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超声振动辅助抛光BK7过程中聚氨酯抛光垫磨损行为 被引量：2
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作者 梁赢东 牛俊开 +1 位作者 张超 于天彪 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期82-88,共7页
抛光光学玻璃等硬脆材料时常选用聚氨酯抛光垫,其微观形貌和磨损直接影响抛光精度和效率.本文对不同抛光时长下聚氨酯抛光垫微观形貌和磨损行为及其对材料去除率和表面粗糙度的影响进行了实验研究.结果表明:当主轴转速为8000 r/min,进... 抛光光学玻璃等硬脆材料时常选用聚氨酯抛光垫,其微观形貌和磨损直接影响抛光精度和效率.本文对不同抛光时长下聚氨酯抛光垫微观形貌和磨损行为及其对材料去除率和表面粗糙度的影响进行了实验研究.结果表明:当主轴转速为8000 r/min,进给速度为0.0150 mm/s,轴向超声振幅为5μm时,材料去除率和表面粗糙度分别为0.977μm/min和153.67 nm.聚氨酯抛光垫在30 min内磨损量较小,随着抛光时长的增加,抛光垫表面孔隙逐渐被磨粒和玻璃碎屑填充,破坏抛光垫表面的疏松多孔结构,导致抛光垫表面硬化,失去弹性.同时,侵入抛光垫表面的磨粒会阻止抛光接触区域内的磨粒更新,导致抛光质量降低. 展开更多
关键词 超声振动辅助抛光 微观形貌:抛光垫磨损 光学玻璃(BK7) 聚氨酯抛光垫
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