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题名垂直扫描白光干涉测量数据处理算法分析
被引量：1
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作者
张倩
崔长彩
周晓林
范伟
傅师伟
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机构
华侨大学机电及自动化技术学院
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出处
《湖北汽车工业学院学报》
2010年第1期42-45,49,共5页
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基金
福建省科技计划重点项目(2008I0020)
福建省自然科学基金计划资助项目(T0850004)
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文摘
研究了垂直扫描白光干涉测量数据的改进质心处理算法以准确得到被测表面的微观形貌信息。根据垂直扫描白光干涉测量原理分析了质心算法改进前后的对干涉谱的处理能力。实验测量对象是Ra为0.074μm的多刻线标准样板,采用高斯滤波算法分离粗糙度信号,对其二、三维参数进行了评定和分析,得Ra为0.0748μm。结果证明,改进质心算法原理正确,计算精度满足测量要求,可有效排除直流信号等因素对质心算法的影响。
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关键词
垂直扫描白光干涉
质心算法
粗糙度
参数评定
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Keywords
vertical scanning white-light interferometry
centroid algorithm
roughness
parameters evaluation
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分类号
TH744
[机械工程—光学工程]
TP274
[机械工程—仪器科学与技术]
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题名基于SVMD-HD去噪的白光干涉解调算法
被引量：1
- 2
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作者
邢伦
桑梅
石珍曼
王双
刘铁根
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机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
天津大学光电信息技术教育部重点实验室
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出处
《应用光学》
CAS
北大核心
2023年第4期816-825,共10页
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基金
国家重点研发计划(2018YFF01013203)。
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文摘
垂直扫描白光干涉法(VSWLI)是一种非接触式三维表面轮廓测量方法。蝙蝠翼作为VSWLI当中一种固有的缺陷,尤其在被测样品的台阶高度小于光源的相干长度时,台阶边缘处的蝙蝠翼尤为显著。相移干涉法不存在这种缺陷,但是存在相位模糊的问题。提出一种将Carré等步长相移算法与快速傅里叶变换(FFT)相干峰值检测技术相结合的白光干涉解调算法。该算法基于逐次变分模态分解(SVMD)与Hausdorff距离(HD)联合去噪。分别以高度为500 nm和1200 nm的连续台阶器件和高度为10μm的标准台阶作为测试样品,进行实验测量验证。所提出的算法能够有效地抑制台阶高度跳变处的蝙蝠翼,克服相位模糊问题。
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关键词
垂直扫描白光干涉法
相移干涉法
逐次变分模态分解
蝙蝠翼
相位模糊
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Keywords
vertical-scanning white light interferometry
phase-shifting interferometry
successive variational mode decomposition
batwings
phase ambiguity
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分类号
TN206
[电子电信—物理电子学]
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