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球面镜失调对2kW射频板条CO_2激光器输出光束影响研究 被引量：1
1
作者 肖龙胜 王珊 汪川惠 《应用激光》 CSCD 北大核心 2018年第3期481-484,共4页
研究了射频板条CO_2激光器光束整形系统球面镜横向位移失调和角度失调对输出光束光强分布的影响。研究表明,横向位移失调情况下,输出光束对非稳方向的失调更加敏感,波导方向失调对输出光束光强分布基本无影响。非稳方向横向位移失调达到... 研究了射频板条CO_2激光器光束整形系统球面镜横向位移失调和角度失调对输出光束光强分布的影响。研究表明,横向位移失调情况下,输出光束对非稳方向的失调更加敏感,波导方向失调对输出光束光强分布基本无影响。非稳方向横向位移失调达到0.1mm时,光强分布由圆形分布变为类似椭圆分布,光强峰值也不在中心区域。角度失调情况下,波导方向相对敏感。非稳方向失调角度仅为0.05°时,光强分布就已经见明显的畸变。波导方向的角度失调达到0.5°时,光束有明显的位移,会对功率造成影响。 展开更多
关键词 射频板条 非稳波导腔 光束整形 失调
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3kW射频板条CO_2激光器抛物面非稳波导腔研究 被引量：2
2
作者 严拓 郭海平 +3 位作者 王振 王炜 唐霞辉 王度 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期796-800,共5页
为了提高传统球面镜腔3k W射频板条CO_2激光器光束质量,设计了新型抛物面镜负支非稳-波导混合腔;结合标量光束的瑞利-索末菲衍射理论与特征向量法,研究了大菲涅耳数下镜面类型对非稳波导混合腔光场传输特性的影响;利用矩形波导理论、1... 为了提高传统球面镜腔3k W射频板条CO_2激光器光束质量,设计了新型抛物面镜负支非稳-波导混合腔;结合标量光束的瑞利-索末菲衍射理论与特征向量法,研究了大菲涅耳数下镜面类型对非稳波导混合腔光场传输特性的影响;利用矩形波导理论、1维近似分析得出了波导传输损耗及偏振情况。结果表明,将非稳方向输出镜和尾镜改为与光轴交点处曲率半径为R_1=951.32mm和R_2=1088.68mm的抛物镜面,能够避免尾镜漏光,可有效改善模式鉴别特性;常用波导电极镀膜材料中,镀铝电极内波导方向传输损耗最小,传输光场为x偏振的EH1模。采用电极镀铝的抛物面非稳波导腔能够降低损耗、提升光束质量。 展开更多
关键词 激光器 射频板条CO2激光器 非稳波导混合腔 抛物面镜 瑞利-索末菲衍射 大菲涅耳数
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大功率射频板条CO_(2)激光器 被引量：2
3
作者 唐霞辉 秦应雄 +5 位作者 彭浩 李玉洁 吴洋 肖龙胜 肖瑜 柳娟 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期79-92,共14页
大功率射频板条CO_(2)激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO_(2)激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO_(2)激... 大功率射频板条CO_(2)激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO_(2)激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO_(2)激光器的国内外发展动态;重点分析了激光器的结构设计、(板条)面积放大、扩散冷却、激励电源、射频传输、阻抗匹配、射频气体放电等离子体、放电均匀性、电极热效应、非稳-波导混合腔、激光功率提取、输出光束特性、光束整形等核心技术;展望了射频板条CO_(2)激光器在超大规模集成电路晶圆激光退火中的重要创新应用。 展开更多
关键词 激光器 大功率射频板条CO_(2)激光器 扩散冷却 非稳-波导混合腔 光束整形 射频激励 气体放电
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