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硅微陀螺机械热噪声研究 被引量：2
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作者 刘梅 周百令 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期1163-1164,共2页
振动式硅微陀螺仪要在各种噪声干扰下,检测出极其微弱的有用信号。随着硅微陀螺性能的不断提高。机械热噪声对微陀螺的影响愈加显著,决定了振动式硅微陀螺的极限分辨率。本文给出了机械热噪声的产生机理,推导得出机械热噪声等效角速率... 振动式硅微陀螺仪要在各种噪声干扰下,检测出极其微弱的有用信号。随着硅微陀螺性能的不断提高。机械热噪声对微陀螺的影响愈加显著,决定了振动式硅微陀螺的极限分辨率。本文给出了机械热噪声的产生机理,推导得出机械热噪声等效角速率表达式。分析表明,提高微陀螺的品质因数、增大质量和谐振频率可减小机械热噪声。 展开更多
关键词 振动式硅微陀螺 机械热噪声
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