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Si含量和基片温度对Ti-Si-N纳米复合薄膜的影响 被引量:15
1
作者 胡晓萍 李戈扬 +2 位作者 戴嘉维 丁正明 顾明元 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期252-256,共5页
通过多靶磁控反应溅射方法沉积了 Ti- Si- N系纳米复合薄膜 .采用电子能谱仪 (EDS)、X-射线衍射 (XRD)、透射电子显微镜 (TEM)、X-射线光电子能谱 (XPS)和显微硬度仪分析 Ti- Si- N系薄膜的微观结构和力学性能 ,以及基片温度对薄膜微结... 通过多靶磁控反应溅射方法沉积了 Ti- Si- N系纳米复合薄膜 .采用电子能谱仪 (EDS)、X-射线衍射 (XRD)、透射电子显微镜 (TEM)、X-射线光电子能谱 (XPS)和显微硬度仪分析 Ti- Si- N系薄膜的微观结构和力学性能 ,以及基片温度对薄膜微结构和硬度的影响 .结果表明 ,薄膜中的 Si以非晶 Si3 N4形式抑制 Ti N晶粒的生长 ,使之形成纳米晶甚至非晶 ;薄膜硬度在 a(Si) =4.1 4 %时达到最大值 (36GPa) ,继续增加 Si的含量 ,薄膜硬度逐渐降低 .基片温度的提高减弱了 Si3 N4对Ti N晶粒长大的抑制作用 。 展开更多
关键词 Ti-Si-N纳米复合薄膜 反应溅射 微结构 超硬性
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TiO_2/Ag/TiO_2纳米多层膜的研究 被引量:9
2
作者 李景明 蔡珣 茅及放 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期34-37,共4页
设计和制备了用于平面显示器透明电极的纳米多层薄膜TiO2/Ag/TiO2,它的明视透光率Tlum约为89.3%,在2500nm波长处的反射率R2500>95%,方块电阻为3.0Ω/cm2,在550nm波长处的电气性能评价指标FTC=137×10-3Ω-1。发现顶层介质折射率... 设计和制备了用于平面显示器透明电极的纳米多层薄膜TiO2/Ag/TiO2,它的明视透光率Tlum约为89.3%,在2500nm波长处的反射率R2500>95%,方块电阻为3.0Ω/cm2,在550nm波长处的电气性能评价指标FTC=137×10-3Ω-1。发现顶层介质折射率的变化将会引起膜系透射峰的水平移动,而底层介质折射率的变化将仅仅影响膜系透射峰的高低。 展开更多
关键词 透明电极 纳米多层膜 光学性能 导电性能
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718塑料模具钢大模块淬火工艺的优化 被引量:7
3
作者 宋冬利 顾剑锋 袁文庆 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期22-25,共4页
718塑料模具钢在制造模具前需要进行淬火及回火预处理,使硬度达到29~35HRC,要求同一截面的硬度差不大于3HRC。然而对于大型的模块难以制定合理的预硬化工艺来保证硬度均匀一致且无淬火裂纹。为了改进并优化预硬化工艺,对718钢大模块淬... 718塑料模具钢在制造模具前需要进行淬火及回火预处理,使硬度达到29~35HRC,要求同一截面的硬度差不大于3HRC。然而对于大型的模块难以制定合理的预硬化工艺来保证硬度均匀一致且无淬火裂纹。为了改进并优化预硬化工艺,对718钢大模块淬火过程的瞬态温度场及组织场进行了耦合数值模拟。通过比较三种不同淬火工艺的模拟结果,为718模具钢大模块设计了一种较佳的淬火工艺,即淬入水中之前先在空气中预冷,淬水之后将模块出水在空气中自回火。 展开更多
关键词 淬火工艺 数值模拟 塑料模具钢
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TiN/SiC纳米多层膜中的晶体互促生长 被引量:3
4
作者 孔明 劳技军 +2 位作者 张慧娟 戴嘉维 李戈扬 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期324-328,共5页
研究了TiN/SiC纳米多层膜中的晶体互促生长效应,采用磁控溅射法制备了一系列不同厚度SiC和TiN的TiN/SiC纳米多层膜以及TiN、SiC单层膜.利用透射电子显微镜、X射线衍射仪、扫描电子显微镜和X射线能量色散谱仪分析了多层膜的微结构.结果表... 研究了TiN/SiC纳米多层膜中的晶体互促生长效应,采用磁控溅射法制备了一系列不同厚度SiC和TiN的TiN/SiC纳米多层膜以及TiN、SiC单层膜.利用透射电子显微镜、X射线衍射仪、扫描电子显微镜和X射线能量色散谱仪分析了多层膜的微结构.结果表明,尽管TiN和SiC的单层膜分别以纳米晶态和非晶态存在,但由TiN和SiC通过交替沉积形成的纳米多层膜却能够生长成为晶体完整性良好的柱状晶并呈现强烈的择优取向,显示了一种异质材料晶体生长的相互促进作用.纳米多层膜中的晶体互促生长效应与新沉积层原子在先沉积层表面上的移动性有重要关系. 展开更多
关键词 TiN/SiC纳米多层膜 晶体生长 共格界面 立方碳化硅
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碳化硅晶须镁基复合材料热残余应力及其调整 被引量:5
5
作者 姜传海 郑明毅 +1 位作者 王德尊 吴建生 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期286-288,共3页
结合理论分析 ,介绍了复合材料热残余应力的调整机制 ,分别采用低温处理及预变形方法调整碳化硅晶须镁基复合材料中残余应力。复合材料经过低温处理及预拉伸塑性变形后残余应力明显降低 。
关键词 碳化硅晶须 镁基复合材料 低温处理 预塑性变形 残余应力
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低温处理对SiCw/Al复合材料声学特性及弹性模量的影响 被引量:5
6
作者 姜传海 吴建生 王德尊 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期14-15,共2页
对压铸态 2 0 % (体积分数 )SiCw/ 6 0 6 1Al复合材料进行了低温处理 ,研究了低温处理前后复合材料声学特性及显微组织的变化 ,揭示出低温处理对复合材料弹性模量的影响。结果表明 ,低温处理可造成复合材料超声波声速及超声波衰减系数增... 对压铸态 2 0 % (体积分数 )SiCw/ 6 0 6 1Al复合材料进行了低温处理 ,研究了低温处理前后复合材料声学特性及显微组织的变化 ,揭示出低温处理对复合材料弹性模量的影响。结果表明 ,低温处理可造成复合材料超声波声速及超声波衰减系数增大 。 展开更多
关键词 SICW/AL 低温处理 超声学特性 弹性模量 复合材料
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挤压态SiC_W/Al复合材料弹性模量的超声波研究 被引量:4
7
作者 姜传海 吴建生 王德尊 《无损检测》 2002年第3期96-99,共4页
利用超声声速法测量挤压态 2 0vol%SiCW/60 61Al复合材料的弹性模量 ,试验证实该方法具有较高的测量精度。挤压态复合材料中晶须呈定向排列 ,导致其声学特性及弹性模量在不同方向存在明显差异 ,沿晶须排列方向的复合材料超声声速及弹性... 利用超声声速法测量挤压态 2 0vol%SiCW/60 61Al复合材料的弹性模量 ,试验证实该方法具有较高的测量精度。挤压态复合材料中晶须呈定向排列 ,导致其声学特性及弹性模量在不同方向存在明显差异 ,沿晶须排列方向的复合材料超声声速及弹性模量较大。 展开更多
关键词 挤压态 复合材料 弹性模量 超声波 超声检验 碳化硅
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金属基复合透明导电多层膜的研究进展 被引量:4
8
作者 王振国 蔡珣 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期1-3,16,共4页
简要分析了金属基复合透明导电多层膜的发展及应用现状,对其原理、结构设计、稳定性等方面的研究概况及其存在的问题进行了讨论。阐述了金属基复合透明导电多层膜的发展趋势。
关键词 金属基 透明导电膜 多层膜 光电性能
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铸态SiC_w/Al复合材料的表面喷丸强化 被引量:2
9
作者 姜传海 吴建生 王德尊 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第8期32-34,共3页
对铸态 2 0 %SiCw/ 6A0 2Al复合材料进行了表面喷丸处理 ,测量了表层基体残余应力的分布情况 ,建立了复合材料表层基体屈服强度的X射线试验方法 ,探讨了其表层喷丸强化效应。结果表明 :经喷丸处理后复合材料表层基体呈现出较大残余压应... 对铸态 2 0 %SiCw/ 6A0 2Al复合材料进行了表面喷丸处理 ,测量了表层基体残余应力的分布情况 ,建立了复合材料表层基体屈服强度的X射线试验方法 ,探讨了其表层喷丸强化效应。结果表明 :经喷丸处理后复合材料表层基体呈现出较大残余压应力状态 ,X射线衍射峰半高宽度即显微组织强化效应明显增大 。 展开更多
关键词 铸态SiCW/Al复合材料 喷丸 残余应力 表面强化 X射线测量
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用X射线应力仪无损检测薄膜材料厚度 被引量:2
10
作者 姜传海 叶长青 +1 位作者 周健威 吴建生 《无损检测》 2004年第2期74-76,共3页
基于X射线衍射与吸收理论,提出一种薄膜厚度测量方法即膜下基体衍射法。利用X射线应力仪测量高速钢表面的TiN薄膜厚度,发现利用膜下基体衍射可精确测量薄膜厚度。
关键词 X射线应力仪 无损检测 薄膜材料 厚度测量 膜下基体衍射法
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Ti过渡层对TiO_2/Ag/TiO_2复合多层膜热稳定性影响研究 被引量:2
11
作者 王振国 蔡珣 +1 位作者 陈秋龙 茅及放 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期262-264,共3页
2~3nm的Ti过渡层有效的提高了TiO2/Ag/TiO2多层膜的热稳定性同时对原始膜层的光学性能影响较小。通过AFM形貌分析表明Ti膜促进了Ag膜的连续性和抗结块性能。XRD分析表明在沉积态Ti层已经发生了氧化形成Ti2O3,从而提高了Ag膜与TiO2... 2~3nm的Ti过渡层有效的提高了TiO2/Ag/TiO2多层膜的热稳定性同时对原始膜层的光学性能影响较小。通过AFM形貌分析表明Ti膜促进了Ag膜的连续性和抗结块性能。XRD分析表明在沉积态Ti层已经发生了氧化形成Ti2O3,从而提高了Ag膜与TiO2的结合力。热处理后促进了Ag(111)取向的发展,因此,Ag膜稳定性得到了提高。 展开更多
关键词 Ti 过渡层 多层膜 热稳定性 光学性能
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NH_4Cl对TiAl基合金渗氮的影响 被引量:2
12
作者 袁赵欣 赵斌 +1 位作者 孙坚 吴建生 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期30-32,共3页
介绍了NH4 Cl对TiAl基合金渗氮的影响以及渗氮后其渗层的组织特点。结果表明 ,在一定的温度和时间范围内 ,NH4 Cl对TiAl基合金渗氮有显著的催化作用 ,主要表现在渗层厚度的增加、渗氮速率的提升和合金表面显微硬度值的增大。
关键词 TIAL基合金 渗氮 努氏硬度 X射线衍射分析
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钨酸锌晶须的制备 被引量:1
13
作者 周际新 吴建生 孔向阳 《实验室研究与探索》 CAS 2003年第2期53-55,62,共4页
采用固体粉末法,制备成功钨酸锌晶须。用XRD,EDX和SEM方法研究了所得晶须的结构组成和形貌,并对晶须的形成机理及晶须生长的影响因素进行了研究。初步确定钨酸锌晶须的生长机理为VS机理,总结出晶须生长的影响因素有烧结温度,保温时间,... 采用固体粉末法,制备成功钨酸锌晶须。用XRD,EDX和SEM方法研究了所得晶须的结构组成和形貌,并对晶须的形成机理及晶须生长的影响因素进行了研究。初步确定钨酸锌晶须的生长机理为VS机理,总结出晶须生长的影响因素有烧结温度,保温时间,成分比例和粉末尺寸。 展开更多
关键词 钨酸锌晶须 制备 生长机理 形成 固体粉末法
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Al-Si压铸合金中硬质夹杂物的研究 被引量:2
14
作者 徐明钢 赵愉 +4 位作者 陈敏之 陆树荪 黄雅芬 罗思东 吴剑 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第7期36-38,共3页
用光学显微镜、扫描电镜观察、微区成分分析和显微硬度测定 ,研究了Al Si压铸合金中各种非金属夹杂物及金属杂质相的形貌和本质 ;分析了这些夹杂物的来源和产生原因 ;在生产中采取了相应措施后 ,已取得了良好效果用光学显微镜、扫描电... 用光学显微镜、扫描电镜观察、微区成分分析和显微硬度测定 ,研究了Al Si压铸合金中各种非金属夹杂物及金属杂质相的形貌和本质 ;分析了这些夹杂物的来源和产生原因 ;在生产中采取了相应措施后 ,已取得了良好效果用光学显微镜、扫描电镜观察、微区成分分析和显微硬度测定 ,研究了Al Si压铸合金中各种非金属夹杂物及金属杂质相的形貌和本质 ;分析了这些夹杂物的来源和产生原因 ;在生产中采取了相应措施后 ,已取得了良好效果。 展开更多
关键词 压铸合金 硬质夹杂物 AL-SI合金
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挤压管状SiC_w/Al复合材料中残余应力及其高温松弛行为 被引量:2
15
作者 姜传海 吴建生 王德尊 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期9-11,36,共4页
利用 X射线应力测量方法 ,研究挤压态 2 0 vol% Si Cw/ 6 0 6 1Al复合材料中残余应力 ,发现复合材料中存在较大的残余应力 ,而且各方向的残余应力分布很不均匀。动态测量去应力退火期间复合材料残余应力的高温松弛过程 ,证实高温状态下... 利用 X射线应力测量方法 ,研究挤压态 2 0 vol% Si Cw/ 6 0 6 1Al复合材料中残余应力 ,发现复合材料中存在较大的残余应力 ,而且各方向的残余应力分布很不均匀。动态测量去应力退火期间复合材料残余应力的高温松弛过程 ,证实高温状态下残余应力按幂指数的方式发生松弛。基于蠕变机制 ,分析残余应力的高温松弛行为 。 展开更多
关键词 碳化硅晶须 铝基复合材料 残余应力 应力松弛 X射线衍射 管状挤压态
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TiO_2复合金属多层膜的近紫外光学性能及其界面稳定性 被引量:2
16
作者 王振国 蔡询 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第S1期347-351,共5页
设计制备了透紫外隔热的Ti O2复合金属纳米多层膜,该膜系可以获得从近紫外到可见光波段高的透射率,同时实现了对红外的反射隔热效应.综合考虑贵金属Ag与Ti O2的界面湿润性与界面粗糙度对于光的散射效应,设计了可以提高多层膜热稳定性的... 设计制备了透紫外隔热的Ti O2复合金属纳米多层膜,该膜系可以获得从近紫外到可见光波段高的透射率,同时实现了对红外的反射隔热效应.综合考虑贵金属Ag与Ti O2的界面湿润性与界面粗糙度对于光的散射效应,设计了可以提高多层膜热稳定性的超薄过渡层,研究表明在Ti O2与Ag膜之间加镀一层2~3nm的Ti层可以有效地提高多层膜的热稳定性.AES分析表明,在热处理过程中Ti层发生了不完全氧化而Ag膜则保持金属态不被氧化.AFM观测表明过渡层改善了Ag膜的表面质量缓解了热处理过程中的结块现象. 展开更多
关键词 TiO_2 光学性能 界面稳定性 多层膜
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齿座裂纹分析 被引量:2
17
作者 曾振鹏 张惠娟 戴嘉维 《理化检验(物理分册)》 CAS 2000年第12期562-564,共3页
采用金相分析方法分析了齿座表面裂纹的性质和产生原因。根据齿座表面裂纹主要呈沿晶扩展 ,裂纹两侧无脱碳和氧化现象 ,认为该裂纹为淬火裂纹。渗碳温度过高、晶粒粗大。
关键词 淬火裂纹 渗碳 金相分析 表面裂纹 裂纹分析 晶粒 脱碳 齿座
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锆对Cr-Si-Al电阻薄膜微观结构和电性能的影响 被引量:1
18
作者 董显平 林泽伟 +1 位作者 吴建生 毛立忠 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期236-240,共5页
研究了退火态 Cr- Si- Al和 Cr- Si- Al- Zr薄膜的微观结构和电性能 .结果表明 ,溅射态非晶薄膜 Cr- Si- Al和 Cr- Si- Al- Zr在加热到 70 0°C的过程中 ,主要析出 2种晶化相 :Cr(Al,Si) 2 和 Si纳米晶化相 ,其中 Cr- Si- Al- Zr薄... 研究了退火态 Cr- Si- Al和 Cr- Si- Al- Zr薄膜的微观结构和电性能 .结果表明 ,溅射态非晶薄膜 Cr- Si- Al和 Cr- Si- Al- Zr在加热到 70 0°C的过程中 ,主要析出 2种晶化相 :Cr(Al,Si) 2 和 Si纳米晶化相 ,其中 Cr- Si- Al- Zr薄膜中的晶化相 Cr(Al,Si) 2 包含有少量 Zr原子 .Zr原子的加入抑制了晶化相的形核和长大 ,从而 Cr- Si- Al- Zr薄膜与 Cr- Si- Al薄膜相比 ,需更高的退火温度才能达到趋于零的电阻温度系数 .因此 ,Cr- Si- Al- Zr薄膜具有更好的电学稳定性能 . 展开更多
关键词 电阻薄膜 微观结构 晶化 电学稳定性
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温度对钯电刷镀层裂纹形貌的影响 被引量:2
19
作者 杨瑞鹏 蔡 +1 位作者 陈秋龙 鲍秋明 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期4-6,共3页
电镀钯时因吸氢严重常导致镀层产生裂纹。对不同温度的电刷镀钯进行了研究 ,发现刷镀温度对镀层的内应力和裂纹形貌有显著影响 ,提高刷镀温度可以减小镀层裂纹数目和降低镀层内应力 ,阴阳极之间的相对运动可减小镀层的氢含量。
关键词 温度 电刷镀 镀层 裂纹 镀钯
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晶须取向对SiCw/Al复合材料力学性能的影响 被引量:1
20
作者 姜传海 王德尊 吴建生 《理化检验(物理分册)》 CAS 2001年第9期373-375,405,共4页
研究了压铸态及挤压态 2 0 % (体积分数 )SiCw/ 60 61Al复合材料中晶须取向及其拉伸力学性能。结果表明 ,压铸态复合材料中晶须取向趋于混乱分布状态 ,因而其力学性能具有较高的各向均匀性。复合材料经过挤压变形后晶须呈定向排列 ,沿... 研究了压铸态及挤压态 2 0 % (体积分数 )SiCw/ 60 61Al复合材料中晶须取向及其拉伸力学性能。结果表明 ,压铸态复合材料中晶须取向趋于混乱分布状态 ,因而其力学性能具有较高的各向均匀性。复合材料经过挤压变形后晶须呈定向排列 ,沿挤压方向的各项力学性能均有所提高 。 展开更多
关键词 铝复合材料 晶须取向 力学性能 SiCw/601Al 拉伸
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