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新型轮位差及盘位差测量器校准装置设计
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作者 张晓磊 孙镱玮 +3 位作者 孙冠龙 张超 赵兴亮 齐彬 《天津理工大学学报》 2023年第4期15-18,共4页
为提升轮位差及盘位差测量器的工作效率,推动测量器计量方法现代化,分析了轮位差及盘位差测量器目前校准方法存在的问题。基于光栅尺测量系统,设计出一种新型轮位差及盘位差测量器校准装置,并描述了其基本结构与工作原理。通过对实物校... 为提升轮位差及盘位差测量器的工作效率,推动测量器计量方法现代化,分析了轮位差及盘位差测量器目前校准方法存在的问题。基于光栅尺测量系统,设计出一种新型轮位差及盘位差测量器校准装置,并描述了其基本结构与工作原理。通过对实物校准装置与双频激光干涉仪进行多次试验数据比较,验证了该新型装置稳定、可靠且准确度高。此外,评定了新型校准装置校准过程的不确定度,验证了该新型轮位差及盘位差测量器校准装置的可实施性。 展开更多
关键词 轮位差 盘位差 长度 校准装置 不确定度
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