变栅距光栅角位移传感器分辨率分析 被引量：4

1

作者 王东辉 刘林 +4 位作者 郑普超 李秉实 包艳 张兵 张超 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第6期36-41,共6页

对影响变栅距光栅角位移传感器分辨率的因素进行了分析研究。推导出传感器分辨率的计算公式,并讨论了传感器分辨率与各参量之间的关系及提高分辨率的方法。针对衍射级次对分辨率的影响进行了理论分析和验证。证明了变栅距光栅角位移传... 对影响变栅距光栅角位移传感器分辨率的因素进行了分析研究。推导出传感器分辨率的计算公式,并讨论了传感器分辨率与各参量之间的关系及提高分辨率的方法。针对衍射级次对分辨率的影响进行了理论分析和验证。证明了变栅距光栅角位移传感器分辨率与光栅栅距的定量变化关系并进行了仿真验证。为变栅距光栅角位移传感器设计优化提供了理论指导和计算方法。 展开更多

关键词 光栅 变栅距光栅 分辨率 光栅衍射

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变栅距光栅位移传感结构研究与误差分析 被引量：4

2

作者 乔飞 张雯 +2 位作者 何巍 宋言明 孟凡勇 《光通信研究》 2021年第2期35-40,53,共7页

针对传统位移传感器测量精度低、量程小和稳定性不足的问题,文章提出并实现了一种基于变栅距光栅的位移传感器,进行位移特性测试并重点分析了测量过程中的误差问题。实验中将变栅距光栅置于电动位移平台上,通过调节平台位移控制光斑入... 针对传统位移传感器测量精度低、量程小和稳定性不足的问题,文章提出并实现了一种基于变栅距光栅的位移传感器,进行位移特性测试并重点分析了测量过程中的误差问题。实验中将变栅距光栅置于电动位移平台上,通过调节平台位移控制光斑入射位置,建立光栅位移与反射光谱一级衍射中心波长之间的相关关系,实现波长对位移的编码。平台移动范围为0~20 mm,步长为2 mm,往返重复测量6次,记录各位移点处的中心波长,标定传感器的位移特性。针对各位移点重复测量产生的中心波长数据进行误差分析,采用贝塞尔公式结合别捷尔斯法分析各点多次测量数据的标准差,并结合莱以特(3σ)准则进一步判定数据的可靠性。实验结果表明,该传感系统无系统误差和粗大误差;波长与位移呈线性变化,多次重复线性度优于0.9946,传感器全量程平均位移灵敏度为16.67 nm/mm,为基于变栅距光栅位移传感系统的研究提供了一定的参考。 展开更多

关键词 变栅距光栅 波长 灵敏度 线性度 波长偏差

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自聚焦变栅距光栅设计、制作及特性研究 被引量：3

3

作者 靳飞飞 刘世炳 +2 位作者 朱效立 谢常青 刘明 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期48-52,共5页

利用变栅距光栅的衍射光束自聚焦特性,设计和制作了变栅距透射光栅,并对其自聚焦特性进行了研究。采用变栅距光栅的自动生成宏文件程序,优化设计了变栅距光栅的栅距变化。采用光栅扫描电子束光刻的方法制作了中心线数为300l/mm、适用于3... 利用变栅距光栅的衍射光束自聚焦特性,设计和制作了变栅距透射光栅,并对其自聚焦特性进行了研究。采用变栅距光栅的自动生成宏文件程序,优化设计了变栅距光栅的栅距变化。采用光栅扫描电子束光刻的方法制作了中心线数为300l/mm、适用于355nm波长的自聚焦变栅距变狭缝光栅。使用三倍频Nd:YAG激光器,研究了制作的变栅距光栅的聚焦特性,并与对氦氖激光的聚焦特性进行了比较。结果表明,主动式设计的变栅距变狭缝自聚焦光栅可以大幅提高衍射光强度和分辨本领,具有重要的应用价值。 展开更多

关键词 衍射光学 变栅距光栅 自聚焦特性

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变栅距光栅的衍射实验仿真 被引量：2

4

作者 唐小村 《大学物理实验》 2012年第5期72-74,共3页

依据多缝夫琅禾费衍射的基本原理,对一种平面变栅距光栅的光强分布作出了理论分析,导出了光强分布公式。用Matlab软件对变栅距光栅的衍射进行了模拟仿真研究,通过改变栅距变化系数和起始栅距的值,得出了在不同条件下的衍射谱线特征。该... 依据多缝夫琅禾费衍射的基本原理,对一种平面变栅距光栅的光强分布作出了理论分析,导出了光强分布公式。用Matlab软件对变栅距光栅的衍射进行了模拟仿真研究,通过改变栅距变化系数和起始栅距的值,得出了在不同条件下的衍射谱线特征。该计算结果和研究方法在实际的变栅距光栅应用中具有参考价值,为变栅距光栅参数的设计和优化提供了理论依据。 展开更多

关键词 变栅距光栅 夫琅禾费衍射 MATLAB

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基于DSP信号处理的变栅距光栅位移测量系统设计 被引量：2

5

作者 左胜广 冯进良 +2 位作者 张桂源 张荣 张尧禹 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2011年第2期12-15,共4页

全面分析了变栅距光栅传感器和可调谐F-P滤波技术原理和特点,提出了用DSP技术和可调谐F-P滤波技术对波长信号进行解调,采用拉格朗日插值方法对光栅传感特性曲线进行拟合,提高了系统的测量精度。最后,给出了硬件原理图和程序流程图,并对... 全面分析了变栅距光栅传感器和可调谐F-P滤波技术原理和特点,提出了用DSP技术和可调谐F-P滤波技术对波长信号进行解调,采用拉格朗日插值方法对光栅传感特性曲线进行拟合,提高了系统的测量精度。最后,给出了硬件原理图和程序流程图,并对该技术的特点指出了其优势和应用前景。 展开更多

关键词 变栅距光栅 可调谐F-P滤波 DSP数据处理 拉格朗日插值

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亚角秒空间分辨的太阳极紫外宽波段成像光谱仪光学设计

6

作者 黄一帆 邢阳光 +7 位作者 沈文杰 彭吉龙 代树武 王颖 段紫雯 闫雷 刘越 李林 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期357-369,共13页

狭缝式成像光谱仪是太阳极紫外光谱成像探测的重要工具之一,然而目前国内尚无该类载荷,导致太阳物理学和空间天气学等学科在极紫外光谱诊断研究方面主要依赖国外仪器数据,严重制约了相关学科的发展.国外已发射的成像光谱仪仅具有2"... 狭缝式成像光谱仪是太阳极紫外光谱成像探测的重要工具之一,然而目前国内尚无该类载荷,导致太阳物理学和空间天气学等学科在极紫外光谱诊断研究方面主要依赖国外仪器数据,严重制约了相关学科的发展.国外已发射的成像光谱仪仅具有2"量级的空间分辨率,很难观测到日冕加热模型预测的等离子体核心特征.为了更好地理解太阳不同层次大气之间的耦合过程,需要更宽光谱覆盖的太阳观测数据.鉴于此,本文提出并设计了一款亚角秒空间分辨的太阳极紫外宽波段成像光谱仪,相比现有仪器,系统能够实现更高空间和光谱分辨率、更宽光谱范围覆盖的观测.性能评价结果表明,系统在62—80 nm,92—110 nm波段内的像元空间分辨率均优于0.4",光谱分辨率均优于0.007 nm,光谱成像质量接近衍射极限,对我国未来首台空间太阳极紫外成像光谱仪的研制具有重要参考价值. 展开更多

关键词 太阳极紫外 光学设计 成像光谱仪 超环面变线距光栅

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具有非罗兰圆结构的太阳极紫外正入射宽波段成像光谱仪光学设计 被引量：5

7

作者 邢阳光 李林 +2 位作者 彭吉龙 王姗姗 成一诺 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第23期118-129,共12页

基于传统罗兰圆结构的凹面光栅成像光谱仪,尽管具有很好的轴上点成像特性,但是存在较大的光栅离轴像差,离轴性能显著降低,不适用于大离轴视场、宽波段的空间和光谱成像。因此,基于超环面变线距光栅工作在非罗兰圆结构下的像差校正理论,... 基于传统罗兰圆结构的凹面光栅成像光谱仪,尽管具有很好的轴上点成像特性,但是存在较大的光栅离轴像差,离轴性能显著降低,不适用于大离轴视场、宽波段的空间和光谱成像。因此,基于超环面变线距光栅工作在非罗兰圆结构下的像差校正理论,设计了一款兼具大离轴视场和宽波段的太阳极紫外正入射成像光谱仪,使用三个平场探测器,可实现在极紫外波段对包括日冕和过渡区域在内的太阳上层大气的高空间和高光谱分辨观测。该仪器仅有两次反射表面,同时使用周期性的SiC/Al多层镀膜最大化地减小了极紫外波段的光子通量损失,提高了仪器的传输效率。该成像光谱仪的工作波段为40~47 nm、53~60 nm和66~73 nm,口径为100 mm,沿狭缝方向的离轴视场为18′,系统的空间分辨率优于0.55″,光谱分辨率优于30×10-4 nm。 展开更多

关键词 测量 超环面变线距光栅 离轴光栅像差 非罗兰圆结构 太阳极紫外 成像光谱仪

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三级次太阳极紫外窄波段无狭缝成像光谱仪光学设计 被引量：3

8

作者 邢阳光 李林 +2 位作者 彭吉龙 王姗姗 成一诺 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期199-213,共15页

对太阳进行光谱成像观测是太阳物理和空间天气研究的重要数据来源。在极紫外波段对动态的太阳大气进行光谱成像观测面临着严峻挑战。传统的狭缝式成像光谱仪受瞬时视场的限制,必须通过耗时的推扫才能获取二维日面图像,系统不具有高时间... 对太阳进行光谱成像观测是太阳物理和空间天气研究的重要数据来源。在极紫外波段对动态的太阳大气进行光谱成像观测面临着严峻挑战。传统的狭缝式成像光谱仪受瞬时视场的限制,必须通过耗时的推扫才能获取二维日面图像,系统不具有高时间分辨率,无法捕获太阳过渡区域和日冕的快速演化过程。尽管极紫外成像仪能够实现大二维视场和高时间分辨率的观测,但却无法获取光谱分辨率信息。本文基于像差校正的椭球面变线距光栅,提出了一款新型无狭缝成像光谱仪,该系统同时工作在三个光栅衍射级次(m=-1,0,1)上,这样的新颖设计不需要任何元件的机械运动,单次快照便可同时获得三幅视场为20 arcmin×20 arcmin的极紫外窄波段(29.4〜31.4 nm)太阳日面图像,该仪器的时间分辨率高且视场大。不发生色散的0级次系统相当于一台极紫外成像仪,可以直接获得高分辨率空间信息(0.6 arcsec);发生色散的±1级次图像携带有空间和光谱的混叠信息,类似于计算层析成像原理。通过数据反演算法,可以从三个级次的图像中提取高分辨率的光谱信息(0.0035 nm)。 展开更多

关键词 光谱学 太阳极紫外 无狭缝 成像光谱仪 椭球面变线距光栅

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变栅距闪耀光栅相对衍射效率的计算方法 被引量：1

9

作者 王东辉 刘林 +4 位作者 李秉实 包艳 郑普超 张兵 张超 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期69-72,共4页

提出了一种变栅距闪耀光栅相对衍射效率计算方法,它是基于变栅距闪耀光栅衍射强度分布公式得出的。该方法简洁、有效,虽然有一定的近似性,但在工程设计上仍有较强的指导性。此外,还得出变栅距闪耀光栅参数对其衍射效率的影响规律,对优... 提出了一种变栅距闪耀光栅相对衍射效率计算方法,它是基于变栅距闪耀光栅衍射强度分布公式得出的。该方法简洁、有效,虽然有一定的近似性,但在工程设计上仍有较强的指导性。此外,还得出变栅距闪耀光栅参数对其衍射效率的影响规律,对优化制作工艺提供了理论依据。 展开更多

关键词 变栅距闪耀光栅 衍射效率 光栅位移传感器

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变栅距光栅衍射强度分布的一般公式及其应用 被引量：13

10

作者 李秉实 吴忠 《传感器世界》 2004年第5期19-22,共4页

本文给出了不等距光栅衍射光强度分布的一般公式,并引出了衍射—干涉复合因子的概念。同时,以一种采用不等距光栅的光位移传感器为例,利用不等光栅衍射光强度分布一般公式对其进行了计算和分析。

关键词 变栅距光栅衍射强度 不等距光栅 衍射光栅 衍射-干涉复合因子 光位移传感器

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平面变栅距光栅的原理及设计 被引量：13

11

作者 王炜 杨厚民 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第9期1158-1162,共5页

从光程函数出发， 研究了平面变栅距光栅的聚焦及消像差原理， 并据此设计了用于软 Ｘ射线波段的变栅距光栅。用光线追迹程序对所设计的变栅距光栅进行了性能模拟计算。结果表明， 此光栅具有良好的聚焦性能。

关键词 变栅距光栅 软X射线 模拟计算 原理 光栅

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软X射线磁性圆二色光束线的调试和实验 被引量：7

12

作者 王劼 李红红 +4 位作者 王峰 郭玉献 周红军 薛松 卢启鹏 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期489-495,共7页

合肥国家同步辐射实验室二期工程建立了基于软X射线吸收的光束线和实验站。光束线采用了平面变线距光栅单色器,可以提供100—1000eV的单色光,在1000eV处当分辨本领为1000时,光子通量可以超过108s-1。光束线的焦点尺寸是3mm×1mm。... 合肥国家同步辐射实验室二期工程建立了基于软X射线吸收的光束线和实验站。光束线采用了平面变线距光栅单色器,可以提供100—1000eV的单色光,在1000eV处当分辨本领为1000时,光子通量可以超过108s-1。光束线的焦点尺寸是3mm×1mm。在该设备上已经获得软X射线磁性圆二色吸收谱和C、N、O的K吸收边的近边吸收谱。 展开更多

关键词 软X射线磁性圆二色 软X射线近边吸收 变线距光栅 光束线 同步辐射

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柔性变栅距光栅角位移传感器的精度分析与工艺实现 被引量：6

13

作者 包艳 杨德兴 +2 位作者 李秉实 王东辉 郑普超 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1859-1866,共8页

研制了用于采集和反馈飞机舵面位置信息的柔性变栅距光栅角位移传感器。分析了影响传感器精度的主要因素,给出了制备过程所采用的精密成型工艺。首先,根据柱面变栅距光栅在柔性变栅距光栅角位移传感器中的核心作用,介绍了传感器的工作原... 研制了用于采集和反馈飞机舵面位置信息的柔性变栅距光栅角位移传感器。分析了影响传感器精度的主要因素,给出了制备过程所采用的精密成型工艺。首先,根据柱面变栅距光栅在柔性变栅距光栅角位移传感器中的核心作用,介绍了传感器的工作原理;分析了工艺误差对传感器精度的影响,提出了柔性变栅距光栅精密成型为柱面变栅距光栅后内表面圆度应不大于0.01 mm。在圆度对传感器精度影响的量值基础上,采用了柱面变栅距光栅精密成型工艺。最后,利用有限元仿真分析了柱面变栅距光栅精密成型工艺的可行性。实验结果表明:柱面变栅距光栅内表面圆度达到0.004 3mm,传感器的线性度达到最大工作角度的0.27%,满足了航空机载传感器的精度要求。 展开更多

关键词 柔性变栅距光栅 柱面变栅距光栅 角位移传感器 弹性凸模

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极紫外波段变栅距光栅刻槽密度变化及光谱分辨能力分析 被引量：7

14

作者 李文昊 姜岩秀 +2 位作者 吴娜 张桐 王鹍 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1094-1099,共6页

针对应用于50~150 nm波段的变栅距光栅,采用球面波曝光系统进行优化设计,分析了不同宽度光栅的刻槽密度变化和光谱分辨能力。理论分析结果表明,光栅宽度为4 mm时,理论分辨能力高于14 000;光栅宽度为10 mm时,理论分辨能力约为9 000;光栅... 针对应用于50~150 nm波段的变栅距光栅,采用球面波曝光系统进行优化设计,分析了不同宽度光栅的刻槽密度变化和光谱分辨能力。理论分析结果表明,光栅宽度为4 mm时,理论分辨能力高于14 000;光栅宽度为10 mm时,理论分辨能力约为9 000;光栅宽度为30 mm时,理论分辨能力急剧下降,约为3 000。光栅的宽度越大,其刻槽弯曲程度就越大,光栅的光谱分辨能力就越低,因此球面波曝光系统只适合制作宽度较小的变栅距光栅。 展开更多

关键词 变栅距光栅 球面波 刻槽密度 光谱分辨能力

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变栅距光栅的衍射效应与特性分析

15

作者 赵金雨 罗逸文 +3 位作者 何晴 梁衍瑞 黎俊晨 翁嘉文 《大学物理实验》 2024年第4期43-50,共8页

变栅距光栅夫琅禾费衍射图样中高频信息和低频信息的混叠现象将会导致无法分析获得对应结构特征参数。为解决这一问题,实验方案从原理上借助条纹分析中具备局域分析特性的伸缩窗口傅里叶变换思想,结合夫琅禾费衍射原理,对变栅距光栅衍... 变栅距光栅夫琅禾费衍射图样中高频信息和低频信息的混叠现象将会导致无法分析获得对应结构特征参数。为解决这一问题,实验方案从原理上借助条纹分析中具备局域分析特性的伸缩窗口傅里叶变换思想,结合夫琅禾费衍射原理,对变栅距光栅衍射图样进行理论分析推导,建立局部光栅衍射强度分布特征与结构参数的关系。然后在传统夫琅禾费衍射光路系统中,通过引入宽度可调谐的狭缝充当窗函数,对变栅距光栅进行分割以及局部光栅衍射图样分析。最后,基于MATLAB自主开发数值分析软件系统,进行数值仿真以及光学实验分析,根据对应的衍射强度分布特征,实现对变栅距光栅结构特征参数的检测。实验对三种变栅距光栅的衍射效应与特性进行了研究分析,根据实验拍摄的衍射图样成功获得变栅距光栅结构特征参数,并与将其理论数值仿真结果对比,误差分析表明本方案是合理可行的。 展开更多

关键词 变栅距光栅 夫琅禾费衍射 窗口傅里叶变换 MATLAB

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利用激光打标法制备侧面均匀发光聚合物光纤 被引量：6

16

作者 漆宇 刘楚嘉 +3 位作者 何涌 郜飞飞 李梓润 庄其仁 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期44-53,共10页

研究了一种侧面均匀发光聚合物光纤(POF)的制备方法,采用激光打标技术在POF侧面制作变栅距(VLS)光栅型散射点,建立了激光打标VLS散射点模型,该模型由深度很浅的表面凹坑和纤芯内分布着散射颗粒的散射区组成。理论推导出散射点相对散射... 研究了一种侧面均匀发光聚合物光纤(POF)的制备方法,采用激光打标技术在POF侧面制作变栅距(VLS)光栅型散射点,建立了激光打标VLS散射点模型,该模型由深度很浅的表面凹坑和纤芯内分布着散射颗粒的散射区组成。理论推导出散射点相对散射光功率和VLS栅距的计算公式,分析了散射点的散射光功率随凹坑深度和颗粒密度的变化规律,以及不同散射点凹坑深度和不同POF侧面发光相对出射度下VLS栅距的分布规律。结果表明散射点凹坑深度的微小变化(微米量级)对散射点的散射光功率和VLS栅距的影响很大。当散射颗粒密度N<105 mm-3时,散射点散射光功率变化不大;但是当N>105 mm-3时,散射光功率变化明显。理论计算了不同散射点凹坑深度和不同相对出射度的VLS栅距分布曲线,并且通过实验验证了理论结果的正确性。通过调节激光打标功率,实验得到了亮度均匀度高于90%的侧面发光POF。 展开更多

关键词 光纤光学 聚合物光纤 侧面发光 激光打标技术 变栅距光栅 散射点

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自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅 被引量：6

17

作者 姜岩秀 巴音贺希格 +2 位作者 赵旭龙 杨硕 吴娜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2117-2124,共8页

针对极紫外波段自由电子激光器（大连相干光源,DCLS）对高分辨能力平面变栅距光栅的需求,基于光程差以及像差原理构建了极紫外平面变栅距全息光栅。采用改进的局部优化算法给出了平面变栅距光栅的记录参数,利用全息曝光技术在硅光栅基... 针对极紫外波段自由电子激光器（大连相干光源,DCLS）对高分辨能力平面变栅距光栅的需求,基于光程差以及像差原理构建了极紫外平面变栅距全息光栅。采用改进的局部优化算法给出了平面变栅距光栅的记录参数,利用全息曝光技术在硅光栅基底上制作了中心刻线密度为600gr/mm、占宽比为0.46、槽深为550nm、有效刻划面积为30mm×30mm的极紫外平面变栅距全息光栅。采用Littrow衍射法测量了平面变栅距光栅的刻线密度,并基于像差理论分析了平面变栅距光栅的理论分辨能力。结果表明：制作的600gr/mm平面变栅距光栅在有效面积内的刻线密度误差小于0.175gr/mm,在极紫外波段（50-150nm）的分辨能力大于12 000,满足自由电子激光器的设计要求。提出的设计及制作方法为制作高质量平面变栅距光栅提供了理论及技术保障。 展开更多

关键词 自由电子激光器 平面变栅距光栅 全息曝光 刻线密度误差 分辨能力

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2000lp/mm X射线透射变栅距光栅的研究 被引量：5

18

作者 靳飞飞 朱效立 +3 位作者 李海亮 马杰 谢常青 刘世炳 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1857-1860,共4页

针对X射线透射光栅摄谱仪中对高线密度聚焦变栅距光栅的需要,利用电子束光刻技术,研制了X射线透射变栅距光栅。利用变栅距光栅的自动生成宏文件程序,优化设计了变栅距光栅的版图,然后利用电子束光刻和微电镀技术在聚酰亚胺薄膜底衬上制... 针对X射线透射光栅摄谱仪中对高线密度聚焦变栅距光栅的需要,利用电子束光刻技术,研制了X射线透射变栅距光栅。利用变栅距光栅的自动生成宏文件程序,优化设计了变栅距光栅的版图,然后利用电子束光刻和微电镀技术在聚酰亚胺薄膜底衬上制备了X射线透射变栅距光栅。制作出中心线数为2000lp/mmX射线透射变栅距光栅,栅距变化符合设计要求。衍射效率标定的结果表明,制备的变栅距光栅在中心波长处聚焦作用明显,可以大幅提高衍射光强度和光栅的分辨本领,具有重要的应用价值。 展开更多

关键词 衍射光学 变栅距光栅 X射线透射光栅 电子束光刻

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变线距光栅线密度的干涉测量 被引量：5

19

作者 朱向冰 付绍军 +5 位作者 叶为全 何世平 陈瑾 刘颖 徐向东 洪义麟 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1354-1358,共5页

变线距光栅在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景 ,它的制作和检测方法尚未成熟。用干涉法测量变线距光栅的线密度 ,给出了测量原理、实验中的光路、数据处理的方法、测量结果。在待测光栅表面 ,衍射光干涉条纹的数量和... 变线距光栅在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景 ,它的制作和检测方法尚未成熟。用干涉法测量变线距光栅的线密度 ,给出了测量原理、实验中的光路、数据处理的方法、测量结果。在待测光栅表面 ,衍射光干涉条纹的数量和密度是入射光干涉条纹和倍增后光栅的刻线之差。采用共光路的方案 ,使光路具有很强的抗干扰能力。用中值滤波消除干涉图像中的干扰。针对不同的干涉条纹 ,讨论和比较了两种测量方法 ,提出相对密度不变性。证明了干涉法完全可以用于变线距光栅的线密度测量 ,并能达到一定的精度 ,初步解决了检测问题 ,认为这种方法也可以用于变线密度光栅的加工中。 展开更多

关键词 物理光学 变线距光栅 线密度 干涉测量 激光核聚变装置 干涉图像 数据处理 测量光路

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全息法制作VLS光栅及其性能研究 被引量：2

20

作者 蒲利春 朱潋 《重庆理工大学学报（自然科学）》 CAS 2011年第10期120-126,共7页

在全息光路中设计采用球面波与非球面波代替平面波的技术,制作了VLS光栅。用遗传算法分析了VLS光栅的栅距变化规律,实现了光路优化。观察了VLS光栅的衍射图像,分析了VLS光栅性能。实验检测证明,球面波与非球面波干涉法制作的光栅的确是... 在全息光路中设计采用球面波与非球面波代替平面波的技术,制作了VLS光栅。用遗传算法分析了VLS光栅的栅距变化规律,实现了光路优化。观察了VLS光栅的衍射图像,分析了VLS光栅性能。实验检测证明,球面波与非球面波干涉法制作的光栅的确是VLS光栅,与理论相符。 展开更多

关键词 VLS光栅 全息法 光路 变栅距

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