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白光干涉垂直扫描测量算法综述
被引量：
3
1
作者
汝洪武
张文喜
吴玲玲
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期899-906,共8页
白光干涉测量是采用具有一定光谱宽度的白光代替单色光作为干涉光源进行测量的特殊干涉测量技术。根据白光干涉信号的相干长度短、相干峰非常明显的特性,采用了垂直扫描干涉测量的方式获取干涉信号。相干峰寻址法是在垂直扫描测量的基...
白光干涉测量是采用具有一定光谱宽度的白光代替单色光作为干涉光源进行测量的特殊干涉测量技术。根据白光干涉信号的相干长度短、相干峰非常明显的特性,采用了垂直扫描干涉测量的方式获取干涉信号。相干峰寻址法是在垂直扫描测量的基础上提出的,具有较高的计算精度和较大的适用性。本文将相干峰寻址法的11种算法分为直接求解法、包络曲线拟合法和加权平均法三类进行阐述,并通过仿真每种算法分析各种算法的优缺点以及适用性和局限性。
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关键词
白光干涉测量
相干峰寻址法
垂直扫描干涉
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职称材料
靶丸壳层折射率的白光干涉测量技术研究
被引量：
1
2
作者
樊婷
马小军
+3 位作者
王宗伟
王琦
何智兵
易勇
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期641-649,共9页
为了精密检测靶丸壳层折射率参数,基于白光垂直扫描干涉和白光反射光谱的基本原理,建立了二者联用的靶丸壳层折射率测量方法。数据处理利用曲线拟合测定极值点波长、并由干涉级次连续性判定干涉级次,解决了白光反射光谱波峰位置难以精...
为了精密检测靶丸壳层折射率参数,基于白光垂直扫描干涉和白光反射光谱的基本原理,建立了二者联用的靶丸壳层折射率测量方法。数据处理利用曲线拟合测定极值点波长、并由干涉级次连续性判定干涉级次,解决了白光反射光谱波峰位置难以精确确定和单极值点判读可能存在干涉级次误差等难题。对玻璃靶丸折射率进行了测量、实验验证和不确定度分析,研究结果表明,白光干涉技术能够实现靶丸壳层折射率的精确测量,其测量不确定度约为0.86%。
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关键词
薄膜光学
折射率
白光垂直扫描干涉
白光反射光谱
靶丸
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职称材料
一种新颖的微机电系统微结构显微图像三维自动拼接方法
3
作者
陈晓辉
刘晓军
+2 位作者
赵华东
张军
卢文龙
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第18期85-91,共7页
提出一种基于白光垂直扫描显微镜(White-light vertical scanning interference microscopy,WVSIM)的微机电系统(Micro electro mechanical systems,MEMS)微结构三维自动拼接方法,来获得包含完整MEMS信息的大视场、高分辨率的MEMS微结...
提出一种基于白光垂直扫描显微镜(White-light vertical scanning interference microscopy,WVSIM)的微机电系统(Micro electro mechanical systems,MEMS)微结构三维自动拼接方法,来获得包含完整MEMS信息的大视场、高分辨率的MEMS微结构显微图像,以满足MEMS微结构功能特征分析、评定的需要。通过分析白光垂直扫描显微成像原理,将MEMS微结构显微图像的三维拼接分解为x-y向拼接与z向高度校正。将二维图像配准的尺度不变特征变换特征匹配算法应用到MEMS微结构显微图像的三维拼接中,实现MEMS微结构显微图像的智能、鲁棒三维自动拼接。试验表明,该方法不需要超高精度的硬件,解决了任意形状MEMS微结构显微图像的高精度三维自动拼接问题。横向拼接精度可达0.8μm,纵向拼接精度小于1 nm。
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关键词
微机电系统微结构
三维自动拼接
白光垂直扫描显微镜
尺度不变特征变换
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职称材料
题名
白光干涉垂直扫描测量算法综述
被引量：
3
1
作者
汝洪武
张文喜
吴玲玲
机构
西安工业大学光电工程学院
中国科学院空天信息创新研究院计算光学室重点实验室
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期899-906,共8页
文摘
白光干涉测量是采用具有一定光谱宽度的白光代替单色光作为干涉光源进行测量的特殊干涉测量技术。根据白光干涉信号的相干长度短、相干峰非常明显的特性,采用了垂直扫描干涉测量的方式获取干涉信号。相干峰寻址法是在垂直扫描测量的基础上提出的,具有较高的计算精度和较大的适用性。本文将相干峰寻址法的11种算法分为直接求解法、包络曲线拟合法和加权平均法三类进行阐述,并通过仿真每种算法分析各种算法的优缺点以及适用性和局限性。
关键词
白光干涉测量
相干峰寻址法
垂直扫描干涉
Keywords
white
light
interference
coherent
peak
addressing
method
vertical
scanning
interference
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
靶丸壳层折射率的白光干涉测量技术研究
被引量：
1
2
作者
樊婷
马小军
王宗伟
王琦
何智兵
易勇
机构
西南科技大学材料科学与工程学院
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期641-649,共9页
基金
科学挑战专题资助,TZ2018006-0204-01
环境友好能源材料国家重点实验室自主课题资助,18fksy0203,19fksy08
航天化学动力技术重点实验室开放基金资助项目,STACPL12018B05-1。
文摘
为了精密检测靶丸壳层折射率参数,基于白光垂直扫描干涉和白光反射光谱的基本原理,建立了二者联用的靶丸壳层折射率测量方法。数据处理利用曲线拟合测定极值点波长、并由干涉级次连续性判定干涉级次,解决了白光反射光谱波峰位置难以精确确定和单极值点判读可能存在干涉级次误差等难题。对玻璃靶丸折射率进行了测量、实验验证和不确定度分析,研究结果表明,白光干涉技术能够实现靶丸壳层折射率的精确测量,其测量不确定度约为0.86%。
关键词
薄膜光学
折射率
白光垂直扫描干涉
白光反射光谱
靶丸
Keywords
thin
film
optics
refractive
index
white
light
vertical
scanning
interference
white
light
reflectance
spectra
capsule
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
一种新颖的微机电系统微结构显微图像三维自动拼接方法
3
作者
陈晓辉
刘晓军
赵华东
张军
卢文龙
机构
郑州大学机械工程学院
华中科技大学机械科学与工程学院
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第18期85-91,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(51075169)
文摘
提出一种基于白光垂直扫描显微镜(White-light vertical scanning interference microscopy,WVSIM)的微机电系统(Micro electro mechanical systems,MEMS)微结构三维自动拼接方法,来获得包含完整MEMS信息的大视场、高分辨率的MEMS微结构显微图像,以满足MEMS微结构功能特征分析、评定的需要。通过分析白光垂直扫描显微成像原理,将MEMS微结构显微图像的三维拼接分解为x-y向拼接与z向高度校正。将二维图像配准的尺度不变特征变换特征匹配算法应用到MEMS微结构显微图像的三维拼接中,实现MEMS微结构显微图像的智能、鲁棒三维自动拼接。试验表明,该方法不需要超高精度的硬件,解决了任意形状MEMS微结构显微图像的高精度三维自动拼接问题。横向拼接精度可达0.8μm,纵向拼接精度小于1 nm。
关键词
微机电系统微结构
三维自动拼接
白光垂直扫描显微镜
尺度不变特征变换
Keywords
Micro
electro
mechanical
systems（MEMS）
microstructure
Automatic
three-dimonsional（3D）
stitching
white
-
light
vertical
scanning
interference
microscopy（WVSIM）
Scale
invariant
feature
transform（SIFT）
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
白光干涉垂直扫描测量算法综述
汝洪武
张文喜
吴玲玲
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2020
3
下载PDF
职称材料
2
靶丸壳层折射率的白光干涉测量技术研究
樊婷
马小军
王宗伟
王琦
何智兵
易勇
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020
1
下载PDF
职称材料
3
一种新颖的微机电系统微结构显微图像三维自动拼接方法
陈晓辉
刘晓军
赵华东
张军
卢文龙
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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