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基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪 被引量：19
1
作者 何永辉 蒋剑峰 赵万生 《光学技术》 CAS CSCD 2001年第2期150-152,155,共4页
在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了... 在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了影响其测量精度的主要因素。 展开更多
关键词 表面三维微观形貌测量 白光干涉 扫描白光干涉法 三维轮廓仪
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