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基于PLC的真空镀膜装置控制系统设计 被引量：1
1
作者 余键 《机械工程与自动化》 2022年第6期176-177,180,共3页
在对真空镀膜装置工作原理分析的基础上,设计了基于PLC的真空镀膜装置控制系统,并完成了控制系统关键器件的选型。该控制系统有效提升了真空镀膜装置的自动化控制能力,镀膜的精确性和效率得到了提高。
关键词 PLC 真空镀膜装置 控制系统
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