-
题名氢化非晶硅薄膜的制备与工艺参数优化
被引量：1
- 1
-
-
作者
朱永航
刘一剑
黄霞
黄惠良
-
机构
上海交通大学微纳电子学系光伏实验室
-
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期706-710,共5页
-
基金
国家高技术研究发展(863)计划基金资助项目((BC3400026)
-
文摘
采用间接型射频等离子体增强化学气相沉积方法,通过改变H_2/SiH_4气流量比、工艺功率和工艺压强,制备出了氢化非晶硅薄膜。研究了H_2/SiH_4气流量比、工艺功率以及工艺压强对非晶硅薄膜光学特性的影响。实验结果表明,该方法可以制备出氢化非晶硅薄膜,且通过改变实验条件,可以改变薄膜微观结构及成分;随着H_2/SiH_4气流量比的增加,SiH化合物含量增加,多氢化合物含量降低;适当增加射频功率,可以提高薄膜表面的均匀性,同时,功率的增加会使氢含量增加;此外,薄膜表面氢含量随工艺气压的降低而减小。
-
关键词
氢化非晶硅薄膜
间接型射频等离子体
微观结构
H含量
H2/SiH4气流量比
工艺功率
工艺压强
-
Keywords
a-Si∶ H thin film
Indirect RF plasma
Microstructure
H content
H2/SiH4 gas flow ratio
Procedure power
Procedure pressure
-
分类号
TN304.05
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名纳米Ag-Cu粉在多晶硅太阳能电池银浆中的应用
- 2
-
-
作者
黄霞
金菘
王堃
范贺贺
黄惠良
-
机构
上海交通大学微纳电子学系光伏实验室
-
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第5期746-749,共4页
-
基金
"八六三"计划基金资助项目(BC3400026)
-
文摘
采用稻米中淀粉作为稳定剂,氢氧化钠作为还原剂的方法制备了银铜纳米颗粒。利用扫描电子显微镜在高倍数下观察Ag-Cu纳米颗粒表面形貌;通过透射电镜定性分析了银铜纳米颗粒的空间结构;通过X线光电子能谱分析得到粉末中元素成分及其相对含量;通过热重分析定量地确定了太阳能电池的烧结工艺;通过太阳能模拟器分别对正电极浆料中加入纳米Ag-Cu颗粒(质量分数为10%)前、后的多晶硅电池片进行光电性能测量。结果显示,在银浆中加入了质量分数为10%的纳米Ag-Cu后,电池片的各参数都有提高,其光电转化效率提高了5.65%。实验表明,利用Cu纳米颗粒取代部分Ag纳米颗粒,可提高电池的光电转化效率。
-
关键词
银铜纳米颗粒
绿色合成
丝网印刷
X线光电子能谱
太阳能电池
-
Keywords
silv er -co p pe r n a n o p a r t ic le s
g reen s y n th e s is
scre en p r in t in g
X-ray p ho to e le c tro n sp e c tro s c o p y
solar cells
-
分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
-
