_(2)的表面相工程:单晶PtS_(2)-非晶PtS_(x)-单晶Pt

7

作者 袁墩栋 何勇民 +2 位作者 赵晓续 朱超 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期706-712,共7页

本文利用原子级扫描透射电子显微术(scanning transmission electron microscopy,STEM)研究了PtS_(2)在连续Ar等离子体作用下其表面S原子不断缺失并导致相转变的过程。实验发现随着S原子占比的减小,层状1T相PtS_(2)以逐层非晶化的方式... 本文利用原子级扫描透射电子显微术(scanning transmission electron microscopy,STEM)研究了PtS_(2)在连续Ar等离子体作用下其表面S原子不断缺失并导致相转变的过程。实验发现随着S原子占比的减小,层状1T相PtS_(2)以逐层非晶化的方式转变为无定形非晶相PtS_(x)(x<2),并且基于径向分布函数(radial distribution function,RDF)分析定量提取了最邻近Pt-Pt、Pt-S、S-S原子对的分布概率。随着S原子占比的继续减小,表面非晶相PtSx最终转变为单晶Pt,结合电子能量损失谱(electron energy loss spectroscopy,EELS)与STEM原子序数衬度图像分析表明,Pt原子以(111)面心立方密堆的方式堆垛,形成少层甚至单层Pt晶畴。 展开更多

关键词 STEM 单层非晶PtS_(x) Pt单晶 相工程

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电子束辐照诱导二维氧化铟纳米片生长的原位电镜研究

8

作者 朱亚彤 张昊 +1 位作者 徐涛 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期275-282,共8页

非层状二维材料因其新颖的二维特性在电子学、光电子学、催化、能量储存和转换等领域具有广泛的应用前景。然而,其现有的合成方法都无法精确地控制材料的形貌和尺寸,且对材料潜在的生长机制尚不明确。本文利用透射电子显微镜中的高能电... 非层状二维材料因其新颖的二维特性在电子学、光电子学、催化、能量储存和转换等领域具有广泛的应用前景。然而,其现有的合成方法都无法精确地控制材料的形貌和尺寸,且对材料潜在的生长机制尚不明确。本文利用透射电子显微镜中的高能电子束,辐照诱导了硒化铟纳米片表面氧化铟纳米晶粒的产生,并在原子尺度观察了氧化铟纳米片的原位生长过程。实验发现,氧化铟纳米片沿着{222}晶面以“逐层生长”的方式形成特定的结构,且原子优先在台阶处成核以降低生长过程中的表面能。这一研究表明,电子束辐照可以作为一种有效的工具来制备氧化铟等非层状二维材料,为二维纳米结构的可控制备提供实验和理论依据。 展开更多

关键词 非层状二维材料 电子束辐照 硒化铟 氧化铟 原位生长

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单晶CuS纳米线的电沉积合成及结构表征 被引量：1

9

作者 王裕希 吴幸 +1 位作者 徐峰 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 2014年第1期14-18,共5页

采用多孔AAO模板辅助的有机溶剂电化学沉积技术,制备出尺寸均匀,平均直径30nm的单晶CuS纳米线。利用透射电子显微技术研究了纳米线的晶体结构和元素成分,分析了不同沉积电流密度对CuS纳米晶形核及生长过程的影响。研究结果表明,电流密... 采用多孔AAO模板辅助的有机溶剂电化学沉积技术,制备出尺寸均匀,平均直径30nm的单晶CuS纳米线。利用透射电子显微技术研究了纳米线的晶体结构和元素成分,分析了不同沉积电流密度对CuS纳米晶形核及生长过程的影响。研究结果表明,电流密度过小,容易导致S单质向S2-还原速度竞争不过Cu2+与S2-反应成核的速度,从而出现Cu34S32(即CuS0.95);电流密度过大,则会导致成核过程抑制生长过程,得到的CuS纳米晶均为多晶形态。 展开更多

关键词 硫化铜纳米线 电化学沉积 单晶生长 高分辨透射电子显微技术

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石墨烯与Ag纳米颗粒复合材料的制备与表征

10

作者 陈方韬 尹奎波 +1 位作者 万树 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 2014年第5期413-418,共6页

采用液相混合与水热还原相结合的方法制备了一种颗粒直径在10～ 20 nm之间,分布均匀的石墨烯与Ag纳米颗粒复合材料.利用透射电子显微技术研究在不同反应阶段时石墨烯或氧化石墨烯表面颗粒的晶格结构与组成成分.研究结果表明,在液相混合... 采用液相混合与水热还原相结合的方法制备了一种颗粒直径在10～ 20 nm之间,分布均匀的石墨烯与Ag纳米颗粒复合材料.利用透射电子显微技术研究在不同反应阶段时石墨烯或氧化石墨烯表面颗粒的晶格结构与组成成分.研究结果表明,在液相混合阶段Ag＋与氧化石墨烯之间发生了氧化还原反应,Ag＋还原成为Ag纳米颗粒并附着于氧化石墨烯的表面,颗粒的直径在5 nm以下,分布均一;在水热还原氧化石墨烯阶段,Ag纳米颗粒发生了奥斯瓦尔德熟化现象,较小的Ag纳米颗粒随着水热反应的进行不断的溶解,并在较大的Ag颗粒表面凝聚,使得颗粒的尺寸增加. 展开更多

关键词 石墨烯 AG纳米颗粒 液相混合 水热还原

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原位动态电子显微学研究进展 被引量：11

11

作者 徐涛 孙俊 孙立涛 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2012年第3期115-134,共20页

随着电镜内原位技术的不断成熟和发展,透射电子显微镜不再仅仅是材料结构表征的工具,还是实现高精度纳米加工、性能测试等的重要手段。这不但丰富了纳米尺度下开展实验研究的方法,也拓宽了透射电子显微镜的应用范围,为纳米科学与技术的... 随着电镜内原位技术的不断成熟和发展,透射电子显微镜不再仅仅是材料结构表征的工具,还是实现高精度纳米加工、性能测试等的重要手段。这不但丰富了纳米尺度下开展实验研究的方法,也拓宽了透射电子显微镜的应用范围,为纳米科学与技术的迅速发展提供了新的契机。本文侧重作者所在研究小组的研究工作,以"将纳米实验室建在透射电子显微镜里"的构想为主线,从材料的原位生长、结构加工、性能表征和器件构建等四个方面综述了近年来基于透射电子显微镜的代表性原位实验研究进展。 展开更多

关键词 透射电子显微镜 动态表征 原位实验:纳米材料

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退火处理对离子束溅射WO_(3-x)薄膜结构和特性的影响 被引量：3

12

作者 苏江滨 王智伟 +3 位作者 祁昊 潘鹏 朱贤方 蒋美萍 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第1期65-71,共7页

利用离子束溅射结合后退火处理的方法制备了WO_(3-x)(0≤x≤1)薄膜,系统研究了不同退火气氛、退火温度和退火时间等条件对WO_(3-x)薄膜的晶体结构以及电学、光学和电致变色特性的影响。研究发现,当退火温度超过WO3结晶温度后,特别是在... 利用离子束溅射结合后退火处理的方法制备了WO_(3-x)(0≤x≤1)薄膜,系统研究了不同退火气氛、退火温度和退火时间等条件对WO_(3-x)薄膜的晶体结构以及电学、光学和电致变色特性的影响。研究发现,当退火温度超过WO3结晶温度后,特别是在湿氧气氛下,退火温度越高、退火时间越长,WO_(3-x)薄膜的结晶度越好,除WO3主晶相显著增强以外,还会陆续出现O29W10、O49W18和WO_(2)等缺氧相;在干氧条件下,更高的退火温度和更长的退火时间都有助于降低WO_(3-x)薄膜的电阻值,也都有助于WO_(3-x)薄膜可见光透过率的提升;WO_(3-x)薄膜电致变色器件在632.8 nm波长处的光学调制值达到了70%左右,表现出良好的电致变色特性。 展开更多

关键词 氧化钨(WO_(3-x))薄膜 电致变色器件 离子束溅射 光学调制 可见光透过率

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二硫化锡纳米片的原位辐照与热稳定性研究 被引量：4

13

作者 辛磊 李京仓 +4 位作者 熊雨薇 文一峰 朱明芸 尹奎波 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期445-451,共7页

二硫化锡(SnS2)由于其具有储量丰富、光学性能独特、储锂/钠容量高等优点,在光电探测以及储能等领域研究中受到广泛关注。然而,SnS2纳米片的制备存在尺寸分布不均和分散性差等问题,同时SnS2纳米片结构的稳定性尚不明确。本文通过水热法... 二硫化锡(SnS2)由于其具有储量丰富、光学性能独特、储锂/钠容量高等优点,在光电探测以及储能等领域研究中受到广泛关注。然而,SnS2纳米片的制备存在尺寸分布不均和分散性差等问题,同时SnS2纳米片结构的稳定性尚不明确。本文通过水热法制备了SnS2纳米片,分析了表面活性剂类型对材料分散度的影响。利用透射电子显微镜,原位研究了SnS2纳米材料的抗电子束辐照性能和热稳定性。实验发现,聚乙二醇能显著抑制SnS2纳米片的团聚。电子束辐照后,SnS2转变为SnS。当温度升高至325℃时,SnS2逐渐分解消失。该结果对于SnS2的可控制备及应用研究具有一定的指导意义。 展开更多

关键词 二硫化锡 透射电子显微镜 水热法 电子束辐照

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NaCl晶体的电子激发分解研究 被引量：1

14

作者 周建军 郑安琪 +2 位作者 徐涛 尹奎波 孙立涛 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期865-870,共6页

通过原位高分辨率透射电子显微镜研究了NaCl晶体的电子激发分解(ESD)过程。实验发现在电子束辐照下,NaCl晶体的不同表面会以相似的分解速率减小。NaCl晶体的外壳层会有许多钠颗粒形成,随着ESD过程的进行,钠颗粒会聚结成大的Na颗粒。在... 通过原位高分辨率透射电子显微镜研究了NaCl晶体的电子激发分解(ESD)过程。实验发现在电子束辐照下,NaCl晶体的不同表面会以相似的分解速率减小。NaCl晶体的外壳层会有许多钠颗粒形成,随着ESD过程的进行,钠颗粒会聚结成大的Na颗粒。在发生电子激发分解的NaCl晶体内部,存在丰富的矩形岛状结构,这种矩形结构的尺寸约为4-7 nm,其中一些拐角发生破缺形成扭结点,同时在NaCl晶体内部也发现了大量位错。研究还发现,碳氢化合物包裹层可以减缓NaCl薄膜的电子激发分解过程。 展开更多

关键词 氯化钠 电子激发分解 透射电子显微术

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不同溶液中浸泡处理对WO_(3)薄膜的影响

15

作者 祁昊 朱秀梅 +2 位作者 苏江滨 何祖明 蒋美萍 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第5期480-488,共9页

WO_(3)是一种重要的电致变色材料,可应用于屏幕显示、航天热控及智能窗等诸多领域。然而在实际应用中,WO_(3)的稳定性不足,这极大地制约了其进一步发展。利用磁控溅射法制备了非晶WO_(3)薄膜,系统研究了在去离子水、盐酸、氢氧化钠、丙... WO_(3)是一种重要的电致变色材料,可应用于屏幕显示、航天热控及智能窗等诸多领域。然而在实际应用中,WO_(3)的稳定性不足,这极大地制约了其进一步发展。利用磁控溅射法制备了非晶WO_(3)薄膜,系统研究了在去离子水、盐酸、氢氧化钠、丙酮和乙醇等不同溶液中浸泡处理对WO_(3)薄膜的表面形貌、微观结构、光学性质和电致变色特性的影响。研究结果表明,在去离子水、丙酮和乙醇中浸泡后,WO_(3)薄膜有少量溶解,表面形貌无明显变化,微观结构仍然是非晶的;在盐酸中浸泡后,WO_(3)薄膜从氧化铟锡(ITO)衬底上脱落,样品被破坏;在氢氧化钠溶液中浸泡后,WO_(3)与之反应生成晶态Na_(2)WO_(4)。在上述五种溶液中浸泡后,样品的可见光透过率都有所提升,样品的禁带宽度都变宽了。在去离子水、氢氧化钠、丙酮和乙醇溶液中浸泡后,样品的可见光透过率范围为79%~85%,其中WO_(3)的禁带宽度范围为3.22~3.40 eV,在盐酸溶液中浸泡后的样品只剩下衬底ITO,其禁带宽度为3.76 eV。在丙酮、乙醇和氢氧化钠溶液中浸泡后,样品的光学调制均显著,尤其是在乙醇中浸泡后的WO_(3)薄膜以及在氢氧化钠溶液中浸泡后得到的Na_(2)WO_(4)薄膜,它们在676.2 nm波长处的着色态与褪色态的透过率之差均为85%,显示出良好的电致变色特性。 展开更多

关键词 WO_(3)薄膜 稳定性 液体环境 电致变色 磁控溅射

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原位液相透射电子显微镜及其在 纳米粒子表征方面的应用 被引量：2

16

作者 刘玄玄 国洪轩 +2 位作者 徐涛 尹奎波 孙立涛 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期286-300,共15页

近年来,基于透射电子显微技术、微纳加工技术和薄膜制造技术的发展,原位液相透射电子显微技术产生,为构建多种纳米级分辨率尺度下的微实验平台,发展新型纳米表征技术和众多领域的相关研究提供了途径.本文首先介绍了应用于原位液相透射... 近年来,基于透射电子显微技术、微纳加工技术和薄膜制造技术的发展,原位液相透射电子显微技术产生,为构建多种纳米级分辨率尺度下的微实验平台,发展新型纳米表征技术和众多领域的相关研究提供了途径.本文首先介绍了应用于原位液相透射电子显微技术的液体腔设计要求,然后介绍了液体腔的发展和典型的制备工艺,最后综述了近年来液体腔透射电子显微镜在纳米粒子成核和生长方面的应用研究,并探讨了该技术前沿发展面临的机遇和挑战.本文将为提高我国先进纳米表征技术和原子精准构筑技术提供相关讨论和支持. 展开更多

关键词 原位液相透射电子显微镜 纳米表征技术 原位液体腔

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原位液体环境透射电镜技术在纳米晶体结构研究中的应用 被引量：8

17

作者 王文 徐涛 孙立涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期500-512,共13页

近年来随着微纳加工工艺以及TEM技术的进步,原位液体环境TEM技术发展迅速,目前其空间分辨率已可达到亚纳米尺度。相关研究涉及物理、化学、材料和生物等多个领域,为液体环境中纳米材料的成核、生长、自组装以及生物样品结构表征等方面... 近年来随着微纳加工工艺以及TEM技术的进步,原位液体环境TEM技术发展迅速,目前其空间分辨率已可达到亚纳米尺度。相关研究涉及物理、化学、材料和生物等多个领域,为液体环境中纳米材料的成核、生长、自组装以及生物样品结构表征等方面的研究提供了很大的帮助。本文首先介绍了原位液体环境TEM技术的主要实现方式以及液体腔制备技术的发展;其次重点综述了近年来原位液体腔TEM技术在纳米晶体成核、生长、刻蚀、自组装以及电场作用下的纳米结构演变中的应用;最后对原位液体环境TEM技术未来的机遇和挑战进行了展望。 展开更多

关键词 液体环境透射电镜 液体腔 纳米晶体生长

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二维层状材料原位电子辐照研究 被引量：2

18

作者 徐涛 尹奎波 孙立涛 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第25期2919-2930,共12页

纳米结构的高精度可控加工是制约器件小型化发展的重要限制因素之一,而基于透射电子显微镜的电子辐照有望在加工精度上推动纳米加工的进程.透射电子显微镜中高能电子束不仅能用于原子结构成像,还可用于原位辐照加工.因此,基于透射电子... 纳米结构的高精度可控加工是制约器件小型化发展的重要限制因素之一,而基于透射电子显微镜的电子辐照有望在加工精度上推动纳米加工的进程.透射电子显微镜中高能电子束不仅能用于原子结构成像,还可用于原位辐照加工.因此,基于透射电子显微镜的电子辐照效应研究既有利于从原子尺度上探索材料在电子辐照作用下的结构稳定性及结构演变规律,又有利于加深对电子辐照过程的理解,为纳米结构的高精度可控加工提供理论依据和实验基础.本文将简要介绍几种常见的电子辐照效应,并综述近年来利用透射电子显微镜在石墨烯、氮化硼、过渡金属硫族化合物等二维层状材料原位辐照方面的研究进展,为进一步研究二维材料结构稳定性和精准、可控加工低维纳米结构提供参考. 展开更多

关键词 二维材料 电子辐照 透射电子显微镜 结构演变 纳米加工

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