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基于系统回归模型的真空镀膜设备液冷加热盘设计方法研究
1
作者 李翔 姜小蛟 +3 位作者 战春鸣 刘昂 孙宁 李加平 《真空》 CAS 2024年第4期6-11,共6页
晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以... 晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以及对应排布方案,以温度均匀性为优化目标,获取最优设计方案。经不同方案验证,该模型的精度在98%以上,可显著提升加热盘设计效率,为人工智能在加热盘设计领域的应用提供可能性。此外,基于传热学理论,提出了一种加热盘控温能力的设计方法,通过一维计算的方式,为加热盘控温能力的优化设计起到了指导作用。 展开更多
关键词 半导体 真空镀膜设备 晶圆加热盘 水冷 回归模型 控温能力
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基于PLC的真空镀膜设备自动控制系统设计 被引量：5
2
作者 陈德聪 《机电工程技术》 2019年第6期138-141,共4页
可编程序控制器(PLC)是综合了计算机技术和自动控制技术发展而来的一种新型工业控制装置。触摸屏是一种新型的可接收触头等输入讯号的感应式液晶显示装置。利用可编程控制器和触摸屏改造、设计了一套真空镀膜设备的自动控制系统,实现了... 可编程序控制器(PLC)是综合了计算机技术和自动控制技术发展而来的一种新型工业控制装置。触摸屏是一种新型的可接收触头等输入讯号的感应式液晶显示装置。利用可编程控制器和触摸屏改造、设计了一套真空镀膜设备的自动控制系统,实现了真空镀膜设备的自动控制。根据真空镀膜设备的控制要求,详细阐述了整个系统软硬件设计的过程。 展开更多
关键词 真空镀膜设备 PLC 触摸屏 程序设计
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基于ANSYS Workbench的真空镀膜设备真空室体有限元分析 被引量：3
3
作者 华海宇 罗阳 《机械》 2015年第3期43-46,共4页
以真空镀膜设备真空室体为研究对象,利用Inventor建立三维模型,导入ANSYS Workbench中进行有限元分析。通过对ANSYS Workbench后处理数据进行分析得出真空室体在标准大气压作用下的总变形量、等效应力、等效应变分布规律,根据分析结果... 以真空镀膜设备真空室体为研究对象,利用Inventor建立三维模型,导入ANSYS Workbench中进行有限元分析。通过对ANSYS Workbench后处理数据进行分析得出真空室体在标准大气压作用下的总变形量、等效应力、等效应变分布规律,根据分析结果结合技术要求对真空室体结构进行优化设计。 展开更多
关键词 真空镀膜设备 真空室体 ANSYS WORKBENCH
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基于Lab Windows/CVI的真空镀膜设备的控制系统开发
4
作者 康豪 宋一凡 +1 位作者 宣科 刘功发 《真空》 CAS 2017年第1期1-4,共4页
真空镀膜技术是目前具有良好发展前景的一项技术,在工业领域具有重要的作用。本文以安徽纯源真空镀膜科技有限公司生产的真空镀膜设备PIS-212的控制系统为例,介绍了一种基于Lab Windows/CVI开发平台的控制系统解决方案,该方案具有开发... 真空镀膜技术是目前具有良好发展前景的一项技术,在工业领域具有重要的作用。本文以安徽纯源真空镀膜科技有限公司生产的真空镀膜设备PIS-212的控制系统为例,介绍了一种基于Lab Windows/CVI开发平台的控制系统解决方案,该方案具有开发快速高效、人机界面友好、"一键式"操作方式和功能丰富齐全的特点。 展开更多
关键词 LAB WINDOWS/CVI 真空镀膜设备 控制系统
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可编程序控制器改造镀膜机继电控制线路
5
作者 干蜀毅 任伦 陈长琦 《真空与低温》 2000年第3期178-180,共3页
介绍了用可编程序控制器改造进口老式卷绕镀膜机继电器控制线路的方法，着重简述了ＰＣ的选型及系统配置方法。所用方法同样适用于国产镀膜设备。
关键词 可编程序控制器 继电控制 线路改造 真空镀膜机
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真空涂层设备SIS设计及应用
6
作者 游锦山 《真空》 CAS 2021年第5期80-84,共5页
研究了真空涂层设备控制系统和工艺安全要求的特性,提出以IEC 62061标准完成设备的SIL评估、SIS设计和SIL验证,完成了整套SIS的集成和应用研发,并实现了SIS与总控系统的信息交互和联锁保护,研发的SIS已经使用到多套真空涂层设备之中,有... 研究了真空涂层设备控制系统和工艺安全要求的特性,提出以IEC 62061标准完成设备的SIL评估、SIS设计和SIL验证,完成了整套SIS的集成和应用研发,并实现了SIS与总控系统的信息交互和联锁保护,研发的SIS已经使用到多套真空涂层设备之中,有效地保护了人身和财产安全。 展开更多
关键词 真空涂层设备 安全回路 SIS SIL
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有关设备寿命的新看法
7
作者 张全洲 《价值工程》 2011年第29期45-45,共1页
文章通过案例阐述了一种决定设备寿命的全新思路,讲述了电容器行业用金属化膜生产设备高真空镀膜机工作原理,制造方案与思路,以及设备运行若干年后必然会遇到的麻烦和进行更新改造过程,详细讲述了高真空镀膜机的改造方案及过程,是一台... 文章通过案例阐述了一种决定设备寿命的全新思路,讲述了电容器行业用金属化膜生产设备高真空镀膜机工作原理,制造方案与思路,以及设备运行若干年后必然会遇到的麻烦和进行更新改造过程,详细讲述了高真空镀膜机的改造方案及过程,是一台大型设备浴火重生的一条再生之路。通过此案例的讲述,向大家阐明了一个全新理念:只要产品有销路,大型设备永远不会报废!只需升级改造,同时通过改造可以非常有效的锻炼自己的维修队伍提高设备的维护水平,为公司生产和产品竞争提供坚实的后勤保障。 展开更多
关键词 高真空镀膜机 设备寿命 永不报废 升级改造
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