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InP/InGaAsP/InGaAs场助近红外光电阴极理论建模和特性分析
1
作者
李想
邓伟婷
+3 位作者
邓文娟
彭新村
周书民
邹继军
《半导体技术》
CAS
北大核心
2024年第9期806-812,817,共8页
场助光电阴极可以有效提高长波阈值处的外量子效率,在近红外波段中有着较为广泛的应用。设计了pn结型n-InP/p-InGaAsP/p-InGaAs场助光电阴极,通过电流连续性方程建立其电子发射模型,在该模型基础上调整各层参数进行仿真,获得电子发射电...
场助光电阴极可以有效提高长波阈值处的外量子效率,在近红外波段中有着较为广泛的应用。设计了pn结型n-InP/p-InGaAsP/p-InGaAs场助光电阴极,通过电流连续性方程建立其电子发射模型,在该模型基础上调整各层参数进行仿真,获得电子发射电流并计算外量子效率。分析外加电压、外延层掺杂浓度及厚度、基极电极宽度、发射面宽度及发射层材料等因素对外量子效率的影响,最终确定外量子效率达到峰值时各层最佳参数。结果表明:n型InP接触层、P型In_(0.7955)Ga_(0.2045)As_(0.45)P发射层和p型In_(0.53)_Ga_(0.47)As吸收层的最佳掺杂浓度分别为1×10^(19)、2×10^(18)和4×10^(17)cm^(-3),厚度分别为0.2μm、50nm和3μm;综合考虑仿真结果和工艺制备条件,基极电极宽度最佳范围为1~2μm,发射面宽度最佳范围为5~8μm。外加6V电压时,1.65μm波长处外量子效率理想峰值为41%。
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关键词
光电阴极
场助
INGAASP
近红外
外量子效率
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职称材料
题名
InP/InGaAsP/InGaAs场助近红外光电阴极理论建模和特性分析
1
作者
李想
邓伟婷
邓文娟
彭新村
周书民
邹继军
机构
东华
理工大学
机械
与
电子工程学院
东华
理工大学
核物理
与
核技术
江西省
重点
实验室
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2024年第9期806-812,817,共8页
基金
国家自然科学基金(61961001,11875012,62061001)
江西省自然科学基金(20181BAB202026)
+1 种基金
江西省技术创新引导类项目(科技合作专项)(20212BDH80008)
江西省“双千计划”项目(jxsq2019201053)。
文摘
场助光电阴极可以有效提高长波阈值处的外量子效率,在近红外波段中有着较为广泛的应用。设计了pn结型n-InP/p-InGaAsP/p-InGaAs场助光电阴极,通过电流连续性方程建立其电子发射模型,在该模型基础上调整各层参数进行仿真,获得电子发射电流并计算外量子效率。分析外加电压、外延层掺杂浓度及厚度、基极电极宽度、发射面宽度及发射层材料等因素对外量子效率的影响,最终确定外量子效率达到峰值时各层最佳参数。结果表明:n型InP接触层、P型In_(0.7955)Ga_(0.2045)As_(0.45)P发射层和p型In_(0.53)_Ga_(0.47)As吸收层的最佳掺杂浓度分别为1×10^(19)、2×10^(18)和4×10^(17)cm^(-3),厚度分别为0.2μm、50nm和3μm;综合考虑仿真结果和工艺制备条件,基极电极宽度最佳范围为1~2μm,发射面宽度最佳范围为5~8μm。外加6V电压时,1.65μm波长处外量子效率理想峰值为41%。
关键词
光电阴极
场助
INGAASP
近红外
外量子效率
Keywords
photocathode
field-assisted
InGaAsP
near-infrared
external quantum efficiency
分类号
TN362 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
InP/InGaAsP/InGaAs场助近红外光电阴极理论建模和特性分析
李想
邓伟婷
邓文娟
彭新村
周书民
邹继军
《半导体技术》
CAS
北大核心
2024
0
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职称材料
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